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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 )__sw  
                                             PKrG6% W+  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 *pa hZiO  
    BN CM{}e  
    建模任务 -(:T&rfTp  
    B]G2P`sN  
    系统构建块-扫描源                                                     )2?]c  
    scH61Y8`  
    How to Set Up a Scanning Source v9:J 55x  
                                                                                   =f!A o:Uc  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 'sUOi7U  
    #C&';HB;y  
    系统构建块-参数耦合 ,5;M(ft#  
       h@$SJe(hl  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion n~ad#iN  
                                                                                       -^m?%_<50l  
    系统构建块-失真分析仪 |w|c!;,  
                                                                               qr%N /7  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 |JIlp"[  
     m_/U  t  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               3Jizv,?  
    &@oI/i&0B  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         ~ O\A 0e  
    q=88*Y  
    6I"KomJ9  
     p]RQ-0  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: FJtmRPP[r  
    Ip{R'HG/  
    Universal Detector VU,G.eLW  
                                                                                   kiM:(=5  
    总结-组件… -z`FKej   
    \[3~*eX6  
     D}y W:Pi'  
    系统观感   gxVr1DIkN  
     <jV,VKL#  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 (2H GV+Dg  
    lg-_[!4Z  
     Nq`;\E.M  
    性能评估-点位偏差 HC$%"peN1b  
    aJ(/r.1G  
                                       C;m"W5+  
    性能评估-光斑直径测量                                                       ; oa+Z:;f  
    0o>C, `  
    ux TgK'3  
    pmB {b  
    HfSx*@\s  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 Li5&^RAo|J  
    YgcW1}  
    VirtualLab Fusion技术 ~ q-Z-MA  
             x>EL|Q=?  
     
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