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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 Vw@?t(l>  
                                             T F[8r[93  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 N -z  
    }w|a^=HAp  
    建模任务 ?l/$cO  
    8*7,qX  
    系统构建块-扫描源                                                     M hwuh`v%  
    )8_ x  
    How to Set Up a Scanning Source !k}]`z^d  
                                                                                   %b1NlzB+  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 qX%oLa  
    ^C|N  
    系统构建块-参数耦合 /=i+7^  
       l |Y?]LNr  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion [" PRxl  
                                                                                       <J o\RUx  
    系统构建块-失真分析仪 -ld1o+'`v!  
                                                                               D=^|6}  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 qF? n&>YG  
     4UISuYg'  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               9e _8Z@|  
    L"(k;Mfe  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         Qw@_.I  
    |ZmWhkOX  
    /4 M~ 6LT`  
     ,?KN;~t#vz  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: >S[NI<=8S  
    Fu$JI8  
    Universal Detector 5bHS|<  
                                                                                   )1ct%rue  
    总结-组件… _Z0O]>KH  
    IPa)+ ZQ  
     T[\?fSP  
    系统观感   {+N7o7  
     Js0hlWu  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 %h^ f?.(:  
    )Zbrg~-@  
     s+@`Z*B5  
    性能评估-点位偏差 JIh:IR(ta  
    ?rSm6V  
                                       T@?uA*J  
    性能评估-光斑直径测量                                                       tvEf-z  
     jT$  
    6_zyPh  
    C9Xj)5k@R  
    LO@='}D=  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 %kXg|9Bx!  
    YCI- p p  
    VirtualLab Fusion技术 T~G~M/  
             gu|cQ2xV  
     
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