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摘要
Y-{spTI
x4( fW\ F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 r=[}7N Fh/C{cX9g 建模任务 B+Bv(p
/nmfp&@ 系统构建块-扫描源 ,pG63&?j PQ(%5c1e How to Set Up a Scanning Source plIx""a^h AdYQhF## 系统构建块-透镜系统组件 }N|/b"j9
nm~ 系统构建块-参数耦合 U D(#u3z c]&VUWQ Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion _k@l-Bj h/VYH(Tj 系统构建块-失真分析仪 ^R$dG[Qf
bbM
!<&F 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 A3$b_i @P
1e+?O7/ 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 :)yM9^<D lyeoSd1AN 通用探测器和探测器附加组件 K;ML' lpM{@JC
u'b_zlW@
;(,Fe/wvC Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: )gLasR.1 v%- V|L Universal Detector LYFvzw>M y$"L`*W 总结-组件… Ol@ZH_
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|Wgab5D>V 系统观感 ,'6GG+ ?n+\T'f! 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 6;*(6$; c2f$:XiM
~e8n yB 性能评估-点位偏差 jdp:G Jp#cFUa t
A%O#S<sa 性能评估-光斑直径测量 q Q'@yTVN <i6M bCB mTgn}rXk B=r/(e
f+Go 8Lg=M 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 4#9-Z6kOk J_@4J7 VirtualLab Fusion技术 8IH gsW";
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