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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 C)ERUH2i  
                                             I-]?"Q7Jz  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 ?N*>*"  
    iL-(O;n  
    建模任务 KQ!8ks]  
    rr],DGg+B]  
    系统构建块-扫描源                                                     6H.0vN&  
    l[0RgO*S  
    How to Set Up a Scanning Source nS }<-s  
                                                                                   {HltvO%8  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 5H<m$K4z  
    '}53f2%gKa  
    系统构建块-参数耦合 8mvy\l EEH  
       BU/"rv"(Fg  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion & p  
                                                                                       dd%6t  
    系统构建块-失真分析仪 q$d>(vb q  
                                                                               EIP /V  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 X:"i4i[}{9  
     |.: q  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               ^,TO#%$iE  
    Y8~"vuIE5  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         $Vg>I>i  
    zZPO&akB"  
    =7=]{Cx[  
     3wF;GG  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: GY'%+\*tj  
    L\J;J%fz.  
    Universal Detector ~g]Vw4pv  
                                                                                   zj{pJOM06  
    总结-组件… 5{X<y#vAC0  
    N)X3XTY  
     Woy m/[i  
    系统观感   YoNDf39  
     7;(`MIFXs  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 ~Fcm[eoC  
    b4 6~?*  
     Rh{f5-  
    性能评估-点位偏差 K\Wkoi5  
    p?OoC  
                                       k1~&x$G  
    性能评估-光斑直径测量                                                       &DX! f  
    rglXs  
    %J?xRv!  
    +~$ ]} %  
    YK'<NE3 4  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 N =}A Z{$  
    T.BW H2gRP  
    VirtualLab Fusion技术 AQvudx)@"  
             +I|vzz`ZVr  
     
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