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摘要 RV>n Op}R
 !N74 y %=M F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 =l4F/?u]f@ 4bq+(CI6 建模任务 tpQ 8
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系统构建块-扫描源 i;<K)5Z  7e:7RAX How to Set Up a Scanning Source us )NgG Mi<}q@]e 系统构建块-透镜系统组件 S #C;"s e  +a|u,'u 系统构建块-参数耦合 )VeeAu)p  0Ci :w|J
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion *fp4u_:`
GiKmB-HO 系统构建块-失真分析仪 ]htx9ds=
 ge[&og/$ 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 B&sa|'0U
 fO}Y$y\q 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 fl71{jJ_ IF kU8EK&B
通用探测器和探测器附加组件 F>ps& h [(iJj3s!
 U?8X]
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`[y Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: GC)xQZU)s zJTSg Universal Detector tRXR/;3O gx=2]~O1( 总结-组件… kjRL|qx`a;
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 @\Yu?_a 系统观感 [p96H)8YU
/ S`d? AV 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 .] BJM?9
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 o%l|16D R 性能评估-点位偏差 '+iqbcUd,
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 YvPs 性能评估-光斑直径测量 R |K#nh FQ w@ @  F}4j m,w
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 ek]CTUl*
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VirtualLab Fusion技术 BZRC0^-C@
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