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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) sRflabl *x nE4rB\ 内容简介 k.\4<} Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 }*7Gq 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 R xc 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 jm[f|4\ Pxgal4{6 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 8]WcW/1r ! 目录 c&"1Z/tR Preface 1
g ~%IA.$c 内容简介 2 WmE4TL^8? 目录 i \(U|& 1 引言 1 <@;bxSUx 2 光学薄膜基础 2 ix 5\Y 2.1 一般规则 2 ^CB@4$! 2.2 正交入射规则 3 J,k.*t: 2.3 斜入射规则 6 a)!R4 2.4 精确计算 7 jK2gc^"t 2.5 相干性 8 \# 1p 2.6 参考文献 10
hAD gi^ 3 Essential Macleod的快速预览 10 UFeQ%oRa8 4 Essential Macleod的特点 32 rWJKK 4.1 容量和局限性 33 O)`ye5>v 4.2 程序在哪里? 33 )b,FE}YX 4.3 数据文件 35 FmQiy+.| 4.4 设计规则 35 GZ.KL!,R! 4.5 材料数据库和资料库 37 1JZhcfG 4.5.1材料损失 38 3C2~heO>| 4.5.1材料数据库和导入材料 39 pK)!o 4.5.2 材料库 41 .xtam 8@ 4.5.3导出材料数据 43 DK#Tr: 7 4.6 常用单位 43 Qi|k,1A0 4.7 插值和外推法 46 TU9$5l/;g 4.8 材料数据的平滑 50 z/i&Lpr: 4.9 更多光学常数模型 54 %%lJyLq'Vk 4.10 文档的一般编辑规则 55 ~ _ko$(;A 4.11 撤销和重做 56 4cDe'9
LA 4.12 设计文档 57 isz-MP$:K5 4.10.1 公式 58 MFqb_q+ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 .<6'*XR 4.10.3 沉积密度 59 %\!@$]3q 4.10.4 平行和楔形介质 60 *+ +}ll6 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ]MB6++.e 4.10.4 性能 61 A9LVS&52 4.10.5 保存设计和性能 64 COA>y? 4.10.6 默认设计 64 hdYd2
j 4.11 图表 64 VRUA<x 4.11.1 合并曲线图 67 V|pO";%>, 4.11.2 自适应绘制 68 aQ0pYk~( 4.11.3 动态绘图 68 l$C
Y
gm 4.11.4 3D绘图 69 %5j*e 4.12 导入和导出 73 B%z+\<3^q 4.12.1 剪贴板 73 {G{>Qa| 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 }zrapL"9X 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 4C9k0]k2 4.13 背景 77 _Pn
1n 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 24
RD 4.15 生成Rugate 84 Uq.hCb`: 4.16 参考文献 91 \
F)}brPc 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 c4}|a1R\= 5.1 Jobs 92 )%HIC@MM6 5.2 创建一个新Job(工作) 93
g hW 5.3 输入材料 94 )-\qo#0l 5.4 设计数据文件夹 95 :13u{5:th 5.5 默认设计 95 LB^xdMXi 6 细化和合成 97 U"L-1]L 6.1 优化介绍 97 W?du ] 6.2 细化 (Refinement) 98 d/\ajQ1:: 6.3 合成 (Synthesis) 100 Cw~fP[5XMF 6.4 目标和评价函数 101 <A&Zl&^1 6.4.1 目标输入 102 . $
HE 6.4.2 目标 103 C9eisUM 6.4.3 特殊的评价函数 104 h79~d%- 6.5 层锁定和连接 104 .L.9e#?3 6.6 细化技术 104 lF\2a&YRbn 6.6.1 单纯形 105 G}@a]EGm 6.6.1.1 单纯形参数 106 TpxAp',#7 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Ij:yTu 6.6.2.1 Optimac参数 108 k{cPiY^ 6.6.3 模拟退火算法 109
Fp>nu _-" 6.6.3.1 模拟退火参数 109 @I?:x4 6.6.4 共轭梯度 111 U"a7myB+jX 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 jwheJG 6.6.5 拟牛顿法 112 $5>m\wrl 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 j2mMm/kq\ 6.6.6 针合成 113 6+:;Mb_S 6.6.6.1 针合成参数 114 -cP1,>Ahv 6.6.7 差分进化 114 r"dR}S.Uf 6.6.8非局部细化 115 X=Jt4 h9 6.6.8.1非局部细化参数 115 x|g2H.n 6.7 我应该使用哪种技术? 116 o 9d|XY_ 6.7.1 细化 116 t"YN:y8- 6.7.2 合成 117 |Gr@Mi5 6.8 参考文献 117 o+Q2lO5 7 导纳图及其他工具 118 IaO*{1re 7.1 简介 118 6#HnA"I2n 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ~w}=Oby'y 7.2.1 四分之一波长规则 119 mv(/M
