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摘要 NF1e>O:a<
 s-eC' )w~E F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 TB] %?L: Xj^6ZJc 建模任务 L<> ;E
 #&.& Uu$
系统构建块-扫描源 M}4%LjD  j380=? 7 How to Set Up a Scanning Source >n@?F[ Y ~UjFL~K} 系统构建块-透镜系统组件 % t0Fx  d"+zDc; 系统构建块-参数耦合 ^*C+^l&J!  DCb\ =E
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion %}cGAHV
@v9 PI /c 系统构建块-失真分析仪 L0SeG:
 ]RmQ*F- 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 ^ RG6h
 sk!v!^\_r 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 [~ bfM6Jw @ .fuR#
通用探测器和探测器附加组件 BVxg=7%St lIO.LF3
 $}<+~JpGfP
 N<+
><>9 Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: w[z ^B& bD<[OerG Universal Detector 2%N$Y] q{ov62t` 总结-组件… < vU<:S
 ^~0Mw;n&
 4EzmH)4G 系统观感 D;)Tm|XizW
zF%CFqQ 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 goi.'8M|/b
,#&lNQ'I
 ,v:m 性能评估-点位偏差 AwB ]0H
} ab@Nd$
 $78fR8|r- 性能评估-光斑直径测量 o:_}=1nh `pzp(\lc  pt;E ~_
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 |c ,":R
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VirtualLab Fusion技术 J&S$ F:HM
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