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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 Y-{spTI  
                                        
    x4( fW\  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 r=[}7N  
    Fh/C{cX9g  
    建模任务 B+B v(p  
    /nmfp&@  
    系统构建块-扫描源                                                
    ,pG63&?j  
    PQ(%5c1e  
    How to Set Up a Scanning Source plIx""a^h  
                                                                                   AdYQhF##  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 }N|/b"j9  
     nm~  
    系统构建块-参数耦合 UD(#u3z  
       c]&VUWQ  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion _k@l-Bj  
                                                                                  
    h/VYH(Tj  
    系统构建块-失真分析仪 ^R$dG[Qf  
                                                                          
    bbM !<&F  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 A3$b_i@P  
    1e+?O7/  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               :)yM9^<D  
    lyeoSd1AN  
    通用探测器和探测器附加组件                                                    
    K;ML'  
    lpM{@JC  
    u'b_zlW@  
    ;(,Fe/wvC  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: )gLasR.1  
    v%- V|L  
    Universal Detector LYF vzw>M  
                                                                                   y$"L`*W  
    总结-组件 Ol@ZH_  
    ?!66yn  
    |Wgab5D>V  
    系统观感   ,'6GG+  
    ?n+\T'f!  
    通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 6;*(6$;  
    c2f$:XiM  
    ~e8n yB  
    性能评估-点位偏差 jdp:G  
    Jp#cFUa t  
                                  
    A%O#S<sa  
    性能评估-光斑直径测量                                                       qQ'@yTVN  
    <i6MbCB  
    mTgn}rXk  
    B=r/(e  
    f+Go8Lg=M  
    此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 4#9-Z6kOk  
    J_@4J7  
    VirtualLab Fusion技术 8IH gsW";  
        
    PsnU5f)`  
     
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