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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 # U`&jBU  
                                             eCL?mhK  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 Qa?Q bHc  
    y''V"Be  
    建模任务 Kq6qXc\x  
    @7|)RSBQz  
    系统构建块-扫描源                                                     g =\13# F  
    X,53c$  
    How to Set Up a Scanning Source s}!"a8hU`  
                                                                                   s=jO; K$  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 m?vAyi  
    4H9xO[iM  
    系统构建块-参数耦合 &|] Fg5  
       }q x(z^  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion HjPH  
                                                                                       <w11nB)  
    系统构建块-失真分析仪 7eH@n <]Y2  
                                                                               tQnJS2V"{u  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 V9]uFL  
     5oa]dco  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               cFxSDTR  
    m[#%/  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         / GZV_H%v  
    c$.T<r)Z  
    Nuo<` 6mV@  
     C9+Dw#-f V  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ~l4Q~'  
    <v-92?  
    Universal Detector A'(k Yc  
                                                                                   CCwK8`%   
    总结-组件… "p2u+ 8?  
    7dx4~dF  
     Jz2 q\42q  
    系统观感   C890+(D~  
     IT7:QEfKU  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 ~M(pCSJ[  
    0MhxFoFO  
     q .)^B@}_  
    性能评估-点位偏差 &A#90xzF  
    l9,w>]s  
                                       uof0Oc.  
    性能评估-光斑直径测量                                                       -kt1t@O  
    $M%}Oz3*  
    Z'Zd[."s  
    HJ(=?TU  
    Zj5NWzj X  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 >EyvdX#v  
    ]lC4+{V  
    VirtualLab Fusion技术 Oym]&SrbS  
             ~c'\IM  
     
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