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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 ]Y&)98  
                                             C'czXZtn  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 Q!Ow{(|  
    !LIfeL.4h  
    建模任务 YB B$uGA  
    rk,1am:cg  
    系统构建块-扫描源                                                     )YMlF zYr  
    $l,Zd6<1q  
    How to Set Up a Scanning Source O| J`~Lk  
                                                                                   Lp`<L-s  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 Cz@FZb8  
    D5!K<G?-K  
    系统构建块-参数耦合 vk)0n=  
       (vAv^A*i}  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion L;M^>{>  
                                                                                       [TK? P0  
    系统构建块-失真分析仪 bV$8 >[`  
                                                                               {jM<t  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 *V6QB e  
     . z$Sm  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               C8qTz".5$  
    { w8 !K  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         xw+<p  
    )'!ml  
    :-u-hO5*8  
     w,![;wG  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: }-{b$6]  
    ";_K x={  
    Universal Detector K)Zkj"y  
                                                                                   &cu] vw  
    总结-组件… L)/6kt=  
    o'^;tLs15  
     i9;27tT~<  
    系统观感   KIKq9*  
     4aN+}TkH@G  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 0n*rs=\VG  
    kQwm"Z  
     ]D{c4)\7C|  
    性能评估-点位偏差 cK|rrwa0  
    ]PlY}VOY  
                                       E5*-;>2c  
    性能评估-光斑直径测量                                                       i0'Xy>l  
    gp$EXJ=  
    q8?= *1g  
    XhE$&Ff  
    Kd/[ Bs%  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 Sf'i{xye  
    (F,(]71Z+  
    VirtualLab Fusion技术 m|[\F#+C  
             [_ M6/  
     
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