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摘要 "~_$T@^k>
'!AT F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 WejyYqr34- 4`$5
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j! 建模任务 `t%|.=R
[;*\P\Xih 系统构建块-扫描源 ftxTX3X y2GQN:X How to Set Up a Scanning Source ~m!#FTc* ' 4,y 系统构建块-透镜系统组件 z1kBNOr )y(oHRCp-> 系统构建块-参数耦合 -Sx0qi'% l},dQ4R Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion hH#lTye eU`;L[ 系统构建块-失真分析仪 gAj0ukX5
&ycjSBK 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 Kq$:\B)<c
*3!(*F@M, 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 vf6`s\6 KuIkul9^% 通用探测器和探测器附加组件 E=}6X9X
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EK^JLvyT
aXQ&@BZ{j Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ?Y%}(3y %B[YtWqm`/ Universal Detector 3(MoXA* 6euR'd^Qi 总结-组件… j[_t6Z
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[|y`y% 系统观感 o1
jk= b*cW<vX}~ 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 )gr}<}X)B km9Gwg/zT
|Uc<;> l 性能评估-点位偏差 \)FeuLGL9 t-'I`I
]^Sd9ba 性能评估-光斑直径测量 , - QR u9esdOv 65'`uuPx Lc58lV=
lt }r}HM+ 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 <9=zP/Q SL6mNn9c VirtualLab Fusion技术 k}- "0>
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