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摘要 !FK)iQy$0
 t.!?"kP"c F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 iqF|IVPoi s_Z5M2o 建模任务 W T @XHwt
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系统构建块-扫描源 3? k<e  6R2F,b(_ How to Set Up a Scanning Source >of9m ow+_g R- 系统构建块-透镜系统组件 A'uubFRL2[  _Kli~$c& M 系统构建块-参数耦合 >YdL B@  n-?zH:]GG{
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 5HB*
B_@p@6z 系统构建块-失真分析仪 >kuu\
 DLq'V .M: 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 Nb f >Y
 <\d`}A:& 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 Dz$dJF1
8 sVlQ5M oo(
通用探测器和探测器附加组件 N7q6pBA"E on7? V<
 F)aF.'$-/
 ' v(b^x<ZS Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: aMK\&yZD A0ZU #"'/ Universal Detector %xX b5aY !6 kn>447Y 总结-组件… zq$0 ?vGd
 8NWuhRRrw
 X4k|k> 系统观感 R<r,&X?m
7 $Cv=8 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 DRVvC~M-,
d|sf2
 Nc^:v /(P 性能评估-点位偏差 #A~7rH%hi
Wq25, M'
 e\ZV^h}TQ 性能评估-光斑直径测量 H@|m^1 B;<zA' 1  VTO92E o
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 d(vt 0
'kJyE9*xU.
VirtualLab Fusion技术 ~'Korxa
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