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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 6DxT(VU}  
                                             +01bjM6F_1  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 $=ua$R4Z+  
    s$?u'}G3  
    建模任务 aUyJi  
    J,_IHzO~Z  
    系统构建块-扫描源                                                     N 6t`45  
    z#Cgd-^7.#  
    How to Set Up a Scanning Source FNHJHuTe  
                                                                                   {^N90,!  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 o#frNT}  
    eCy]ugsi%  
    系统构建块-参数耦合 IWNIk9T,u  
       pcO{%]?p  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion ;yDXo\gm  
                                                                                       W:y'a3~  
    系统构建块-失真分析仪 w@$_2t  
                                                                               FZ@8&T   
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 &^JYIRn1\  
     `\Hs{t]  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               ;_D5]kl`  
    12S[m~L%  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         e =4k|8G  
    -z?O^:e#x  
    U\`yLsKvH`  
     F94Qb}  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: mP+rPDGp  
    tRzo}_+N  
    Universal Detector QMBV"E_aY  
                                                                                   a4D4*=!G0  
    总结-组件… V~ [I /Vi  
    X0zE-h6P  
     ~\~XD+jy"  
    系统观感   ((E5w:=?  
     QP[`*X  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 5:x .<  
    t.]c44RY  
     90]{4]y;  
    性能评估-点位偏差 7).zed^  
     !#Hca  
                                       R:FyCT_,  
    性能评估-光斑直径测量                                                       @V5'+^O  
    dD}!E  
    -Drm4sTpDb  
    WA79(B  
    A}Gj;vaw  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 m[!AOln)  
    `@r#o&  
    VirtualLab Fusion技术 EL=}xug,?  
             MB] Y|Vee  
     
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