关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 +a&p$\
bmN q[} 1. 描述 f.aSKQD ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 !TZhQiorC ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 [b%:.bjY ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 bwVPtu`
=PRx?q`d 2. 系统 T2}FYVj?!g /27JevE 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
s2?T5oWU 3. 透镜系统组件编辑 V/cP4{L
`U+l?S^$
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 4h5g'!9-g
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 4S~o-`&W
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ]k9)G*
■ 包括序列光学表面和光学介质。 6x"Q
7.DtdyM $0bjKy 4. 光线追迹系统分析器-选项 W_m"ySQs vN2u34 iA8U Yd3Q
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 0ye!R
■ 可以选择选取光线的方法: C6O8RHg
— 在x-y-网格 qB)"qFa
— 六边形 d,8mY/S>w
— 自由选取 c/B'jPt
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 jp $Z] \Mg`(,kwe 5. 系统的3维视图 jiF?fX@ t){"Tfc:
V9ssH87# 6. 其他系统参数 SIbDj[s ■ 系统由单色平面波照明 ;<UW A. ■ 照明波长266.08nm aM7uBx\8 5 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Vy_2 . — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 P&Pj>!T5
— 一个虚拟屏位于焦平面 :
tWU .f# — 光束尺寸探测器置于焦平面 5K|"\ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 :>p8zG mhW-J6u* "t^URp3 0afei4i~N ^$&k5e/}C 7. 光线追迹系统分析器的结果 `R"I;qV Oy 2+b1{ 光线经过整个光学系统的三维视图
8k(P,o 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
"5eNLqt^q q>w)"Dd -hkQ2[Ew#
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O4gg $lhC{&tBV 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Me6+~"am/ +za8=`2o N)&4Hy
■ VirtualLab可用于计算点列图。 0\2\*I}?
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;<0LXYL;
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 H3Se={5h\A
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
&Q}*+Y]G
Mwgu93? 9. 焦平面上的结果 G;f/Tch
7Sz?S_N/j
*6 _tQ9G
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 o[H{(f1%
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 &qS[%K )
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm WcC?8X2
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 `bc;]@"
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 _0gKK2 %T7nO %p 10. 总结 +:3* ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 MLFKH ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 !?^b[
nC% ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 lC=~$c: ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 %%cHoprDa