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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 ~)oWSo5ll  
                                             8=!r nJCav  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 "RR./e)h  
    :~qtvs;{  
    建模任务 k}+MvGq  
    83p$!8]u  
    系统构建块-扫描源                                                     *IjdN,wox  
    ~]m@k'n  
    How to Set Up a Scanning Source z[$9B#P  
                                                                                   ys~p(  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 VLwJ6?.f'  
    *;ZW=%M  
    系统构建块-参数耦合 ||"":K  
       8O;rp(N.n  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion lL(}dbT~N  
                                                                                       *n$m;yI  
    系统构建块-失真分析仪 /(WX!EEsB  
                                                                               `,8R~-GPD  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 Rzn0-cG  
     ;{F;e)${M  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               0YsN82IDD  
    l yLK$B?/  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         eL] w' }\  
    =."WvBKg  
    ^QHMN 7r/  
     [K|>s(Sf*  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: R;Ix<y{U  
    ko7-%+0|]  
    Universal Detector e4NX\tCpw  
                                                                                   &&QDEDszp  
    总结-组件… A)`fD %+  
    m= beB\=  
     :8GxcqvCWq  
    系统观感   OHa{!SaL  
     ;r@R (Squ  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 +Muia5G  
    l.W1$g  
     ^Ihdq89t  
    性能评估-点位偏差 m#}{"d&J  
    /-<m(72wF  
                                       #lVl?F+~  
    性能评估-光斑直径测量                                                       G QB^  
    Tk@g9\6O9  
    BrH`:Dw  
    0o'ML""j  
    <?va) ou  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 bJMcI8`  
    X72X:"  
    VirtualLab Fusion技术 O=?X%m #  
             ?~y(--.t;T  
     
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