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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 US5 ]@!  
                                             GM_~2Er]  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 ~s3X&!#   
    t6/w({}j  
    建模任务 ~ _ ogeD  
    PIk2mX/D_6  
    系统构建块-扫描源                                                     BK$cN>J  
    \wMqVRPoQ  
    How to Set Up a Scanning Source ~e|RVY,  
                                                                                    |2<y  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 O52B  
    `_YXU  
    系统构建块-参数耦合 F ru&-T[  
       V{jQ=<)@e  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion Dj?84y  
                                                                                       >:o$h2  
    系统构建块-失真分析仪 |7Dc7p"D  
                                                                               ZhqGUb  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 `O+}$wP  
     _3Kow{y\  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               o >wty3l:  
    VQ}N& H)`  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         8dPDs#Zl  
    ]|m?pt  
    +56N}MAs  
     91f{qq=#J{  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: t=l@(%O 0_  
    .(J~:U  
    Universal Detector 0r_3:#Nn  
                                                                                   ! 3 ;;6  
    总结-组件… #%9t-  
    aB_~V h  
     u0Q 6 +U  
    系统观感   Ez1-Nx  
     wI5(`_l{G  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 %LM2CgH V  
    FhP$R}F  
     $.Ia;YBf  
    性能评估-点位偏差 C.|.0^5  
    } yb"/jp  
                                       FOyANN'  
    性能评估-光斑直径测量                                                       m~I@ q [  
    O#_\@f#[  
    ~|Nj+A  
    *w#^`yeo  
    Lo<WK  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 w,T-vf  
    c)j60y   
    VirtualLab Fusion技术 9^?2{aP%  
             >rhqhmh;W"  
     
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