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    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 VFLxxFJ  
                                             XD>(M{~  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 f=%k9Y*)  
    ]+RBykr  
    建模任务 w-9FF%@<  
    }F'B!8n  
    系统构建块-扫描源                                                     dq$H^BB+>  
    -X#Zn>#  
    How to Set Up a Scanning Source te e  
                                                                                   ^ ,`;x  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 e RiPC  
    qF9z@a  
    系统构建块-参数耦合 . e' vc  
       rSGp]W|  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 1&_9 3  
                                                                                       t#pF.!9=  
    系统构建块-失真分析仪 }%z {tn  
                                                                               7aAT  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 *uJcB|KX  
     V-Ebi^gz5W  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               *` }Rt  
    *aKT&5Ch-  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         p BU,"Yy&  
    *`]LbS  
    3N8RZt1.b  
     j*uc$hC"  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: m0I/X$-Cl5  
    TiiMX  
    Universal Detector obYXDj2  
                                                                                   ]Puu: IG  
    总结-组件…  j6zZ! k  
    KMFvi_8  
     *;(wtMg  
    系统观感   n}NO"eF>-s  
     v(uYso_  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 1A>>#M=A  
    E+>$@STv#  
     -oSfp23u  
    性能评估-点位偏差 xWNB/{F  
    OMaG*fb=  
                                       x. d ;7  
    性能评估-光斑直径测量                                                       D]NfA2B7  
    6pyLb3[e  
    6 w"-&  
    ) `u)#@x  
    XJ\ j0  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 ==$>M d  
    tvh)N{j  
    VirtualLab Fusion技术 ;xp^F KP  
             {yPJYF_l  
     
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