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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 !:dhK  
    qB=%8$J  
    1. 描述 3rv~r0  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 D|5Fo'O^AV  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 /%)x!dmy  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 !L' O")!3  
    ) ]]PhGX~  
    2. 系统 I* JSb9r  
    H h;o<N>U  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    jowR!rqf  
    3. 透镜系统组件编辑 (@u"   
    Ds%~J  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Js8d{\0\  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ^cYt4NHXn  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 FkIT/H  
    包括序列光学表面和光学介质。 [;i3o?\_I  
    vn=0=(  
    GI*2*m!u  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 N%+C5e<  
    *6*/kV? F  
    fyt`$y_E[  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 0f|nI8,z  
    可以选择选取光线的方法: \wo'XF3:  
    — 在x-y-网格 EPwM+#|e-  
    — 六边形 `BZX\LPHm  
    — 自由选取 lw 9 rf4RF  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    wrt^0n'r)c  
    O0#9D'{  
    5. 系统的3维视图 3P2L phW  
    wpPCkfPyL  
    0(dXU\Y  
    6. 其他系统参数 Ni 5Su  
    系统由单色平面波照明 ^c]lEo  
    照明波长266.08nm ~w9ZSSb4  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: |yow(2(F@  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 .9;wJ9Bw[  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 \?.Tq24  
    光束尺寸探测器置于焦平面 27KfT] =  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 #>\+6W17U  
    0?nm`9v6  
    %phv<AW  
    KFMEY\6\h  
    A `n:q;my  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 zmMz6\ $  
    )D q/fW  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    (*2kM|  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    L>EC^2\  
    %@Ty,d:;=  
    *6e 5T  
    w_!]_6%{b  
    +b]+5!  
    *aF<#m v  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 RI%ZT  
    $w$4RQk3n  
    ~?)ST?&  
    VirtualLab可用于计算点列图。 h0fbc;l  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 c}>p"  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 _=eeZ4f  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 &N! ;d E  
    {r!X W  
    9. 焦平面上的结果 yXx}'=&!0  
    Wg+fT{[f|  
    )0:@T)G  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 n3kYVAgF  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 e/<Og\}P/  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ?g$dz?^CK&  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 V0h  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    $fE$j {  
    S?5z  
    10. 总结 @9pk-BB^D  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 `_;VD?")*l  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 @:s|X  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 u&>o1!c*P  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Rz!E=1Y$  
     
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