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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 1H`T=:P?  
    >H?l[*9  
    1. 描述 jU |0!]  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 _IBI x\F  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ?W-J2tgss{  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 TkXD#%nFY  
    L\|p8jJ  
    2. 系统 5<\&7P3y  
    'yxRz5  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    H6X]D"Y,  
    3. 透镜系统组件编辑 ]S4TX  
    VRurn>y0  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 FZ'|z8Dm  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 `W,gYH7  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 +a_eNl,  
    包括序列光学表面和光学介质。 F#>?i}  
    8mI eW  
    .q$HL t  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 9r=@S  
    "W$,dWF  
    (yIl]ZN*  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 fYU/Jn#  
    可以选择选取光线的方法: 4^vEMq8lB  
    — 在x-y-网格 <;< _f U  
    — 六边形 ]vj=M-:+  
    — 自由选取 . #`lW7  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    +U_> Bo  
    >F+Mu-^  
    5. 系统的3维视图 6!7LgM%4  
    1Y!" C  
    ( P|Ph  
    6. 其他系统参数 .^j6  
    系统由单色平面波照明 u&Ts'j  
    照明波长266.08nm ,DsqKXSU  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: g((glr)6M  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 CnyCEIO-  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 3;( ;'5|Z  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ka? |_(  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 }PdS?[R  
    /T&z :st0  
    pwAawm  
    KLD)h,]  
    7.)e4  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 _|qJ)gD[  
     C[MZ9 r  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    &TYTeJ]  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    }9yAYZ0q{b  
    >a7'_n_o  
    ~?i;~S  
    o}H7;v8H  
    &1)4B  
    a_Y*pOu  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 (#x <qi,T  
    1sp>UBG  
    SXkUtY$  
    VirtualLab可用于计算点列图。 (3 xCW  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 , 6 P:S7  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 :L gFd  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 .y'iF>QQ\  
    'L|& qy@  
    9. 焦平面上的结果 5|S|S))_Q  
    Pf&\2_H3s9  
    |"h# Q[3  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ;Q"xXT`;:  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Sc03vfmo"N  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm e~C5{XEE  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 b|mWEB.p  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Za68V/Vj  
    :xOne<@  
    10. 总结 QHOA__?  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 c\"t+/Z  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 / blVm1F  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 "F A&Qm0  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 M^^5JNY  
     
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