关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 <fNGhmL
^DBD63N" 1. 描述
MWBXs75I ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 'sj9[o@] ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ]{YN{ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 {bN Y
mT96]V\ 2. 系统 8NnhT E }%eDEM 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
@. "q 3. 透镜系统组件编辑 o
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Ay2b,q
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ucw`;<d8
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 [ L
■ 包括序列光学表面和光学介质。 );=Q] >
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f.# 4. 光线追迹系统分析器-选项 y)P&]&"? rB,ldy,f SGt5~Txj
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 bn $)f6%
■ 可以选择选取光线的方法: TZe+<~4*i%
— 在x-y-网格 UL&} s_
— 六边形 19'5Re&
— 自由选取 Q*gnAi&.#
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 RF:04d 6VC-KY 5. 系统的3维视图 /w0sj`;" +vf:z?I8
[~COYjp 6. 其他系统参数 CA/ -Gb ■ 系统由单色平面波照明 C ck#Y ■ 照明波长266.08nm 1t.R+1[c ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: "9w}dQ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 p+$+MeBz — 一个虚拟屏位于焦平面 0 <g{ V — 光束尺寸探测器置于焦平面 \Dfm(R ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ^_sQG NddO*`8+) Y17hOKc` 40u7fojg2 _C20 +PMO 7. 光线追迹系统分析器的结果 teAukE=} d.p'pGL 光线经过整个光学系统的三维视图
9:Si]
Pp+S 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Bhe{L?}0 44~hw: ;,k=<] 1eHe~p , yplG18 Tpb"uBiXoo 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 H'Nq#K .%IslLZ *jE;9^
■ VirtualLab可用于计算点列图。 `]jqQr97
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ?_%u)S*g
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 wN(&5rfS
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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{rDq_^ 9. 焦平面上的结果 wG8
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U7h(-dV
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 i'=2Y9S}
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 8eN7VT eb
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
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■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Z/g]o#
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 hO3{ FqZgdmwR 10. 总结 0q#"clw ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 k3>YBf`fC ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 6]n/+[ ks ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 FshC )[w, ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 <( EyXV