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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 i++ F&r[  
    $|A vT;4  
    1. 描述 tMupX-V  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 r}XD{F}"  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 R|tjvp-[}  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 1OJ:Vy}n  
    t-/%|@?D  
    2. 系统 .o fYFK  
    6"gncB.  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    [;};qQ-C2  
    3. 透镜系统组件编辑 \7W {/v4^  
    Z73 ysn}  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 n) `4*d$`  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 @ /c{gD  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 egKYlfe"  
    包括序列光学表面和光学介质。 _*&<hAZj  
    YMz[je  
    KA.@q AEB  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 GVFD_;j'  
    =axi0q?}  
    XjL( V1  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 m@"!=CTKd  
    可以选择选取光线的方法: JB* *z00;  
    — 在x-y-网格 sd>#Hn  
    — 六边形 5MiWM2"X\  
    — 自由选取 yUBic~S  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    mVk:[ }l6  
    e3',? 5j  
    5. 系统的3维视图 s2&UeYbIs  
    +]UPY5:F  
    }8 ,b; Q  
    6. 其他系统参数 /n(0nU[  
    系统由单色平面波照明 OhIUm4=|$  
    照明波长266.08nm 4|x5-m+T  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 7%L-;xcr]B  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 9KCnitU  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 At.WBa3j%{  
    光束尺寸探测器置于焦平面 >e8 t  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 V@T G"YF  
    IHf A;&b  
    Bg;bBA!L  
    IzkZ^;(N  
    &>sG x K  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 .viA+V  
    Bxz{rR0XV  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    W~R_- ]k@g  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    #O=^%C 7p  
    wgfn:LR  
    rHN>fySn7  
    *$uKg zv3  
    ?T?%x(]I  
    t+p-,ey^@  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 | u36-  
    hoeOdWI pf  
    &V iIxJZ1$  
    VirtualLab可用于计算点列图。 SlsMMD  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 &`t-[5O\  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 >P+V!-%#  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 7| IW\  
    ^!E;+o' t  
    9. 焦平面上的结果 'U5 E{  
    <S TwylL  
    nM\W a  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 h4!$,%"''  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ]TqcV8Q~  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 9sJbz=o]r  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 6 3Kec  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    B8;_h#^q  
    C[<&% =  
    10. 总结 G74<sD  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 O:pQf/Xn  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 U#@:"v|  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Qa(u+  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ]X@/0  
     
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