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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 !B#Lea  
                                             U~)i&":sN  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 ktu{I  
    @2>j4Sc  
    建模任务 qyx  '  
    (i"@{[IP  
    系统构建块-扫描源                                                     !4blX'<w  
    E<|p9,M  
    How to Set Up a Scanning Source '0juZ~>}  
                                                                                   NdlJdq  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 mg)ZoC  
    n.a55uy  
    系统构建块-参数耦合 JQp::,g  
       ju AUeGT  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion <A_LZi  
                                                                                       x<S?"  
    系统构建块-失真分析仪 ?<l,a!V'6  
                                                                               %e71BZo~^s  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 \U0p?wdr:  
     a IA9rn  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               %nmD>QCe  
    Y@+e)p{  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         ,hV}wK!  
    J=*X%^jX9Z  
    S\F;b{S1  
     n'&Cr0{  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ')8c  
    SG)hrd  
    Universal Detector ^F*G  
                                                                                   6^Q Bol  
    总结-组件… x P3v65Q1  
    O=9mLI6  
     9qHbV 9,M  
    系统观感   W 6d[v/+K+  
     |BO!q9633V  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 .sO.Y<- fl  
    \R6D'Yt  
     cr&sI=i  
    性能评估-点位偏差 ["N)=d|LS  
    #K5)Rb-H  
                                       >sUavvJ~x  
    性能评估-光斑直径测量                                                       # -0}r  
    <Ag`pZ<s  
    tY1M7B^~  
    k4:e0Wd  
    rhLm2q  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 @-7h}2P Q  
    &at^~ o  
    VirtualLab Fusion技术 %LH~Im=  
             c%5G3j  
     
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