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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 t.O~RE  
                                             Zn Rj}y  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 4 CiRh  
    Q.V@Sawe5  
    建模任务 42,dHYdt  
    t%k`)p7O  
    系统构建块-扫描源                                                     K*1]P ar;  
    **AkpV)  
    How to Set Up a Scanning Source At[SkG}b  
                                                                                   k{lXK\zN  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 *&h]PhY  
    3|)cT1ej  
    系统构建块-参数耦合 OH]45bd &7  
       i\.(6hf+  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion $DnJ/hg;qD  
                                                                                       %X%f0J  
    系统构建块-失真分析仪 }"%mP 4]&  
                                                                               JP ;SO  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 %=s2>vv9  
     .>_%12>  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               VtU2&  
    k{|> !(Ax  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         T0b/txS  
    P9S)7&+DL  
    A5%Now;.cf  
     'r-B%D=  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: qkC{IBN92  
    auY?Cj'"fs  
    Universal Detector jSdC1,wR  
                                                                                   H3iYE~^#  
    总结-组件… `m"K_\w=/  
    }#=t%uZ/  
     ku>Bxau4>  
    系统观感   W!=ur,F+  
     v=&xiwz}  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 i`}9VaUG  
    p-!/p#  
     Pe11a zJ  
    性能评估-点位偏差 dww4o~hO  
    mr]~(]B?r  
                                       q!h'rX=_-  
    性能评估-光斑直径测量                                                       ;uZeYY?   
    ?fc<3q"  
    9Nz}'a;?>  
    U` )d `4"  
    DD>n-8M@>  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 M3JV^{O/DV  
    ,d^HAg^j  
    VirtualLab Fusion技术 VPVg \K{  
             XN3'k[  
     
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