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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 u/L\e.4  
                                             '>r"+X^W  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 I`EgR?5 `  
    %R1$M318  
    建模任务 R8R,!3 N  
    kM/;R)3t4/  
    系统构建块-扫描源                                                     x)o`w"]al  
    /<oBgFMoJ  
    How to Set Up a Scanning Source F#Xzh Ds  
                                                                                   d<4q%y'X{  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 z c, Q  
    OAtn.LU  
    系统构建块-参数耦合 X7& ^"|:  
       qluaop  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion q3R?8Mb  
                                                                                       .=4k'99,  
    系统构建块-失真分析仪 k/V:QdD Sb  
                                                                               J2~oIe2!+  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 p=8?hI/bim  
     C8.MoFfhe  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               j#E&u*IR  
    `=cOTn52  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         ;]Bkw6 o  
    4PAuEM/z  
    En/EQ\T@F  
     Og~3eL[1%C  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: Q@/358.LA  
    DnW*q/=w  
    Universal Detector :0RfA%  
                                                                                   Acib<Mi2!-  
    总结-组件… )s4a<S c]  
    I<ta2<h  
     \4|o5,+(@  
    系统观感   j -j,0!T~b  
     eC41PQ3=1'  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 > H(o=39s  
    rfS kQT  
     x>=8~wIK  
    性能评估-点位偏差 OAXF=V F#  
    E<XrXxS1O  
                                       <rpXhcR  
    性能评估-光斑直径测量                                                       r*t\\2  
    !q_fcd^c  
    1#<KZN =$  
    COf>H0^%Q  
    c/G]r|k  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 +Qe&#"O0  
    6:vdo~  
    VirtualLab Fusion技术 D27MT/=7  
             5?n@.hcL  
     
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