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摘要 C}bPv+t
A1 b6Zt F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 9Mut p4# WT1q15U(= 建模任务 N~0$x,bR
XSls]o
s 系统构建块-扫描源 uRs9}dzv ZS|Z98 How to Set Up a Scanning Source
*X0K2| )/
n29] 系统构建块-透镜系统组件 ^$6bs64FSm vLD:(qTi 系统构建块-参数耦合 <vO8_2,V- e4 ?<GT Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 8L@UB6b\ O]4W|WI3 系统构建块-失真分析仪 fCs\Q
#{?m 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 /XbY<pj
18J.vcP 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 j(UX
6lR M_|M&lR> 通用探测器和探测器附加组件 GF9ZL t>m8iS>
56VE[G
e=YO.HT Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: AW]("pt +D6-m Universal Detector t=A E7 k?z
[hZg0 总结-组件… ]i9H_K
W8\PCXnsfl
mw2rSU I{ 系统观感 *_}IeNc EXv\FUzo 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 2M!+gk=+ 1"*Nb5s
"`y W]v 性能评估-点位偏差 E5v|SFD 5EVB27k
:qt82tbn 性能评估-光斑直径测量 uKaf{=* 1e+h9|hGYw S"I#>^ (UbR%A|v;
'Y,+D`&i) 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 \emT:Frb 9RbGa
Y& VirtualLab Fusion技术 rPrEEWS0)
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