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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 h^*4}GU  
                                             (&P9+Tl  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 n f.wCtf].  
     (:";i&  
    建模任务 s-RQMK}H  
    #."Hh<C  
    系统构建块-扫描源                                                     (C\hVy2X?N  
    ,i0b)=!o  
    How to Set Up a Scanning Source A^RR@D  
                                                                                   p<&Xd}]"^W  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 \/SQ,*O  
    }?@rO`:EF+  
    系统构建块-参数耦合 K3' niGT  
       tBm_YP[  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion ]/!<PF  
                                                                                       Z{ u a=0  
    系统构建块-失真分析仪 tU^kQR!  
                                                                               <97d[/7i  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 JGFt0He]  
     ) gzR=9l  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               c(/VYMJZ&  
    < n:}kQTT  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         -PnyZ2'Z  
    7-~Q5Kr.  
    +dP L>R  
     /%I7Vc  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: +*n-<x5"  
    Qf| U0  
    Universal Detector =L5GhA~  
                                                                                   i z~ pGkt  
    总结-组件… #k$)i[aI-  
    4:sjH.u<  
     oM)h#8bq  
    系统观感   * FeQ*`r  
     cNKUu~C+  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 3-%Cw2ds  
    jV/CQM5a+  
     t9_E$w^U  
    性能评估-点位偏差 4#(ZNP  
    8$c bVMjh  
                                        /q@ s  
    性能评估-光斑直径测量                                                       {i*2R^5  
    #-Z8Z i"44  
    ycJg%]F*5  
    9ktEm|F3  
    {u\%hpD_  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 {3Y )rY!z  
    m))<!3  
    VirtualLab Fusion技术 vNW jH!'  
             Dw2Q 'E  
     
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