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摘要 V>4v6)N
 yx<-M F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 Ih5CtcE1'd ; Yt'$D*CP 建模任务 Pp;OkI``[
 0.~s>xXp
系统构建块-扫描源 i2 )$%M&  - ^>7\]
How to Set Up a Scanning Source ] $F% Xk :_aJ 系统构建块-透镜系统组件 G1SOvdq  5hDm[*83 系统构建块-参数耦合 <Ug1g0.  ^ b{~]I
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion -c[fg+L9
m-9ChF: U 系统构建块-失真分析仪 )|&F Bz;
 Z>.( ' 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 k4J Tc2b
 h\|T(597. 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 7Y
4! ^ aqBL
通用探测器和探测器附加组件 W#L/|K! S -{p~sRc&
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 i@ehD@.dH Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: :>3?|Z"Aj ?V =#x.9 Universal Detector >%c>R'~h lG`%4}1 总结-组件… u y13SkW
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 S0lt _~ 系统观感 WS\Ir-B
I$ ?.9&.& 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 ,a ":/ /[
"BC;zH:
 rotu#?B 性能评估-点位偏差 ]4,eCT
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 }k @S mO8 性能评估-光斑直径测量 Eo0/cln| 4V'HPD>=V  [I (
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 ( J.k\d
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VirtualLab Fusion技术 Oh,]"(+
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