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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 <fNGhmL  
    ^DBD63 N"  
    1. 描述 MWBXs7 5I  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 'sj9[o@]  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ]{YN{  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 {bN Y  
    mT96 ]V \  
    2. 系统 8NnhT E  
    }%eDEM  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    @. "q  
    3. 透镜系统组件编辑 o g_Ri$x8  
    GGCqtA^@7d  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Ay 2b,q  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ucw`;<d8  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 [ L  
    包括序列光学表面和光学介质。 );=Q] >  
    MzcB3pi  
    R;WW f.#  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 y)P&]&"?  
    rB,ldy,f  
    SGt5~T xj  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 bn$)f6%  
    可以选择选取光线的方法: TZe+<~4*i%  
    — 在x-y-网格 UL&} s_  
    — 六边形 19'5Re&  
    — 自由选取 Q*gnAi&.#  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    RF:04d  
    6VC-KY  
    5. 系统的3维视图 /w0sj`;"  
    +vf:z?I8  
    [~COYjp  
    6. 其他系统参数 CA/ -Gb  
    系统由单色平面波照明 C ck#Y  
    照明波长266.08nm 1t.R+1[c  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: "9w}dQ  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 p+$+MeBz  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 0 <g{ V  
    光束尺寸探测器置于焦平面 \Dfm(R  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ^_sQG  
    NddO*`8+)  
    Y17hOKc`  
    40u7fojg2  
    _C20 +PMO  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 teAukE=}  
    d .p'pGL  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    9:Si] Pp+S  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Bhe{L?}0  
    44~hw:   
    ;,k=<]  
    1eHe~p ,  
    ypl G18  
    Tpb"uBiXoo  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 H'Nq#K  
    .%IslLZ  
    *jE;9^  
    VirtualLab可用于计算点列图。 `]jqQr97  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ?_%u)S*g  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 wN(&5rfS  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 OM)3Y6rK  
    {rDq_^  
    9. 焦平面上的结果 wG8 nw;  
    U7h(-dV   
    <UT>PCNG  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 i'=2Y9S}  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 8eN7VT eb  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ]ENK8bW  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Z/g]o#  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    hO3 {  
    FqZgdmwR  
    10. 总结 0q#"clw  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 k3>YBf`fC  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 6]n/+[ ks  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 FshC )[w,  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 <( EyXV  
     
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