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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 LVp*YOq7  
                                             3ws}E6\D  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 bol#[_~  
    tL~?)2uEN  
    建模任务 vd'd@T  
    e6WKZ~ v o  
    系统构建块-扫描源                                                     6dq*ncNin  
    R2$;f?;:  
    How to Set Up a Scanning Source @q]{s+#Xf  
                                                                                   GS4 HYF  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 `CQMvX{  
    ?Em*yc@WD  
    系统构建块-参数耦合  ?[G!6  
       O[[#\BL  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion aj<=]=hr  
                                                                                       gr")Jw7  
    系统构建块-失真分析仪 T7{Z0-  
                                                                               `Vqp o/  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 Y|iJO>_Uu=  
     |Skk1 #  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               dM1)wkbET  
    O8N\  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         n)7olP0p  
    w3=Bj  
    {D jz']  
     o(I[_oUy\  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 0?",dTf3i  
    Y(4#b`k3  
    Universal Detector :+SpZ>  
                                                                                   t$z FsFTQ  
    总结-组件… 1cyX9X  
    r>hkm53  
     FasA f( 3  
    系统观感   ;@@1$mzK  
     OwwlQp ~!J  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 y+XB  
    O&!tW^ih  
     ncluA~8  
    性能评估-点位偏差 Ny>tJ~I  
    MT,LO<.  
                                       =yf LqU  
    性能评估-光斑直径测量                                                       0.+"K}  
    s wdW70  
    '[fo  
    aD~3C/?aW  
    dE+xU(\, w  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 pNo<:p  
    tVZj tGz=  
    VirtualLab Fusion技术 J>P{8Aw  
             9tVA.:FOZ  
     
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