关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 K*N8Vpz(
!gj_9"< 1. 描述 h-5] nL3 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 B+[L/C}=; ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 P.kf|,8L ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 h 2C9p2.
]Mj N)%hT 2. 系统 E]ZIm Te H_DVxj 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
-o YJ&r 3. 透镜系统组件编辑 a
t%qowt
0f"la=6
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 1Wz5Iv#Ez
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ZvSEa{
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 <Gz* 2i
■ 包括序列光学表面和光学介质。 F`57;)F
k];fQ7}m<0 e4-7&8N+ 4. 光线追迹系统分析器-选项 A&:~dZ:%w LR
y&/d fU'[lZ
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 >RXDuCVi
■ 可以选择选取光线的方法: XO}v8nWV
— 在x-y-网格 &\<?7Qj3U|
— 六边形 $rH}2
— 自由选取 PRN%4G
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 WR}<^ax /qweozW_+ 5. 系统的3维视图 [+b&)jN*2 :6W* ;<o
k9iB-=X?4s 6. 其他系统参数 E 7"`D\* ■ 系统由单色平面波照明 FyA0" ■ 照明波长266.08nm d?4-"9Y ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: n hGh5, — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 90!67Ap`x — 一个虚拟屏位于焦平面 ~s>Ud<l%r — 光束尺寸探测器置于焦平面 D*!9K8<o ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 7DIFJJE' #)( D_* rF=\H3`p3 MO_;8v~0 S0tPnwco[~ 7. 光线追迹系统分析器的结果 nfS.0\z lM[FT=M 光线经过整个光学系统的三维视图
W.TdhJW9 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
6G<gA>V b!z kQ?h aaFt=7(K rY]QTS">o )"f*Mp /xkF9 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 .a
`ojT B^"1V{M zl!Y(o!@
■ VirtualLab可用于计算点列图。 e%JH q
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 `r*bG=
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 <6!/B[!O=
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
EGK7)O'W
zC_@wMWB 9. 焦平面上的结果 n^%",*8gD*
Ll0"<G2t
swG!O}29OX
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 y/!jC]!+c
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 i3o;G"IcD
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm $;B0x
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 R9O1#s^
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 zAO|{m<A2 9AHxa 10. 总结 [PL]!\NJ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 utBKl'` ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 5ii:93Hlj ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 yPVK>em5 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 qp55U*