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摘要 GP^.h kVs
CP0'pL=; F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 _,/~P) 5JHEBw5W% 建模任务 9zY6hh**
Np aS2q-d 系统构建块-扫描源 W/AF *ifz@8C } How to Set Up a Scanning Source Dp!91NgB p >H ?k0M`L 系统构建块-透镜系统组件 %"eR0Lj+zq i1!1'T8 系统构建块-参数耦合 57-Hx; =1@LMIi5x Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion C511hbF 8g
Z)c\ 系统构建块-失真分析仪 -Jw4z#/-
Z&U:KrFH 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 AV7#,+p%G
imeE& 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 !&9(D^ ]!&$&t8. 通用探测器和探测器附加组件 %S'+x[4W I7~) q`
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=*"8N-FU Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 7ej u%d o+7)cI Universal Detector Ikw@B)0} +`_0tM1 总结-组件… O^j*"#f
&N._}ts
D>-r ` 系统观感 N9-7YQ`D oLh ,F"nB 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 28`s+sH YWvD+
v"W*@7<`S 性能评估-点位偏差 f:ObI >36,lNt
6-fv<Pn 性能评估-光斑直径测量 owQ,op# bWAa:
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3PAG
f?51sr 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 L*tfYonq `SsoRPW&$ VirtualLab Fusion技术 }#7rg_O]>
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