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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 C!}9[X!7@:  
    h*\/{$y  
    1. 描述 o>Jr6: D(  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 IQ"9#{o  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 LdM9k(  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 w*"h#^1z  
    JgY#W1>  
    2. 系统 /DBldL7yi  
    \z PcnDB  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    +_LWN8F  
    3. 透镜系统组件编辑 3A.T_mGCs  
    VaRP+J}UA.  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 nJ-U*yz  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 KnuQ 5\y  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 h^$ c  
    包括序列光学表面和光学介质。 bR}{xHe  
    Pe_FW8e#J  
    Ki:.^  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 NYcF]K}[  
    I,xV&j+<  
    MKN],l N  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 =^LX,!2zp{  
    可以选择选取光线的方法: S*-/#j  
    — 在x-y-网格 `upxM0gc  
    — 六边形 EFb"{L  
    — 自由选取 I6E!$ }  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    Mli`[8@(  
    <>FpvdB  
    5. 系统的3维视图 g$jZpU  
    %"0g}tK6  
    R2[-Q"|Ra  
    6. 其他系统参数 RIO4`,  
    系统由单色平面波照明 {)8!>K%G  
    照明波长266.08nm ~Z#jIG<?g  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 06#40-   
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ^1^mu c[  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 V 2WcPI^  
    光束尺寸探测器置于焦平面 `fRp9o/  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8#MiM . f  
    8XU m.nV  
    E{Ux|r~  
    _#8OHG.x  
    ,y5 7tY  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 S EeDq/h  
    5/),HGxi  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    voHFU#Z$  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    WI$MT6  
    *=X$j~#X  
    xC,;IS k,  
     :nHa-N3  
    nd[{DF?)/  
    2-<i#nA3  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 dlx "L%  
    -3fzDxD  
    >;A7mi/  
    VirtualLab可用于计算点列图。 kCu"G  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 G-)Q*p{i|  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 TvzqJ=  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 _8U 5mW  
    M;{btu^a  
    9. 焦平面上的结果 ,L"1Ah  
    mXH\z  
    zNs8yMnFr  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Z7X_U` Q  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 f2JeXsOI  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm mQ@A3/=`  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 .ZB(!v/2  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    _U"9#<  
    !4(X9}a  
    10. 总结 1$*ZN4  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ]d}U68$T+  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 {F/0pvP9  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Y|NANjEAfm  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 avb'J^}f  
     
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