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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 &E {/s  
                                              9<[RXY  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 wc~a}0uz  
    u33+ikYv  
    建模任务 jc Ie<i;  
    wzo-V^+q  
    系统构建块-扫描源                                                     4(u+YW GX  
    ?@_3B]Fs  
    How to Set Up a Scanning Source 6=A ++H @  
                                                                                   ~O@V;y  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 Ha)w*1&w"  
    @U5 +1Hjc  
    系统构建块-参数耦合 7i 334iQZ  
       !p&M,6  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion L\y,7@1%AT  
                                                                                       8EbYk2j  
    系统构建块-失真分析仪 ,D ;`t  
                                                                               2lAuO!%  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 YaSwn3i/@S  
      A3'i -  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               lP9a*>=a  
    mtmBL 2?  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         $vGl Z<3g  
    _k5KJKvr  
    qYsu3y)*N  
     (X>r_4W$  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: JO+ hD4L  
    -BQM i0  
    Universal Detector 0Lc X7gU>  
                                                                                   #ye++.7WK  
    总结-组件… T`a [~:  
    Y&'2/zI6~  
     A "_;.e`  
    系统观感   CmJ*oXyi  
     <0R?#^XBZB  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 x0Tb7y`  
    /Pg66H#RUf  
     `jP\*k`~]  
    性能评估-点位偏差 ]0m4esK`  
    ,"j |0Q  
                                       &~$^a1D6  
    性能评估-光斑直径测量                                                       apGf@b  
    [R A=M  
    Qo;$iLt  
    rf)\:75  
    Z"e|DP`  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 qr<5z. %  
    'ky'GzX,  
    VirtualLab Fusion技术 V-7!)&q  
             (O&ooM* o  
     
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