关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 i++ F&r[
$|AvT;4 1. 描述 tMupX-V ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 r}XD{F}" ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 R|tjvp-[} ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 1OJ:Vy}n
t-/%|@?D 2. 系统 .o
fYFK 6"gncB. 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
[;};qQ-C2 3. 透镜系统组件编辑 \7W {/v4^
Z73 ysn}
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 n)
`4*d$`
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 @ /c{gD
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 egKYlfe"
■ 包括序列光学表面和光学介质。 _*&<hAZj
YMz[je KA.@q AEB 4. 光线追迹系统分析器-选项 GVFD_;j' =axi0q?} XjL( V1
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 m@"!=CTKd
■ 可以选择选取光线的方法: JB**z00;
— 在x-y-网格 sd>#Hn
— 六边形 5MiWM2"X\
— 自由选取 yUBic~S
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 mVk:[
}l6 e3',? 5j 5. 系统的3维视图 s2&UeYbIs +]UPY5:F
}8 ,b;Q 6. 其他系统参数 /n(0nU[ ■ 系统由单色平面波照明 OhIUm4=|$ ■ 照明波长266.08nm 4|x5-m+T ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 7%L-;xcr]B — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 9KCnitU — 一个虚拟屏位于焦平面 At.WBa3j%{ — 光束尺寸探测器置于焦平面 >e8t ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 V@T G"YF IHf
A;&b Bg;bBA!L IzkZ^;(N &>sG xK 7. 光线追迹系统分析器的结果 .viA +V Bxz{rR0XV 光线经过整个光学系统的三维视图
W~R_-
]k@g 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
#O=^%C7p wgfn:LR rHN>fySn7 *$uKg zv3 ?T?%x(]I t+p-,ey^@ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 |
u36- hoeOdWIpf &ViIxJZ1$
■ VirtualLab可用于计算点列图。 SlsMMD
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 &`t-[5O\
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 >P+V!-%#
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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^ !E;+o' t 9. 焦平面上的结果 'U5
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 h4!$,%"''
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ]TqcV8Q~
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 9sJbz=o]r
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 6 3Kec
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 B8;_h#^q C[ <&%=
10. 总结 G74<sD ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 O:pQf/Xn ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 U#@:"v| ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Qa(u+
■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ]X@/0