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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 GP^.h kVs  
                                             CP0'pL=;  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 _ ,/~P)  
    5JHEBw5W%  
    建模任务 9zY6hh**  
    NpaS2q-d  
    系统构建块-扫描源                                                     W/AF  
    *ifz@8C }  
    How to Set Up a Scanning Source Dp!91NgB p  
                                                                                   >H ?k0M`L  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 %"eR0Lj+zq  
    i1!1'T8  
    系统构建块-参数耦合 5 7-Hx;  
       =1@LMIi5x  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion C511 hbF  
                                                                                       8g Z)c\  
    系统构建块-失真分析仪 -Jw4z# /-  
                                                                               Z&U:KrFH  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 AV7#,+p%G  
     imeE&  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               !&9(D^  
    ]!&$&t8.  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         %S'+x[ 4W  
    I7~) q`  
    b $J S|  
     =*"8N-FU  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 7eju%d  
    o +7)cI  
    Universal Detector Ikw@B)0}  
                                                                                   +`_0tM1  
    总结-组件… O^j*"#f  
    &N._}ts  
     D>-r `  
    系统观感   N9-7YQ`D  
     oLh ,F"nB  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 28`s+sH  
    YWvD+  
     v"W*@7<`S  
    性能评估-点位偏差 f:ObI  
    >36,lNt  
                                       6-fv<Pn  
    性能评估-光斑直径测量                                                       owQ,op #  
    bWAa: r  
    7J!s"|VS  
    5l 3PAG  
    f?51sr  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 L*tfY onq  
    `SsoRPW&$  
    VirtualLab Fusion技术 }#7rg_O]>  
             ; Byt'S  
     
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