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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 B1N)9%  
                                             s(ROgCO  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 b|^I<7  
    ~7quTp)  
    建模任务 9T2xU3UyY  
    ~Y5l+EF#  
    系统构建块-扫描源                                                     x:K?\<  
    BpAB5=M0  
    How to Set Up a Scanning Source S_J :&9L  
                                                                                   z?8~[h{i%  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 uMXc0fs!$  
    3bC yTZk  
    系统构建块-参数耦合 eN0P9.eqM  
       bv?0.{Z  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion OKuD"   
                                                                                       U` R;P-  
    系统构建块-失真分析仪 ~M ?|Vn  
                                                                               g=]&A  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 4h 5_M8I  
     M\/XP| 7  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               x49!{}  
    o|S)C<w  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         q/@dR{-  
    mAqD jRV1  
    NlR"$  
     lhn8^hOJ/  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: )jW(6  
    +Al>2~  
    Universal Detector ayp b  
                                                                                   O?K./So&  
    总结-组件… eVy2|n9rH  
    Yt1mB[&f^  
     #JNy  
    系统观感   "mj^+u-  
     G^h_ YjR`*  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 \4~AI=aw,T  
    * UcjQ  
     ^^Lj I  
    性能评估-点位偏差 &a~=b,  
    UKB_Yy^Y  
                                       c;!g  
    性能评估-光斑直径测量                                                       P@ypk^v  
    ;"7/@&M\m  
    4_Rdp`x#J  
    ~@c-*  
    mVf.sA8  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 XSD%t8<LO  
    9 pKm*n&  
    VirtualLab Fusion技术 #a}N"*P  
             2ChWe}f  
     
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