关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 }x?2 txuu
7D\:i1~ 1. 描述 pXoT@[} ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Bx ru7E" ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 WXJ%hA ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 _{y4N0
_"S1>s)X?j 2. 系统 nb #)$l 1p
COLC%1 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
l]Q<BV 3. 透镜系统组件编辑 1YvE/<6
ac#I$V-
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 U$wD'v3pw
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 0yBiio
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 7uxUqM
■ 包括序列光学表面和光学介质。 \CZD.2p#&
x\'95qU |&AZ95v 4. 光线追迹系统分析器-选项 ZoT8 jLF,R7t [F}_Ime
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 |,WP)
■ 可以选择选取光线的方法: 0E/,l``p
— 在x-y-网格 +`'>
— 六边形 R9)"%SO<y
— 自由选取 i
3i
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 zF#:Uc`C5U 2rG$.cGN" 5. 系统的3维视图 Q;0g fW3NH7aUG
hmr 2(f%U 6. 其他系统参数 +$
0wBU ■ 系统由单色平面波照明 ]T1\gv1~ ■ 照明波长266.08nm J6RzN'j ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ECr}7R% — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 LV`tnt's — 一个虚拟屏位于焦平面 yp"h$ — 光束尺寸探测器置于焦平面 }^zsN` ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8>a%L?BY R 9b0D>Lxt W9/HM ! gfly?)V nF r Zg(%6@ 7. 光线追迹系统分析器的结果 X}_Gk5q* DW0N}>Gp* 光线经过整个光学系统的三维视图
-wQ@z6R 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
2OsS+6,[x y4j\y
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T8 ms`U, '))K'
u ZXC_kmBN/ ,qT+Vqpr{ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Vi'zSR28Z S$NJmXhx5 _DLELcH
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 nUf0TkA
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 xt1Ug~5
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 v^3s?VD
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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0N`N 9. 焦平面上的结果 <
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 KuZZKh
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 sr-tZ^d5S?
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm O 4'/C]B2
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ;C,t`(
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 BI+x6S>d n<e1=L 10. 总结 ,C0D|q4/!. ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 fxknfgbg ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 AwWo,Y399h ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 dQ= L<{( ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 : 22)` ;0