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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 NK0'\~7&  
     JC cYFtW  
    1. 描述 2"D4q(@  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 (\ab%M   
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 q/@2=$]hH3  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 |enLv12Gm  
     Jl_W6gY"Z  
    2. 系统 a3 }V/MY  
    3dN`Q:1R9  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    [H*JFKpx  
    3. 透镜系统组件编辑 jL-2 }XrA  
    |OeWM  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 UF-&L:s[  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 Ch]d\GM  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 A:m+v{*`4  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 nP%U<$,+  
     xt}.0dC!/%  
    %SC Jmn2  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 N**)8(  
    LDQ,SS,  
     26p[x'W  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 dFBFXy  
    ■ 可以选择选取光线的方法： 0`"oR3JY  
    — 在x-y-网格 SnG(/1C8  
    — 六边形 PA'&]piPl:  
    — 自由选取 x'g4DYl  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     o8X_uKEI  
    \-yI dKj  
    5. 系统的3维视图 wQG?)aaM  
    sT;wHtU  
    Qs\a&Q=0H  
    6. 其他系统参数 u)<]Pb})r  
    ■ 系统由单色平面波照明 9s<4`oa  
    ■ 照明波长266.08nm 5, $6mU#=  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： ~B|m"qY{i  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 :(]fC~G~  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 n~UI 47  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 Ah1 9#0  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 g ` s|]VNt  
    D^4nT,&8  
    36Lkcda[  
    bL xZ 5C7t  
    TVcA%]y{;  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 \2kLj2!  
    !'H$08Ql}  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    Go{,< gm  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    *b>RUESF  
    TR3U<:  
    t8-P'3,Q$  
    s|WwB T  
    R ABw( b  
    <yipy[D  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 (T*$4KGV  
    &:l-;7d  
    O2>c|=#  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 u{DEOhtI4  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 k&ooV4#f6  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 YH\9Je%jx  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 "`ftcJUd  
     )I&.6l!#  
    9. 焦平面上的结果 &Pb:P?I  
    $A?9U}V#^  
    =dPokLXn  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 T [$-])iK  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 @[lMh9`  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ASHU0v  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 3tZIL  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     3A`Gx#  
    n/skDx TE  
    10. 总结 %]Z4b;W[Y  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 U1r]e%df)  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 K#+?oFo:  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 YJv$,Z&;HO  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 (|BY<Ac3  
     
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