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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 L; <Pod  
                                             WogCt,  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 | 8akp  
    x, 'KI?TyQ  
    建模任务 pc;`Fz/`7  
    U< "k -  
    系统构建块-扫描源                                                     L(HAAqRnJ  
    pwNF\ ={  
    How to Set Up a Scanning Source W'v o?  
                                                                                   F2Mxcs* M  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 =V:Al   
    ",S146Y+  
    系统构建块-参数耦合 kU{a!ca4  
       z#d*Odc  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion $qiM_06  
                                                                                       .F0Q< s9  
    系统构建块-失真分析仪 @ b} -<~  
                                                                               'lOpoWDL  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 OS=~<ba  
     dfXBgsc6i  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               <#)Q.P  
    s =<65  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         ziv*4  
     bDq<]h_7  
    Yd<9Y\W%?  
     3E!3kSh|  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: WA#y&  
    w$jSlgUHy)  
    Universal Detector q( %)^C  
                                                                                   4UMOC_  
    总结-组件… ?',GRaD  
    Y,-! QFS#  
     #d$lN}8  
    系统观感   $ou/ Fn  
     ./CD W  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 :,.HJ[Vg&  
    FMT_X  
     Mwa Rwk;  
    性能评估-点位偏差 Ys<z%  
    1 ;Uc -<  
                                       12l1u[TlS  
    性能评估-光斑直径测量                                                       UXOf  
    MSe >1L2=  
    r<DPh5ReY  
    6h1pPx7zU  
    VwT&A9&{8  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 Wp^ A.  
    _:KeSskuO  
    VirtualLab Fusion技术 96%N  
             VL$?vI'  
     
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