t 7.2.2 导纳图 120 w^}*<q\ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 dcfwUjp[ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 *pyC<4W 7.5 斜入射导纳图 141 o Va[ 7.6 对称周期 141 IH.EvierJ 7.7 参考文献 142 *?+2%zP 8 典型的镀膜实例 143 (*\y 8.1 单层抗反射薄膜 145 i#PR
Tbc 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 HstL'{&,-m 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 GK#D R/OM 8.4 W-膜层 148 -jVg{f! 8.5 V-膜层 149 38%"#T3# 8.6 V-膜层高折射基底 150 n2Q?sV;m 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Bk5ft4v- 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 F1p|^hYDW 8.9 四层抗反射薄膜 153 y (=0 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ;Hb"SB 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 T#HF!GH] 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Fzz9BEw(i 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ed#>q;jX 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 o5G]|JM_ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 c)c_Qv 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 V>ZDJW"G! 8.17 1/4波长堆栈 162 >]2 ^5C; 8.18 陷波滤波器 163 hPUZ{#;n 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 |*L/
m0'L 8.20 褶皱 165 qBZ;S3 8.21 消偏振分光器1 169 C#RueDa. 8.22 消偏振分光器2 171 4v2JrC; 8.23 消偏振立体分光器 172 v+CW([zAx# 8.24 消偏振截止滤光片 173 milQxSpj 8.25 立体偏振分束器1 174 ){w!<Lb 8.26 立方偏振分束器2 177 _:JV-lM 8.27 相位延迟器 178 ^UyN)eX 8.28 红外截止器 179 'Z nJdj 8.29 21层长波带通滤波器 180 epcvwM/A 8.30 49层长波带通滤波器 181 |V^f}5gd 8.31 55层短波带通滤波器 182 )4H0Bz2G 8.32 47 红外截止器 183 In*0. 8.33 宽带通滤波器 184 Ad4-aWH 8.34 诱导透射滤波器 186 7>-99o^W 8.35 诱导透射滤波器2 188 @Y#TWt# 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 J$-1odL0Z 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 i'}"5O+ 8.35 增益平坦滤波器 193 2SKtdiY 8.38 啁啾反射镜 1 196 o@YEd d 8.39 啁啾反射镜2 198 },#AlShZu 8.40 啁啾反射镜3 199 _V` QvnT} 8.41 带保护层的铝膜层 200 Ef=4yH?\j 8.42 增加铝反射率膜 201 @"m+9ZY 8.43 参考文献 202 <lWBhrz 9 多层膜 204 '@"A{mrE 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 5e2yJ R 9.2 内部透过率 204 P5'VLnE R{ 9.3 内部透射率数据 205
oOGFg3X 9.4 实例 206 }RQ'aeVl( 9.5 实例2 210 xww\L
&y 9.6 圆锥和带宽计算 212 CC]q\%y-_ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 V_KHVul 10 光学薄膜的颜色 216 l!IN #|{( 10.1 导言 216 P+,YWp 10.2 色彩 216 nDNK}O~' 10.3 主波长和纯度 220 >,f5 5 10.4 色相和纯度 221 e(9K.3@{ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 G ahY+$L, 10.6 色差 226 )XYCr<s2" 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ZV[-$ 10.8 颜色渲染指数 234 u#0EZ2># 10.9 色差计算 235 pzU:AUW 10.10 参考文献 236 F^Mt}`O 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 !KHbsOT?9 11.1 短脉冲 238 TaZlfe5z 11.2 群速度 239 I2?g'tz 11.3 群速度色散 241 Dj
