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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 K*N8Vpz(  
    !gj_9"<  
    1. 描述 h-5] nL3  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 B+[L/C}=;  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 P.kf|,8 L  
    ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 h 2C9p2.  
    ]Mj N)%hT  
    2. 系统 E]ZIm  
    TeH_DVxj  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    -o YJ&r  
    3. 透镜系统组件编辑 a t%qowt  
    0f"la=6  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 1Wz5Iv#Ez  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ZvSEa{  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 <Gz*2i  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 F`57;)F  
    k];fQ7}m<0  
    e4 -7&8N+  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 A&:~dZ:%w  
    LR y&/d  
    fU'[lZ  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 >RXDuCVi  
    ■ 可以选择选取光线的方法: XO}v8nWV  
    — 在x-y-网格 &\<?7Qj3U|  
    — 六边形 $rH}2  
    — 自由选取 PRN%4G  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    WR}<^a x  
    /qweozW_+  
    5. 系统的3维视图 [+b&)jN*2  
    :6W * ;<o  
    k9iB-=X?4s  
    6. 其他系统参数 E 7"`D\*  
    ■ 系统由单色平面波照明 FyA0"  
    ■ 照明波长266.08nm d? 4-"9Y  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: n hGh5,  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 90!67Ap`x  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ~s>Ud<l%r  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 D*!9K8<o  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 7DIFJJE'  
    #)( D_*  
    rF=\H3`p3  
    MO_;8v~0  
    S0tPnwco[~  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 nfS.0\z  
    lM[FT=M  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    W.TdhJW9  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    6G<gA>V  
    b!z kQ?h  
    aaFt=7(K  
    rY]QTS">o  
    )"f*Mp  
    /xkF9   
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 .a `ojT  
    B^"1V{M  
    zl!Y(o!@  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 e%JH q  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 `r*bG=  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 <6!/B[!O=  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 EGK7)O'W  
    zC_@wMWB  
    9. 焦平面上的结果 n^%",*8gD*  
    Ll0"<G2t  
    swG!O}29OX  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 y/!jC]!+c  
    ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 i3o;G"IcD  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm $;B0x  
    ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 R9O1#s^  
    ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
    zAO|{m<A2  
    9AHxa  
    10. 总结 [PL]!\NJ  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 utBKl' `  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 5ii:93Hlj  
    ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 yPVK>em5  
    ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 qp55U*  
     
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