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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 T!bu}KO  
                                             xJCpWU3wM  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 M %~kh"  
    v &n &i?  
    建模任务 j7&l&)5  
    )Yml'?V"  
    系统构建块-扫描源                                                     F*f)Dv$p  
    )T?ryp3ev  
    How to Set Up a Scanning Source *C\O] r:'  
                                                                                   PW}.`  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 8{C3ijR  
    `c(@WK4  
    系统构建块-参数耦合 T (qu~}  
       jJ|;Nwm<[  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion F~1R.r_Lu  
                                                                                       r`2& o  
    系统构建块-失真分析仪 \cG'3\GI  
                                                                               isjkfl-!  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 _D~a4tgS  
     Y*Pr  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               ' vwBG=9C  
    B !XT:.+  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         * XJSa  
    am}zOr\  
    D)Zv  
     wQ5__"D  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: S'txY\  
    }^H_|;e1p  
    Universal Detector jAu/] HZx  
                                                                                   O%Mh g\#B  
    总结-组件… 2h=RNU|  
    }sFHb[I &  
     KLX>QR@  
    系统观感   S7bSR?~L[  
     u% FA.  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 H_{Yr+p  
     #u~8Txt  
     Q]8r72uSk  
    性能评估-点位偏差 <*L8kNykK  
    v"`w'+  
                                       n}"MF>zDK  
    性能评估-光斑直径测量                                                       8O]$)E  
    @ Fu|et  
    J( 0c#}d  
    Na4\)({  
    N)QW$iw9  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 #<{sP 0v*  
    ]\{EUx9  
    VirtualLab Fusion技术 KyjN'F$  
             4oJ0,u  
     
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