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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 HWB\}jcA6u  
                                             bpU> (j  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 ~vA8I#.  
    (jhi<eV  
    建模任务 K0C"s 'q  
    3fpaTue|x  
    系统构建块-扫描源                                                     x7^VU5w#  
    l<4P">M!.  
    How to Set Up a Scanning Source k:j_:C&.  
                                                                                   w/*#TDR  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 yih|6sd$F  
    iRkUL]H@&  
    系统构建块-参数耦合 r r\u)D#)  
       L>E;cDB  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion bx{njo1Mr  
                                                                                       I~YV&12  
    系统构建块-失真分析仪 bc~WJ+  
                                                                               }Rh%bf7,  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 CMbID1M3  
     1,$"'lKwt  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               Uf7ACv)Dn  
    nsXG@CS:  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         >b9J!'G,(  
    -bdWG]w"  
    4VeT]`C^h  
     )p;t '*]  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: Whp`\E< <  
    Akc |E!V  
    Universal Detector oH v.EO  
                                                                                   WoB'B|%  
    总结-组件… 6)ZaK  
    n/*" 2  
     L aA<`  
    系统观感   ._A4 :  
     GhcH"D%-  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 <o3I<ci6  
    g{sp<w0  
     [:(O`#  
    性能评估-点位偏差 sUmpf4/  
    qc)+T_m  
                                       m*jE\+)=^  
    性能评估-光斑直径测量                                                       W+=j@JY}q9  
    *>zOWocxD  
    ecH7")  
    j x< <h _j  
    F 2zUz[  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 4G;KT~Cgb  
    JzCkVF$  
    VirtualLab Fusion技术 Evg#sPu\  
             <Z_\2 YW A  
     
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