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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 WDi2m"  
                                             aD+4uGN  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 i IM\_<?  
    {e5DQ21.  
    建模任务 4a=QTq0p  
    bXi!_'z$  
    系统构建块-扫描源                                                     yv|`A2@9  
    #U(kK(uO  
    How to Set Up a Scanning Source 1\a.o[g3e  
                                                                                   Ew JNpecX  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 <L+1 &H  
    y_' 6bpb  
    系统构建块-参数耦合 2){O&8A  
       .JOZ2QWm<  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 7`f%?xVn0  
                                                                                       ^I KT!"J&?  
    系统构建块-失真分析仪 UqD ]@s`  
                                                                               Z (t7QFd  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 Z2t\4|wr:  
     Ci4; e  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               )$h!lAo  
    JOz4O  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         =I aWf  
    la}cGZ; p.  
    +n<W#O %  
     2qot(Zs1i  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: /J(vqYK"  
    @qpj0i+>*  
    Universal Detector d N$,AOT  
                                                                                   ve+bR   
    总结-组件… %fnG v\uI  
    _, E/HAX  
     ,5x#o  
    系统观感   B 6z 'Q  
     >C19Kie72  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 U.5R3z  
    %E5b }E#  
     I(Z\$  
    性能评估-点位偏差 ):_@i  
    RRXp9{x`  
                                       14"+ctq  
    性能评估-光斑直径测量                                                       $}Ab R:z  
    1BEs> Sm  
    J?dLI_{ <  
    e=l:!E10  
    l2kGFgc  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 ~8yh,U  
    sQJGwZ 7  
    VirtualLab Fusion技术 |j-ng;  
             M\/hK2J# #  
     
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