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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 u}Ei_ O<z  
                                             FNz84qVIx'  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 ATMc`z:5T  
    >"cr-LB  
    建模任务 A$7Eo`Of  
    ElQJ\%  
    系统构建块-扫描源                                                     OM20-KDc5  
    ,^.S0;D,Z  
    How to Set Up a Scanning Source _&W0e}4  
                                                                                   EvwbhvA(  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 GhqgRzX  
    `GvA241  
    系统构建块-参数耦合 [urH a  
       3AvVU]@&Z@  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 4-y6MH  
                                                                                       QjQ4Z'.r>  
    系统构建块-失真分析仪 +jp|Y?6Z  
                                                                               g9DG=\*A  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 3hc#FmLr2b  
     }US7 N w  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               GS}0;x  
    }l.KpdRT2  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         OYBotk]{1  
    {V[Ha~b%*  
     Nm jzDN  
     jZrY=f  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: z8b _ _%Br  
    q^u1z|'Z  
    Universal Detector ER{yuw  
                                                                                   ZR1+ O 8  
    总结-组件… HKpD 2M  
    Qqp)@uM^  
     ?Rlgv5P!  
    系统观感   ;)gLjF/F7  
      q4_**  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 mDZ=Due1  
    lNHNL a>W  
     {b(rm,%  
    性能评估-点位偏差 9^oo-,Su_  
    ,SAbC*nq  
                                       fb /qoZ  
    性能评估-光斑直径测量                                                       l#Yx TY  
    #De(*&y2  
    3KtAK9PT  
    CP +4k.)*O  
    Hr8\QgD<4  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 YQ52~M0L  
    R3$@N  
    VirtualLab Fusion技术 _~PO  
             B jYOfu'~z  
     
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