关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 C!}9[X!7@:
h*\/{$y 1. 描述 o>Jr6:D( ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 IQ"9#{o ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 LdM9k( ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 w*"h#^1z
JgY#W1> 2. 系统 /DBldL7yi \zPcnDB 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
+_LWN8F 3. 透镜系统组件编辑 3A.T_mGCs
VaRP+J}UA.
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 nJ-U* yz
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 KnuQ5\y
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 h^$c
■ 包括序列光学表面和光学介质。 bR}{xHe
Pe_FW8e#J Ki:.^ 4. 光线追迹系统分析器-选项 NYcF]K}[ I,xV&j+< MKN],l
N
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 =^LX,!2zp{
■ 可以选择选取光线的方法: S*-/#j
— 在x-y-网格 `upxM0gc
— 六边形 EFb"{L
— 自由选取 I6E!$}
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Mli`[8@( <>FpvdB 5. 系统的3维视图 g$j ZpU %"0g}tK6
R2[-Q"|Ra 6. 其他系统参数 RIO4`, ■ 系统由单色平面波照明 {)8!> K%G ■ 照明波长266.08nm ~Z#jIG<?g ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 06#40- — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ^1^muc[ — 一个虚拟屏位于焦平面 V
2WcPI^ — 光束尺寸探测器置于焦平面
`fRp9o/ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8#MiM . f 8XUm.nV E{Ux|r~ _#8OHG.x ,y57tY 7. 光线追迹系统分析器的结果 S EeDq/h 5/) ,HGxi 光线经过整个光学系统的三维视图
voHFU#Z$ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
WI$MT6 *=X$j~#X xC,;IS k, :nHa-N3 nd[{DF?)/ 2-<i#nA3 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 dlx"L% -3fzDxD >; A7mi/
■ VirtualLab可用于计算点列图。 kCu" G
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 G-)Q*p{i|
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 TvzqJ=
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
_8U
5mW
M;{btu^a 9. 焦平面上的结果 ,L"1Ah
mXH\z
zNs8yMnFr
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Z7X_U`Q
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 f2JeXsOI
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm mQ@A3/= `
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 .ZB(!v/2
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 _U"9#< !4(X9}a 10. 总结 1$*ZN4 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ]d}U68$T+ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 {F/0pvP9 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Y|NANjEAfm ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 avb'J^}f