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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 1i_~ZzX8  
                                             TIW6v4  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 "]LNw=S  
    (u]ft]z,-B  
    建模任务 .Y&_k  
    .Ap[C? mV  
    系统构建块-扫描源                                                     7\"-<z;kK  
    l'W?X '  
    How to Set Up a Scanning Source x~$P.X7(~  
                                                                                   $sU?VA'h  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ]RPv@z:V  
    6vX+- f  
    系统构建块-参数耦合 Umv_{n`  
       Wv77ef  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion F@ZG| &  
                                                                                       +=$\7z>s  
    系统构建块-失真分析仪 Y5-X)f  
                                                                               ~"gOq"y 5p  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 6"|PJ_@P  
     W$EX6jTGI  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               RL~\/#  
    2N5 N^S  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         IQGIU3O  
    E5jK}1t4V  
    y@~.b^?_u  
     KFA B  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: zO2<Igb  
    oFoG+H"&7\  
    Universal Detector x4*8q/G=D  
                                                                                   r4J4|&ym  
    总结-组件… a gBKp!  
    A!Ng@r  
     xE9^4-Px*  
    系统观感   *B#OLx  
     ~SV;"e2N.  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 5irewh'R  
    k,X)PQc  
     PgB=<#9  
    性能评估-点位偏差 a+A/l  
    K.o?g?&<  
                                       6du"^g  
    性能评估-光斑直径测量                                                       y|.wL=;  
    q<oA%yR  
    Cla Yy58v  
    E4}MvV=  
    ,{J2i#g<  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 ;f?OT7>kN  
    O5_E"um  
    VirtualLab Fusion技术 6@H& S  
             J-Sf9^G  
     
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