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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 Vf(n  
                                             "9H#pj -  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 3\P/4GK)  
    f%STkL)  
    建模任务 QVR-`d/  
    O<0-`=W,a  
    系统构建块-扫描源                                                     %vrUk;<35  
    16N`xw+{  
    How to Set Up a Scanning Source 79M` ?xm  
                                                                                   o6:p2W  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ~eGtoEY  
    VDv>I 2%  
    系统构建块-参数耦合 !=+hU/e  
       {Hxziyv~Y(  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 5kj=Y]9\I  
                                                                                       lN::veD  
    系统构建块-失真分析仪 SjU0X b)[  
                                                                               rAQ3x0  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 D)JI11a<  
     Z9PG7h  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               mz .uK2l{  
    n11eJEtm  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         uacVF[9|W  
    x$V[xX  
    " 1$hfs  
     ?u M2|Nk  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: cz*Z/5XH  
    =)XC"kU p  
    Universal Detector #c2JWDH1F  
                                                                                   0-A@X>6bs  
    总结-组件… &#[6a&9#[A  
    ? $X1X`@  
     3sBu`R*hk  
    系统观感   ob>2SU[Y  
     ,7|2K&C5  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 c5tCw3$t  
    H9T'{R*FC  
     (K->5rSU  
    性能评估-点位偏差 yi3Cd@t({{  
    '${xZrzmt  
                                       ^Zw1X6C5~  
    性能评估-光斑直径测量                                                       FDO$(&  
    {3=]cLtt  
    _n_|skG  
    ukRbSJ5a5  
    #a"gW,/K  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 *H%Jgz,  
    th(<S  
    VirtualLab Fusion技术 *b]$lj  
             veh?oJi@  
     
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