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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 | U )  
                                             b*&AIiT  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 JvX]^t/}  
    Nk*d=vj  
    建模任务 -|YG**i/  
    i=jwk_y  
    系统构建块-扫描源                                                     Q'>pOtJG*J  
    LVP2jTz  
    How to Set Up a Scanning Source uxLT*,  
                                                                                   LX2rg\a+%  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 #q#C_"  
    Dukvi;\  
    系统构建块-参数耦合 P|*c7+q  
       W;!OxOWZJ  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 5+Fr/C  
                                                                                       lLhvpvT  
    系统构建块-失真分析仪 "NWILZwEV  
                                                                               Is57)(^.-  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 8T-/G9u  
     &8$Gy u  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               Uq/FH@E=  
    `Y]t*` e|  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         AQ+MjS,  
    p?rh+0wgX  
    D y+)s-8  
     $r+ _Y/  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: o?5m^S14[1  
    f3PDLQA  
    Universal Detector C)Ep}eHjf_  
                                                                                   X\&CQiPS  
    总结-组件… 7W[+e&  
    eLFxGZZ  
     FJ-X~^  
    系统观感   <OgwA$abl%  
     5?l8;xe`{f  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 %[S-"k  
    u-</G-y  
     vo (riHH  
    性能评估-点位偏差 Z;/QB6|%  
    %Yw?!GvL[  
                                       ' _ZiZ4O  
    性能评估-光斑直径测量                                                       R ?62g H  
    Mbm'cM&}  
    da ' 1 H  
    nMM:Tr  
    pSa pF)1>  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 2P, %}Ms  
    d)>b/0CZ  
    VirtualLab Fusion技术 u~c75Mk_v  
             !#y_vz9  
     
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