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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 hcD.-(-;)  
                                             >3ASrM+>w  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 0Szt^l7  
    s[/)v:  
    建模任务 %aJ8wYj*  
    zU>bT20x/  
    系统构建块-扫描源                                                     EO.}{1m=hx  
    NEMC  
    How to Set Up a Scanning Source \o!B:Vb<  
                                                                                   $-]PD`wmY  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 I#t# %!InH  
    htqC~B{1E  
    系统构建块-参数耦合 )RwO2H  
       x@"`KiEUs  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion ML_[Z_Q<z  
                                                                                       yCye3z.  
    系统构建块-失真分析仪 Zv1/J}+  
                                                                               |Q~5TL>b  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 }2_ i<4,L  
     2k""/xMF'  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               Z|Xv_Xo|4  
     AQz&u  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         h`p9H2}0  
    N%+C5e<  
    p[gq^5WuC  
     k;y5nXIlN  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 5-X(K 'Q  
    `BZX\LPHm  
    Universal Detector |zSoA=7?  
                                                                                   >5=uq _QY  
    总结-组件… RjCEo4b-.H  
    GGwHz]1L  
     h/F,D_O>ZO  
    系统观感   wpPCkfPyL  
     c1Ta!p{%  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 W_N!f=HW  
    O_wRI\ !  
     f)K1j{TZ  
    性能评估-点位偏差 rY&Y58./  
    s;-%Dfn  
                                       }fKpih  
    性能评估-光斑直径测量                                                       7Cj6Kw5k  
    VN9C@ ;'$  
    cH%#qE3  
    -{XXU)Z  
    KFMEY\6\h  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 /_*L8b  
    zmMz6\ $  
    VirtualLab Fusion技术 oVSq#I4  
             YV0K&d  
     
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