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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 -pR1xsG  
                                             KdOy3O_5N  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 U vOB`Vj  
     g=:C/>g  
    建模任务 dDy9yw%f?  
    Piz/vH6M}  
    系统构建块-扫描源                                                     d&0^AvM@  
    "sRR:wzQu  
    How to Set Up a Scanning Source )vk$]<$  
                                                                                   (byFr9z  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 I=pT fkTT  
    dYJW`Q;j.|  
    系统构建块-参数耦合 *Ta*0Fr=9|  
       E7axINca  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion gKS0!U  
                                                                                       M(S:&GOU  
    系统构建块-失真分析仪 mi3yiR  
                                                                               D{/GjFO  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 *Oo2rk nQ  
     70m}+R(`  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               l23#"gGb  
    e2%Y8ZJG.  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         NQ%lwE~  
    [3rvRJ.  
    w.Ft-RXA W  
     H5=-b@(  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: <$HP"f+<S5  
    KaHjL&!  
    Universal Detector WrL&$dEJ?M  
                                                                                   m ^Btr  
    总结-组件… 5>JrTO 5  
    O6;7'  
     -mG3#88*  
    系统观感   'zZN]P  
     #tdI;x3  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 Jpws1~  
    2rf-pdOvG  
     <`a!%_LC [  
    性能评估-点位偏差 grnlJ=  
    qv=i eU  
                                       x2[A(O=  
    性能评估-光斑直径测量                                                       a%sr*`  
    PSNrY e  
    S!k cC-7  
    NS;,(v{*N  
    SV}I+O_w  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 sUcx;<|BC  
    uJm9h(xq  
    VirtualLab Fusion技术 >c?Z.of  
             zVYX#- nv  
     
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