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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 cQd?,B3#F  
                                             l+y;>21sTu  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 7p!f+\kM  
    $E;Tj|W  
    建模任务 j$6Q]5KdoS  
    [h B$%i]\<  
    系统构建块-扫描源                                                     pd,d"+  
    K9}Brhe  
    How to Set Up a Scanning Source c]U+6JH  
                                                                                   |XQ_4{  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 7J6Z?  
     6; )5v  
    系统构建块-参数耦合 gWjr|m<  
       ;C1#[U1Uy  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion zHNBX Rx  
                                                                                       a0A=R5_  
    系统构建块-失真分析仪 tG9C(D`G  
                                                                               hCgk78O?  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 t(6i4c>  
     ^  ~1QA  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               hD?6RVfG  
    UYy #DA  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         T]/>c  
    q6sb;?I  
    G9j f]Ye;  
     6pC1C.  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ()t~X Q  
    !L9]nO 'BL  
    Universal Detector c,)]!{c  
                                                                                   ]^wr+9zd  
    总结-组件… @\oZ2sB  
    |Go$z3bx  
     T <k;^iqR  
    系统观感   >fT%CGLC0  
     y#`;[!  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 b-<@3N.9]  
    bJ6C7-w:wa  
     Rq?t=7fX)  
    性能评估-点位偏差 <RC%<  
    b-@9Xjv  
                                       1.8"N&s  
    性能评估-光斑直径测量                                                       ]b1>bv%  
    ~@@$-,}X   
    ~g#/q~UE  
    DYIp2-K  
    : #n>Q1}x  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 `0_ Y| 4KB  
    t"J{qfNs  
    VirtualLab Fusion技术 x\:KfYr4Y;  
             &dni6E4  
     
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