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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 @d)a~[pm  
                                             <o@)SD~K  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 yX9B97XyC  
    &%e"9v2`  
    建模任务 [X|OrRA  
    )73DT3-0$  
    系统构建块-扫描源                                                     ay[+2"  
    (3fPt;U  
    How to Set Up a Scanning Source oQvFrSz  
                                                                                   4A~)b"j5  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 \Da~p9 T&  
    Y'_ D<Mp  
    系统构建块-参数耦合 `@$YlFOW  
       #NF+UJYJ&'  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion Oxn'bh6R0  
                                                                                       7.|S>+Q  
    系统构建块-失真分析仪 \UQ],+H  
                                                                               1UyH0`&  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 y''V"Be  
     jr1Se9u D  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               @7|)RSBQz  
    ^'Zh;WjI7  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         ro]L}oE+  
    m/N(%oMWB=  
    ~%GSsm\J  
     `w=!o.1  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ~y%7w5%Un  
    JWSq"N  
    Universal Detector K!b>TICa:  
                                                                                   -9Xw]I#QR  
    总结-组件… Bcm=G""  
    hGKdGu`0  
     | VRq$^g  
    系统观感   ;S =e%:zb  
     Y;PDZb K3  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 "j;!_v>=f`  
    ZArf;&8  
     % NwoU%q  
    性能评估-点位偏差 sp,(&Y]US  
    P#9-bYNU  
                                       WFks|D:sB  
    性能评估-光斑直径测量                                                       rN'k4V"K  
    gU*I;s>  
    zN/Gy}  
    &:,fb]p  
    ,XP@ pi  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 W.sD2f  
    kjfxjAS=m  
    VirtualLab Fusion技术 @@xF#3   
             $q=hcu  
     
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