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摘要 ja>T nfu
 IaF79}^ F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 vMI \$E & z`_N|iEd 建模任务 ?NwFpSB2
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系统构建块-扫描源 A=3 U4L  L'6zs:i How to Set Up a Scanning Source 9%dNktt . }1! MK5 系统构建块-透镜系统组件 )i>KYg w  eeX>SL5'i 系统构建块-参数耦合 F% |(pHk  (nzzX?`nY
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion HYY|) Wo
u@ |yw) 系统构建块-失真分析仪 ~\_E%NR
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 GS ^4t mc 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 d8K^`k+x
 NSkI2>+P 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 2]' ozs$|v F`N *{at
通用探测器和探测器附加组件 _8`|KY T<?;:MO88
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 u J$"2<O Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: }qg!Um0 ls5S9R 5 Universal Detector %SE g(< Ea
!j-Lb o 总结-组件… - t+Mh .
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 Z~R i%XG 系统观感 N f~<x K
e?7paJ 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 "&ks 8 3
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 BCj&z{5"7e 性能评估-点位偏差 ~Mx
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 )>/c/ B 性能评估-光斑直径测量 nGt8u4gcP C+m U_g>  )<|T Ep4r-
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 `#]\Wnp~y
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VirtualLab Fusion技术 C/ bttd
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