关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 !:dhK
qB=%8$J 1. 描述 3rv~r0 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 D|5Fo'O^AV ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 /%)x!dmy ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 !L'O")!3
) ]]PhGX~ 2. 系统 I*
JSb9r Hh;o<N>U 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
jowR!rqf 3. 透镜系统组件编辑 (@u"
Ds%~J
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Js8d{\0\
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ^cYt4NHXn
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 FkIT/H
■ 包括序列光学表面和光学介质。 [;i3o?\_I
vn=0=( GI*2*m!u 4. 光线追迹系统分析器-选项 N%+ C5e< *6*/kV?F fyt`$y_E[
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 0f|nI8,z
■ 可以选择选取光线的方法: \wo'XF3:
— 在x-y-网格 EPwM+#|e-
— 六边形 `BZX\LPHm
— 自由选取 lw 9rf4RF
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 wrt^0n'r)c O0#9D'{ 5. 系统的3维视图 3P2L phW wpPCkfPyL
0(dXU\Y 6. 其他系统参数 Ni 5Su ■ 系统由单色平面波照明 ^c]lEo ■ 照明波长266.08nm ~w9ZSSb4 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: |yow(2(F@ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 .9;wJ9Bw[ — 一个虚拟屏位于焦平面 \?.Tq24 — 光束尺寸探测器置于焦平面 27KfT]= ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 #>\+6W17U 0?nm`9v6 %phv <AW KFMEY\ 6\h A `n:q;my 7. 光线追迹系统分析器的结果 zmMz6\ $ )Dq/fW 光线经过整个光学系统的三维视图
(*2kM| 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
L>EC^2\ %@Ty,d:;= *6e 5T w_!]_6%{b +b]+5! *aF<#m v 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 RI%ZT $w$4RQk3n ~?)ST?&
■ VirtualLab可用于计算点列图。 h0fbc;l
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 c}>p"
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 _=eeZ4f
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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