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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 >DzW  OB  
                                             {;JFoe+  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 %]F{aR  
    '0qKb*  
    建模任务 YB]^Y^"e  
    f~p[izt  
    系统构建块-扫描源                                                     ET6}V"UD  
    o1 &Oug  
    How to Set Up a Scanning Source OF! n}.O(  
                                                                                   Et)j6xz/F  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 #'y^@90R  
    q\fai^_  
    系统构建块-参数耦合 UX ?S#:h  
       *  }ZKQ  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion TP=#U^g*  
                                                                                       8&#)}A}x  
    系统构建块-失真分析仪 r"KW\HN8  
                                                                               jrYA5>=>#  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 %w/:mH3FA  
     {=y~O  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               [;7$ 'lr%D  
    r$!  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         XO/JnJ^B  
    {w9GMqq  
    \!r,>P   
     _w9 :([_  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 0VI[6t@  
    a  ,<u  
    Universal Detector r5!Sps3B  
                                                                                   hOcVxSc.  
    总结-组件… 0"c(n0L  
    mH4Jl1S&  
     t hQ)J|1  
    系统观感   j"P}Wn  
     2&:w_KJ  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 {F*81q\  
    m<:g\_<  
     ~5_>$7L>  
    性能评估-点位偏差 :k oXS  
    SBG.t:  
                                       R94 ID@LF  
    性能评估-光斑直径测量                                                       6vZ.CUK9  
    4jz2x #T  
    Y:K1v:Knw  
    inv 5>OeG  
    xz vbjS W  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 tc)4$"9)  
    0tah$;c e  
    VirtualLab Fusion技术 7?~*F7F  
             gn4 Sz")  
     
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