关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 4(&sw<k
J*4T|#0 1. 描述 Igh=Z % ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Xx1e SX ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 zKfY0A R ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 LC})aV|
9QHV%% 2. 系统 s9,Z}]Th {
t@7r 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
x9\]C'*sO 3. 透镜系统组件编辑 GDYFhH7H
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 MG vp6/Pd
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 v(;n|=O
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ,c|Ai(U
■ 包括序列光学表面和光学介质。 [:8+ +#KD
#|K5ma 95sK ;`rE+ 4. 光线追迹系统分析器-选项 }aL&3[>> g}$B4_sY e \.
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ak\[+wQ
■ 可以选择选取光线的方法: @3`Pq2<
— 在x-y-网格 #6@4c5{2=4
— 六边形 4o<'
fY
— 自由选取 W1ql[DqE{
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 t'[`"pp= Y%^qt]u.8 5. 系统的3维视图 5%"sv+iO Q2"K!u]
!:Ob3Mq\ 6. 其他系统参数 k,61Va ■ 系统由单色平面波照明 ?%*p!m ■ 照明波长266.08nm X'p%K/-m ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: p8MN>pLP%
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 yM*_"z!L — 一个虚拟屏位于焦平面 0~BZh%s< ( — 光束尺寸探测器置于焦平面 XA\wZV
|{ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Bh;N:{&^Eu C);I[H4Yfw fvRqt)Ks |xrnLdng0R iN1_T 7. 光线追迹系统分析器的结果 ZQAiuea \7G.anY 光线经过整个光学系统的三维视图
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@nsv&i 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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P\R >aT~G!y hbm#H7Y nnCz!:9p ?~ <NyJHN% (3&P8ZGNR 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 =g?k`vp T=':$(t !:a^f2^=
■ VirtualLab可用于计算点列图。 JG@Zb}b
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 4xgfm.9I^
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 [`'K.-?#
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Ks-$([_F
KgXu x-q 9. 焦平面上的结果 ])?[9c
t(UdV
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T?1v*.[
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 lS?#(}a1)
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 P?Kg7m W
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 0P;\ :-&p
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Wm/0Pi
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 fa!8+kfi 95Q^7oI 10. 总结 KxDfPd+j[ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 #lF 2qw ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ~-'-<- ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 4jC7>mE ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 8d(l)[GZt