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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 u?H@C)P  
    aj?2jU~Pq  
    1. 描述 <5M_EJp  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 'V1!&Q6  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 t@6w$5:}  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 1*L^^% w  
    tg3zXJ4k_  
    2. 系统 pL8H8kn  
    '!AT  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    2G ZF/9}  
    3. 透镜系统组件编辑  k~{Fnkt  
    O/(3 87=U  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 LNaeB(z"  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 40R"^*  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 z}iSq$  
    包括序列光学表面和光学介质。 (X*'y*:  
    n%n'1AUP:  
    .l7j8 }  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 q)vK`\Y  
    |y klT  
    AjG)1  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 5[nmP95YK  
    可以选择选取光线的方法: JaA&eT|  
    — 在x-y-网格 tc"T}huypU  
    — 六边形 JR] )xPI`  
    — 自由选取 c!.=%QY  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    l +|1G  
    (Z5q&#f  
    5. 系统的3维视图 dJloH)uJZ>  
    GI}4,!^N  
    yq1Gqbh l  
    6. 其他系统参数 GahaZ F  
    系统由单色平面波照明 p@vpd  
    照明波长266.08nm ?0 HR(N(z!  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: w8G7Jy  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 :wFb5"  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 >ze>Xr'm5=  
    光束尺寸探测器置于焦平面 1]"D%U=  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 )uANmThOz  
    Rk}\)r\  
    2TE\4j  
    G!nl'5|y  
    [SK2x4  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ur?d6 a  
    SRP5P,-y  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    kZJt ~}  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    >Dk1axZ!>/  
    EV:_Kx8fP  
    Tw2Xe S  
    O'"YJ,  
    r;c' NqP  
    Y=AH%Gy9 )  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 I).=v{@9V<  
    J>&[J!>r  
    SL6mNn9c  
    VirtualLab可用于计算点列图。 _TtX`b_Z  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 V+Y|4Y&  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 g7 .7E6%H  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 N<p5p0  
    X7t 5b7  
    9. 焦平面上的结果 np<f,  
    rdXCWK$E  
    @<hF.4,]  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ) ~ l\  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 d-9uv|SJ  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm V*~1,6N [  
    此外,背景颜色也可以预先设置。  aeEw#  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    O]c=Yyl  
    `6 |i&w:b  
    10. 总结 d\v$%0  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ^`l"'6  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Hlz'a1\:O]  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 $Sp*)A]E`  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 D2Vb{%(4.  
     
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