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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 >qA5   
                                             _ED1".&#f  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 z(< E %  
    @ ADY?  
    建模任务 \h^bOxh  
    oWyg/{M  
    系统构建块-扫描源                                                     V>P\yr?  
    tC+9W1o  
    How to Set Up a Scanning Source +N[dYm  
                                                                                   |D^Q}uT  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 xsRMF&8L  
    Pyi PhOJe  
    系统构建块-参数耦合 ZLvw]N&R  
       +ZXGT  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion Rn{q/h  
                                                                                       2W pe( \(  
    系统构建块-失真分析仪 dh/:H/k kR  
                                                                               OxF\Hm)(  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 T GMHo{ ]  
     {CH\TmSz  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               v%3)wD  
    :kZ2N67  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         V`69%35*@  
    1jmhh !,  
    =Ak>2  
     JXj`  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: z!Kadqns  
    62EJ# q[  
    Universal Detector w & RpQcV  
                                                                                   tBBN62^ X  
    总结-组件… {yyg=AMz  
    =mqV&FgRo  
     !xo@i XL  
    系统观感   cb%w,yXw  
     #Mbt%m  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 8zj09T[  
    _;01/V"q6  
     k5-mK{RZ  
    性能评估-点位偏差 8KWT d  
    MPzqw)_-v  
                                       ciC4V^f  
    性能评估-光斑直径测量                                                       4 d]  
    M`?/QU~  
    mA^>Y_:  
    !W$Br\<  
    /HzhgMV3  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 @oRYQ|.R  
    p'w[5'  
    VirtualLab Fusion技术 r~s03g0  
             $E7yJ|p{  
     
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