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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 |82V` CV  
                                        
    ^F`FB..:y  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 rN{&$+"2  
    7 m&M(ct  
    建模任务 KEY M@,'  
    X\$|oiR  
    系统构建块-扫描源                                                
    <g,k[  
    Qkqn~>  
    How to Set Up a Scanning Source 1y_{#,{>  
                                                                                   4pq>R  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 GWA_,/jS%  
    sj. eJX"z  
    系统构建块-参数耦合 wGISb\rr  
       V}9wx%v  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion m98k /w_  
                                                                                  
    N3r{|Bu  
    系统构建块-失真分析仪 ;=)CjC8)  
                                                                          
    .1|'9@]lj4  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 w ^`n  
    +#Ov9b  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               Os@ofnC  
    ZQl[h7c/N  
    通用探测器和探测器附加组件                                                    
    1Q?hskL  
    a+weBF#Z  
    `?=AgGg  
    "VcGr#zW  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: [(ty{  
    oi"Bf7{  
    Universal Detector .D4 D!!  
                                                                                   #|$i H kVY  
    总结-组件 {,s:vPoiA  
    b;m6m4i'f{  
    &% M^:WT  
    系统观感   X dB#+"[  
    Q `E{Oo,  
    通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 S~Q7>oNm  
    x:l`e:`y9  
    HNU[W8mg8  
    性能评估-点位偏差 y62;&{?m  
    L1rov  
                                  
    6Mk@,\1  
    性能评估-光斑直径测量                                                       >r]# 77d  
    |UR.7rOV  
    7)_0jp~2  
    tvb hWYe  
    XkdNWR0  
    此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 tanuP@O  
    ix!u#7  
    VirtualLab Fusion技术 )-jvp8%BK  
        
    Iv/yIS  
     
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