w#{WR 11.4 啁啾(chirped) 245 DMT2~mh 11.5 光学薄膜—相变 245 RI]x= 11.6 群延迟和延迟色散 246 Hlj3z3 11.7 色度色散 246 RG-,<G` 11.8 色散补偿 249 C(}Kfi@6N 11.9 空间光线偏移 256 oSP^
.BJ$ 11.10 参考文献 258 Qq\hD@Z| 12 公差与误差 260 EtDzmpJR> 12.1 蒙特卡罗模型 260 ?#L5V'ZZ* 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 5%" 0 12.2.1 误差工具 267 ),0Ea~LB4 12.2.2 灵敏度工具 271 &lW~ot1, 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Q>\9/DjUp 12.2.2.2 灵敏度分布 275 lV?OYS|4i 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
--TY[b 12.3 参考文献 276 K Z0%J5 13 Runsheet 与Simulator 277 5ma~Pjt8} 13.1 原理介绍 277 XMpE|M!c 13.2 截止滤光片设计 277 !3o]mBH8 14 光学常数提取 289 ~uJO6C6A 14.1 介绍 289 vFK(Dx 14.2 电介质薄膜 289 U?ZxQj66} 14.3 n 和k 的提取工具 295 kk
aS&r> 14.4 基底的参数提取 302 I0sw/,J/Z 14.5 金属的参数提取 306 $PTl{ 14.6 不正确的模型 306 pbqJtBBDDS 14.7 参考文献 311 UujKgL4 15 反演工程 313 *)i+ c{~ 15.1 随机性和系统性 313 +4K'KpFzZ 15.2 常见的系统性问题 314 Y^,G}
&p 15.3 单层膜 314 TzsNhrU{ 15.4 多层膜 314 xQ8?"K;iX 15.5 含义 319 n^rzl6dy 15.6 反演工程实例 319 1!2,K ot 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 $9<P3J 1 15.6.2 反演工程提取折射率 327 AkBEE 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 y;tX`5(fe 16.1 光学性质的热致偏移 329 >\ PNKpn{ 16.2 应力工具 335 g=kuM 16.3 均匀性误差 339 9jrlB0 16.3.1 圆锥工具 339 !,;/JxfgVh 16.3.2 波前问题 341 ],Y+|uX-> 16.4 参考文献 343 vv`,H~M6 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 (s!cd]Qa. 17.1 引言 345 XNB4KjT 17.2 操作数 345
Ndqhc 18 如何在Function中编写脚本 351 yv.(Oy 18.1 简介 351 4:qM'z 18.2 什么是脚本? 351 {i:Ayhq~& 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 k0-,qM#p;X 18.4 基础 352 %2rUJaOgy$ 18.4.1 Classes(类别) 352 _6MNEoy? 18.4.2 对象 352 ?r(Bu 18.4.3 信息(Messages) 352 08;t%[R 18.4.4 属性 352 r`d.Wy Zj 18.4.5 方法 353 @m ?&7{y#? 18.4.6 变量声明 353 Pqv9>N| 18.5 创建对象 354 F$H^W@<w 18.5.1 创建对象函数 355 YX6[m6LU 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 REKv&^FLN 18.5.3 丢弃对象 356 )Xd2qbi 18.5.4 总结 356 FLOSdMYdw 18.6 脚本中的表格 357 ,2^zX]dgM 18.6.1 方法1 357 C-L[" O0[ 18.6.2 方法2 357 (Qz|
N 18.7 2D Plots in Scripts 358 I=wA)Bli1p 18.8 3D Plots in Scripts 359 ? Eh)JJt 18.9 注释 360 -nC!kpo 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 :X~{,J 18.11 一个更高级的脚本 362 rTLo6wI 18.12 <esc>键 364 ~0XV[$`L 18.13 包含文件 365 FR 1se 18.14 脚本被优化调用 366 $eUJd Aetk 18.15 脚本中的对话框 368 naWW i]9 18.15.1 介绍 368 uOnyU+fZV 18.15.2 消息框-MsgBox 368 99..] 18.15.3 输入框函数 370 >EIV`|b$h 18.15.4 自定义对话框 371 ao.v]6a 18.15.5 对话框编辑器 371 Z\P&i# 18.15.6 控制对话框 377 9mfP9 18.15.7 更高级的对话框 380 F5;x>;r 18.16 Types语句 384 $sR-J'EE! 18.17 打开文件 385 Fwv(J_'q 18.18 Bags 387 #u6ZCv7u 18.13 进一步研究 388 .#$D\cwV 19 vStack 389 'CO3b, 19.1 vStack基本原理 389 MnymV;y" 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 V61.UEN 19.3 五棱镜 393 L
