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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 5**5b9bj-9  
                                             U.Chf9a -  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 1mn$Rh&dO  
    V\K m% vP  
    建模任务 /P!X4~sTM  
    '%-xe3  
    系统构建块-扫描源                                                     8U2 wH  
    B:- KZuO  
    How to Set Up a Scanning Source _RaVnMJKX4  
                                                                                   EB2^]?  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 _`@Xy!Ye  
    #~URLN  
    系统构建块-参数耦合 rfXF 01I  
       YY:iPaGO  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion y:|.m@ j1  
                                                                                       0Dm`Ek3A7x  
    系统构建块-失真分析仪 QE#-A@c  
                                                                               )/WA)fWkT  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 ;/";d]j  
     =!S@tuY  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               oa&US_  
    TtwJ,&b  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         0J:U\S  
    <S8I"8{Mb  
    e(n2+S#N  
     oX 2DFgz  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: Z;Ir>^<  
    >OKS/(I0  
    Universal Detector *]:G7SW{  
                                                                                   s;_#7x#  
    总结-组件… 7<R6T9g  
    y13CR2t6  
     t)oES>W1  
    系统观感   a(x.{}uG,  
     1FD7~S|  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 n^JUZ8  
    0l(E!d8&'  
     ]*g ss'N  
    性能评估-点位偏差 ^i`3cCFB<  
    OP|.I._I  
                                       [I++>4  
    性能评估-光斑直径测量                                                       "]SJbuzh  
    !X\sQNp  
    SrQ4y`?  
    6"7:44O;G  
    f0cYvL ]  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 ]s*[Lib  
    n~"g'Y  
    VirtualLab Fusion技术 Sr ztTfY  
             :\1rQT  
     
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