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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 w% Ug9  
                                             ;'\{T#5)  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 -&#H@Gyw  
    QU&b5!;&  
    建模任务 Jy,Dcl  
    zH0{S.3 k  
    系统构建块-扫描源                                                     ]"Do%<  
    x?ajTzMv  
    How to Set Up a Scanning Source ]FJpe^ ua  
                                                                                   zUw9  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 SI:+I4i  
    =Vgj=19X(  
    系统构建块-参数耦合 0FDfB;  
       #+1*g4m~B  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion `_IgH  
                                                                                       k5>K/;*9  
    系统构建块-失真分析仪 ]}g;q*!J  
                                                                               &ZjQa.-U>  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 DqLZc01>  
     Y)x(+#  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               =h~\nTN  
    1 :xN)M,s  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         );LkEXC_'  
    w$JG:y#  
    Pkr0| bs*  
     xh7#\m_U8  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: =6mnXpM.  
    >*TFM[((Y)  
    Universal Detector T)IH4UO  
                                                                                   7Y:~'&U|  
    总结-组件… 'RIlyH~Yf  
    @v1f)(N  
     a0Y/,S*K  
    系统观感   a@&^t(1  
     rYnjQr2a  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 K-$gTV  
    J%?'Q{  
     >?b9Xh  
    性能评估-点位偏差 0Hz*L,Bh4  
    H];QDix?  
                                       [u_-x3`  
    性能评估-光斑直径测量                                                       PvzB, 2":  
    jk0Ja@8PK  
    6Xjr0 C+  
    *QzoBpO<  
    SwESDo)  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 qDqgU  
    <r*A(}Y  
    VirtualLab Fusion技术 _rQM[{Bkg  
             iJg3`1@j  
     
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