BP| 19.4 光束距离 396 {`CmE/`{ 19.5 误差 399 \3v}:E+3 19.6 二向分色棱镜 399 S)[$F} 19.7 偏振泄漏 404 k->cqtG 19.8 波前误差—相位 405 p(]o#$ 6[ 19.9 其它计算参数 405 ISl-W1u} 20 报表生成器 406
dJwE/s 20.1 入门 406 7ZRLSq'S 20.2 指令(Instructions) 406 t|y`Bl2 20.3 页面布局指令 406 8]-c4zK 20.4 常见的参数图和三维图 407 o{wXq)b 20.5 表格中的常见参数 408
V;-YM W 20.6 迭代指令 408 F),wj8#~>- 20.7 报表模版 408 a4iq_F#NF 20.8 开始设计一个报表模版 409 >rb8A6 21 一个新的project 413 wX*F'r"z 21.1 创建一个新Job 414 &DgJu. 21.2 默认设计 415 EzDQoN7Em 21.3 薄膜设计 416 F/I`EV 21.4 误差的灵敏度计算 420 l&1R`g cW 21.5 显色指数计算 422 ^`XTs!. 21.6 电场分布 424 O'}
%Bjl 后记 426 z4yV1 -^%YrWgd? oDEvhNT 书籍名称:《Essential Macleod中文手册》 d;9F2,k$w gr
y]!4Hy 《Essential Macleod中文手册》 ]aF!0Fln~ RRH[$jk 目 录 /}=Bi- ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 d*{NAq'9X 第1章 介绍 ..........................................................1第2章 软件安装 ..................................................... 3 }yW*vy6` 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 p:n.:GZ=y 第5章 软件结构 ............................................................... 21第6章 应用窗口 ................................................................. 44 8hx 3pvmk 第7章 设计窗口 .................................................................. 62第8章 图形窗口 .................................................................. 100 rWo&I_{ 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 #^ cmh 第11章 表格窗口 ................................................................. 116第12章 优化和综合 ..................................................................120 Y]R;>E5o| 第13章 材料管理 ........................................................................ 149第14章 多层膜 ........................................................................... 167 -h/KrB 第15章 分析和设计工具 ........................................................180第16章 逆向工程 ................................................................ 200 rFPfTpS 第17章 报告生成器 ............................................................. 208第18章 堆栈 ......................................................................... 213 {v>orP? 第19章 功能扩展 .................................................................. 229第20章 运行表单 .................................................................... 251 hRvjiK\ 第21章 模拟器 ...................................................................... 271第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 Yuo 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 ') -Rv]xe 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 ~Uz1()ftz 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 t$W~X~// 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 ^cy.iolt 有兴趣可以扫码加微联系 0=^A{V!m
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