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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 LiT%d  
                                             pIcg+~  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 OriYt  
    -]zb3P  
    建模任务 S5TVfV5LI  
    ~>=.^  
    系统构建块-扫描源                                                     <.4(#Ebd  
    qD>^aEd@4  
    How to Set Up a Scanning Source ~CnnN[g(_  
                                                                                   PJN9[Y{^3  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 Hm'"I!jyO  
    $]E+E.P  
    系统构建块-参数耦合 o(jLirnk  
       !mUJ["#  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion m- <y|3  
                                                                                       xE?KJ  
    系统构建块-失真分析仪 gU x}vE-  
                                                                               VM\R-[  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 d%'#-w'  
     #4$YQ  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               4joE"H6  
    /&#y-D_  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         diJpbR^JP  
    WC~;t4  
    ) >FAtE   
     S^p b9~  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: mv8H:T  
    C 6 \  
    Universal Detector xc}[q`vK  
                                                                                   N { oVz],  
    总结-组件… $"/l*H\h  
    =figat  
     oa"Bpi9i  
    系统观感   )Ac,F6w  
     iiq `:G  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 :V+rC]0  
    ~3:hed7:  
     6L8nw+mEK  
    性能评估-点位偏差 9S]pC?N]E  
    |cY HH$  
                                       8+oc4~!A@n  
    性能评估-光斑直径测量                                                       # atq7t X  
    cDz@3So.b  
    G^)]FwTs  
    *b) (-#w3  
    4%r?(C0x  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 ,g7O   
    Bn&P@C$7  
    VirtualLab Fusion技术 PM[W7g T  
             s|<n7 =J  
     
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