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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 Qq`S=:}~x  
                                             x:MwM?  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 xX%ppD7  
    .T9$O]:o  
    建模任务 K'Ywv@  
    o{,I O!q  
    系统构建块-扫描源                                                     >fXtu:C-!J  
    {q)d  
    How to Set Up a Scanning Source DlUKhbo$g  
                                                                                   Xs052c|s  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 vYV!8o.I  
    4)w,gp  
    系统构建块-参数耦合 /=p[k^A  
       L8h3kT  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion P! +Gwm{  
                                                                                       !y b06Z\f  
    系统构建块-失真分析仪 ,6{z  
                                                                               %jjPs .  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 + kKanm[!v  
      bHG<B  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               ^5E9p@d"J  
    gvR]"h  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         6U !P8q  
    GFdbwn5B  
    ?-)!dl%N  
     zfKO)Itd  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: */M`KPW  
    H7tv iSTd  
    Universal Detector <rE>?zvm  
                                                                                   m:h6J''<Z*  
    总结-组件… q|<B9Jk  
    5=C?,1F$A  
     Z>`\$1CI  
    系统观感   E_=F' sP?  
     + kMj|()>\  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 s0' haU  
    ~g=& wT11  
     <Ja&z M  
    性能评估-点位偏差 3FR(gr$X  
    (O+d6oT=Z2  
                                       L4Jm8sy{  
    性能评估-光斑直径测量                                                       @~$d4K y<  
    !s-A`} s+  
    #1haq[Uv7  
    "BSY1?k{  
    k";dK*hD,  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 Acw`ytV  
    xZ {6!=4!  
    VirtualLab Fusion技术 ]!AS%D`  
             <CVX[R]U  
     
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