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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 )>q.!"B  
                                             a%>p"4WL  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 M$L1!o1Xf  
    "=I ioY  
    建模任务 EJP##eGx  
    mBgMu@zt)  
    系统构建块-扫描源                                                     =/MAKi}g  
    6y&d\_?Y  
    How to Set Up a Scanning Source |V{'W-` |[  
                                                                                   ^YzFEu$  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 b'`8$;MII  
    (l : ;p&[  
    系统构建块-参数耦合 !h&A^sAc  
       zm rQ7(y  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion q: . URl  
                                                                                       _A%} >:q  
    系统构建块-失真分析仪 /C29^P  
                                                                               j;eR9jI$T  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 b@@`2O3"  
     5DKR1z:  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               CN0&uyu#4  
    C,:3z  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         "YD<pRVB  
    O G#By6O  
    `-S6g^Y  
     V}ZF\SG(K  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: S5]rIcM  
    6&7#?/Lq  
    Universal Detector Px:PoOw\  
                                                                                   PNgj 8J4  
    总结-组件… S!o!NSn@1  
    - 8&M^-  
     qCOe,$\1/  
    系统观感   bJ~]nj 3  
     1{R 1:`  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 dC;@ Fn  
    ?fcQd6-}  
     iO4YZ!  
    性能评估-点位偏差 lCg'K(|"  
    ?cf9q@eAH  
                                       rmutw~nHD  
    性能评估-光斑直径测量                                                       [_ESR/&N  
    "1_eZ`  
    =xFw4 D9  
    " cx\P,<  
    bCHA!zO  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 EXUjdJs"  
    iqURlI);P  
    VirtualLab Fusion技术 ziCTvT  
             jI!}}K)d  
     
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