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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 s z/7cLo  
                                             E;~gQ6vAI  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 ,v:m  
    .MuS"R{y  
    建模任务 oK@!yYv  
    C$\|eC j  
    系统构建块-扫描源                                                     m/n_e g  
    bp2l%A;  
    How to Set Up a Scanning Source 9@Yk8  
                                                                                   ?b2  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 7f#[+i  
     L5""  
    系统构建块-参数耦合 STs~GOm-  
       "K`B'/08^  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion H r?G_L  
                                                                                       ]y@8mb&  
    系统构建块-失真分析仪 -,Cx|Nl  
                                                                               K+xiov-r?  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 Ae:(_UJz  
     D61CO-E(D  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               < i*v  
    r#*kx#"  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         *PE 1)bF  
    >|!F.W  
    KgX~PP>  
     0P sp/H%  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: R6] /g  
    `h_,I R<  
    Universal Detector ;oV dkp  
                                                                                   xn1  
    总结-组件… rOw""mE  
    Lv+lLK  
     k_#ra7zP  
    系统观感   ?1i>b->  
     }rsD$  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 5b3Wt7  
    esx<feP)\  
     !p4w 8  
    性能评估-点位偏差 \v{tK;  
    'YQ"Lf  
                                       [jve |-v=  
    性能评估-光斑直径测量                                                       mf6?8!O}>  
    Ra<mdteZT  
    X0J@c "%0  
    Q^/66"Z:Z  
    7g_:Gv~v  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 &Eg>[gAIlp  
    JLm0[1Lzd  
    VirtualLab Fusion技术 H7?C>+ay  
             1HL}tG?+#  
     
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