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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 X{o.mN  
                                             K& <|94_k  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 wy <m&M<Gr  
    uO>$,s  
    建模任务 FAJ\9  
    5Y#yz>B@ ]  
    系统构建块-扫描源                                                     ;FQAL@"Yj  
    t=NPo+fm  
    How to Set Up a Scanning Source ooref orr  
                                                                                   5Az=)q4Q  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 bv5,Yk  
    PQ<""_S||  
    系统构建块-参数耦合 BhLYLlXPY  
       \/la`D  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion oqB(l[%z2  
                                                                                       rV)mcfw:Z  
    系统构建块-失真分析仪 $SRpFz5y$  
                                                                               HvN!_}[  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 Dr$k6kZ}'U  
     _N$3c<dY'  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               ;RB]awE  
    Uc>kCBCd  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         thDQ44<#)  
    @bOhnd#W  
    1T!b# x4  
     q|b#=Af]g  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: OGh9^,v  
    L&MR%5  
    Universal Detector RmY5/IYR|:  
                                                                                   lPSyFb"  
    总结-组件… G`9Ud  
    I!dA{INN  
     ;"-(QE?Mv  
    系统观感   f)l:^/WP+  
     t,M _  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 fPZt*A__  
    bdZ[`uMD  
     F$ShhZgi  
    性能评估-点位偏差 P{i\x#  
    #wK {G)J  
                                       I?uU }NK  
    性能评估-光斑直径测量                                                       I;<0v@  
    s]50Y-C  
    !?Gt5$f  
    +w[vYKSZm  
    z85%2Apd  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 m~'!  
    KV9'ew+M  
    VirtualLab Fusion技术 bGOOC?[UX  
             Wf/r@/ q  
     
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