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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 |.W;vc<  
                                             J, >PLQAa  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 1D DOUV  
    <Wq{ V;$  
    建模任务 Ka2tr]+s  
    ?MB nnyo6  
    系统构建块-扫描源                                                     mSeN M  
    ay[*b_f  
    How to Set Up a Scanning Source &cE,9o%FZ  
                                                                                   {627*6,  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 iP_Xr~w  
    >ON.ftZ i  
    系统构建块-参数耦合 5aQg^f%\  
       zt}p-U2I  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion (LPD  
                                                                                       oPZ4}>uV  
    系统构建块-失真分析仪 ZM!~M>B9R  
                                                                               IbwRb  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 KK|Jach  
     54%}JA][  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               4tTJE<y  
    essW,2,rjC  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         NWj@iyi<  
    W{aNS@1  
    !%9I%Ak^  
     zf u78  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: Gjr2]t;E  
    9B0"GEwrs  
    Universal Detector lNAHn<ht  
                                                                                   r U5'hK  
    总结-组件… }C}_ I:=C  
    %Ski5q  
     E 3.s8}}  
    系统观感   )FPbE^s(  
     " z{w^k  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 G> >_G<x  
    4y.[tk5  
     (7,Awf5D~  
    性能评估-点位偏差 eRbO Hj1  
    V;(LeuDH|  
                                       BZ9iy~  
    性能评估-光斑直径测量                                                       :B~c>:  
    fO nvC*  
    Xi.?9J`@  
    YvX I  
    |e >-v  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 ak [)+_k_  
    -^DB?j+  
    VirtualLab Fusion技术 Ea?.H Rxl  
             R3A^VE;qP  
     
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