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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 4(&sw<k  
    J*4T| #0  
    1. 描述 Igh=Z %  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Xx1eSX  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 zKfY0A R  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 LC})aV|  
    9QHV%%  
    2. 系统 s9,Z}]Th  
    { t@7r  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    x9\]C' *sO  
    3. 透镜系统组件编辑 GDYFhH7H  
    cC]lO  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 MG vp6/Pd  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 v(;n|=O  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ,c|Ai(U  
    包括序列光学表面和光学介质。 [:8+ +#KD  
    #|K5ma  
    95sK;`rE+  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 }aL&3[>>  
    g}$B4_sY  
    e\.  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ak\[+wQ  
    可以选择选取光线的方法: @3`Pq2<  
    — 在x-y-网格 #6@4c5{2=4  
    — 六边形 4o<' fY  
    — 自由选取 W1ql[DqE{  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    t'[`"pp=  
    Y%^qt]u.8  
    5. 系统的3维视图 5%"sv+iO  
    Q2"K!u]  
    !:Ob3Mq\  
    6. 其他系统参数 k,61Va  
    系统由单色平面波照明  ?%*p!m  
    照明波长266.08nm X'p%K/-m  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: p8MN>pLP%  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 yM*_"z!L  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 0~BZh%s< (  
    光束尺寸探测器置于焦平面 XA\wZV |{  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Bh;N:{&^Eu  
    C);I[H4Yfw  
    fvRqt)Ks  
    |xrnLdng0R  
    iN1_ T  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ZQAiuea  
    \7G.anY  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    o @nsv&i  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    cUTG! P\R  
    >aT~ G!y  
    hbm #H7Y  
    nnCz!:9p  
    ?~<NyJHN%  
    (3&P8ZGNR  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 =g?k`v p  
    T=':$(t  
    !:a^f2^=  
    VirtualLab可用于计算点列图。 JG@Zb}b  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 4xgfm.9I^  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 [`' K.-?#  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Ks-$([_F   
    KgXu x-q  
    9. 焦平面上的结果 ])?[9c  
    t(UdV  
    { T?1v*.[  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 lS?#(}a1)  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 P?Kg7m W  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 0P;\ :-&p  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Wm/0Pi  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    fa!8+kfi  
    95Q^7oI  
    10. 总结 KxDfPd+j[  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 #lF 2q w  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ~-'-<-  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 4jC7>mE  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 8d(l)[GZt  
     
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