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摘要 0R[fH
KF1iYo>p F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 :9%e:- #\QW <I#/ 建模任务 ^"54Q^SH
8AY;WL:; 系统构建块-扫描源 ZeU){CB V\{@c%xW How to Set Up a Scanning Source F8{gJaP x H@$K/ 系统构建块-透镜系统组件 [MwL=9;!H a=A12< 系统构建块-参数耦合 0a8\{(w ]y=U"g Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion Qj_)^3`e izaqEz 系统构建块-失真分析仪 V:J|shRo
8Q<Nl=g>' 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 ly0L)L]\
7 vFmB 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 U:n~S t=@d`s:R2 通用探测器和探测器附加组件 +ZW>JjP* rOt{bh6r
e@0|fB%2
h@=@
fa Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: Z$KyK.FUU i7r)9^y Universal Detector )$9wKk\F 7sOAaWx 总结-组件… ~K3Lbd|
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xW5 `.^5 系统观感 GQY"
+xa8] eZ]r"_? 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 %M'`K l9=Ka{$^*
d$bO.t5CLh 性能评估-点位偏差 mhhc}dS(H -bOtF%
vnQFq 性能评估-光斑直径测量 ;7?oJH; Is3Y>oX 6wwbH}*=? 1R~$m
'[F`!X 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 ro<w8V9.a
f&^}yqmuE VirtualLab Fusion技术 *qSvSY*
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