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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 +a&p$\  
    bmNq[}  
    1. 描述 f.aSKQD  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 !TZhQiorC  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 [b%:.bjY  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 bwVPtu`  
    =PRx?q`d  
    2. 系统 T2}FYVj?!g  
    /27JevE  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    s2?T5oWU  
    3. 透镜系统组件编辑 V/ cP4{L  
    `U+l?S^$  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 4h5g'!9-g  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 4S~o-`&W  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ]k9)G*  
    包括序列光学表面和光学介质。 6x"Q  
    7.DtdyM  
    $0bjKy  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 W_m"ySQs  
    vN 2u34  
    iA8U Yd3Q  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 0ye!R   
    可以选择选取光线的方法: C6O8RHg  
    — 在x-y-网格 qB)"qFa  
    — 六边形 d,8mY/S>w  
    — 自由选取 c/B'jPt  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    j p $Z]  
    \Mg`(,kwe  
    5. 系统的3维视图 jiF?fX@  
    t){"Tf c:  
    V9ssH87#  
    6. 其他系统参数 SIbDj[s  
    系统由单色平面波照明 ;<UWA.  
    照明波长266.08nm aM7uBx\8 5  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Vy_2.  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 P&Pj>!T5  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 : tWU .f#  
    光束尺寸探测器置于焦平面 5K|"\  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 :>p8zG  
    mhW-J6u*  
    "t^URp3  
    0afei4i~N  
    ^$&k5e/}C  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 `R"I;qV  
    Oy 2+b1{  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    8k(P,o  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    "5eNLqt^q  
    q>w)"Dd  
    -hkQ2[Ew#  
    {EdH$l>94  
    # O4gg  
    $lhC{&tBV  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Me6+~"am/  
    +za8=`2o  
    N)&4Hy  
    VirtualLab可用于计算点列图。 0\2\*I}?  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;<0LXYL;  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 H3Se={5h\A  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 &Q}*+Y]G  
    Mwgu93?  
    9. 焦平面上的结果 G;f/Tch  
    7Sz?S_N/j  
    *6 _tQ9G  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 o[H{(f 1%  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 &qS[%K )  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm W cC?8X2  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 `b c;]@"  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    _0 gKK2  
    %T7nO%p  
    10. 总结 +:3*  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 MLFKH  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 !?^b[ nC%  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 lC=~$c:  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 %%cHoprDa  
     
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