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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 ;A;FR3=)  
                                             8$V:+u  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 Mib<1ZM  
    vZ/Bzy@|  
    建模任务 9 Aq\1QC  
    NX9K%J  
    系统构建块-扫描源                                                     J0O wzO  
    s>1Wjz2M  
    How to Set Up a Scanning Source ?'+ kZ|  
                                                                                   >Eqr/~Q  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ?)?}^  
    & ( i_s  
    系统构建块-参数耦合 /YT _~q=:  
       U)iq  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion xfADks2w  
                                                                                       !pAb+6~T  
    系统构建块-失真分析仪 0mi$_Ld+  
                                                                               P&}J (;Lbl  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 [ T!0ka  
     :XaBCF*  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               *d mS'/  
    l/g6Tv `w  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         o%sx(g=q6  
    Hh{pp ^  
    =&"x6F.`  
     9HBRWh6  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: vj hh4$k  
    &^1{x`Qo=  
    Universal Detector ~zph,bk  
                                                                                   y';"tDFb  
    总结-组件… }\3jcnn  
    tiQeON-Q_  
     =Cg1I\  
    系统观感   O#72h]  
     qEajT"?  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 1Zt>andBF  
    EUjA-L(  
     ?{rpzrc!*  
    性能评估-点位偏差 wjc&S'[  
    M~,N~ N1  
                                       Vh'H =J  
    性能评估-光斑直径测量                                                       W|4h;[w  
    Q]hl+C$d"/  
    GiS:Nq`$(  
    N977F$B o  
    20?@t.aMp  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 U\GuCw  
    r2G38/K  
    VirtualLab Fusion技术 B<\HK:%{  
             8KMo!p\i  
     
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