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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 @<TC+M5!  
                                             .),Fdrg  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 APJVD-  
    (y^svXU}a  
    建模任务 On~w`  
    F(; =^w  
    系统构建块-扫描源                                                     (ri eg F  
    RM3"8J  
    How to Set Up a Scanning Source r`\6+Ntb.  
                                                                                   3/{,}F$  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                  &*Z"r*  
    H3xMoSs  
    系统构建块-参数耦合 s~NJy'Y  
       "$I8EW/1  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 9dO. ,U*`  
                                                                                       oWLv-{08  
    系统构建块-失真分析仪 o)L)|  
                                                                               ,$+ P  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 uj~(r=%  
     K^Ho%_)  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               8b[<:{[YB  
    adn2&7H  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         X|'[\v2ld  
    ="('  #o  
    @@z5v bs'{  
     ~f6 Q  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: vn x+1T  
    WB.w3w [f  
    Universal Detector ._[uSBR'  
                                                                                   c$8M}q:X  
    总结-组件… W_L;^5Y;m  
    7o7*g 7  
     cz41<SFL  
    系统观感   E#~J"9k98  
     Ez+8B|0P  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 #G]g  
    Y#zHw< <E  
     f;%=S:3  
    性能评估-点位偏差 \'6%Ld5km  
    pG^>y0  
                                       +F92_a4  
    性能评估-光斑直径测量                                                       Xd@ d$  
    f~?kx41dq  
    qK)T#sh  
    *o=[p2d"X  
    P>hR${KE  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 N (0%C?  
    W.c>("gC  
    VirtualLab Fusion技术 !}hG|Y6s  
             avY<~-44B  
     
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