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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 8.g (&F  
                                             !6d6b@Mv  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 3hPj;-u  
    AzfYw'^&9  
    建模任务 jgkJF[t`  
    P XH"%vVF  
    系统构建块-扫描源                                                     A18&9gY  
    HZG<aY="  
    How to Set Up a Scanning Source I1TzPe  
                                                                                   |.qK69  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 :kaHvf  
    <f')]  
    系统构建块-参数耦合 y{`aM(&  
       + pq/:h  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion _ i-(` 5  
                                                                                       E>|xv#:~DV  
    系统构建块-失真分析仪 UP*\p79oO  
                                                                               .QaHE`e{  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 CQ(;L{}  
     ckZZ)lW`*  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               9AbSt&#  
    3XOf-v:~  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         )(Z)yz  
    Z Rjqjx  
    B!#F!Wk"  
     5GwXZ;(G  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 8:iu 8c$  
    !aVwmd'9  
    Universal Detector Qxvj`Ge  
                                                                                   IO(Y_7  
    总结-组件… E@f2hW2  
    _;M46o%h  
     H/eyc`  
    系统观感   5T,In+~Kd  
     HifU65"8  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 EK-Qa<[|  
    &)8-iO  
     Q]?Lg  
    性能评估-点位偏差 $c WO`\XM  
    #kuk3}&  
                                       uMB|x,X I  
    性能评估-光斑直径测量                                                       c04"d"$ x  
    jMT];%$[  
    l9 K 3E<g  
    0Q]p#;  
    K]b_JDEk  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 VHyP@JB  
    Rilr)$  
    VirtualLab Fusion技术 ]/_GHG9  
             ^aW?0qsH  
     
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