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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 g=b 'T-  
                                        
    +3VY0J  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 nlh%O@,  
    Bp9 u6R  
    建模任务 H`kfI"u8  
    ="MG>4j3.F  
    系统构建块-扫描源                                                
    d^4!=^HN  
    6*CvRb&  
    How to Set Up a Scanning Source r"^P>8  
                                                                                   &r jMGk"&  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 1--5ok h  
    ZM0vB% M|  
    系统构建块-参数耦合 ZjbMk 3Y  
       =ayl~"bW  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion fi`*r\  
                                                                                  
    &!_ >J0  
    系统构建块-失真分析仪 $5(co)C  
                                                                          
    ONg_3vD{  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 1Z|q0-Dw0  
    k]w;(<  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               ^k/@y@%  
    ~ #Vrf0w/  
    通用探测器和探测器附加组件                                                    
    YDO#Q= q%  
    2e#hJ-/`-  
    ]v$VZ '  
    J&2cf#  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: r3;?]r.}7  
    6ID@0  
    Universal Detector Dhv ^}m@  
                                                                                   0"LJ{:plz  
    总结-组件 L~=h?C<  
     K<6)SL4  
    7;5SK:X%dm  
    系统观感   ]9F$/M#  
    s&TPG0W  
    通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 m?0caLw<  
    "KSzn  
    h:[%' htz  
    性能评估-点位偏差 |L,_QXA2  
    /{|JQ'gqX  
                                  
    :;HJ3V;  
    性能评估-光斑直径测量                                                       ) 7w%\i{M  
    IN~Q(A]Z%  
     ]?M3X_Mq  
    imC>T!-7  
    tFn_{fCc>  
    此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 f:bUM/Ud  
    f0S$p R  
    VirtualLab Fusion技术 wF[%+n (*  
        
    ?$J#jhR?  
     
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