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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) xzHb+1+p 9ZNzC
i! 内容简介 fjCFJ_ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 "5204I 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 l
>~Rzw 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 &F:%y(;{Y Kr?<7vMT5 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 C8W_f( i~ 目录 1~Z
Preface 1 ,FwpHs $A 内容简介 2 (&SPMhs_|( 目录 i ~b@"ir+g4 1 引言 1 tOX-vQ 2 光学薄膜基础 2 _Q 'f^Kj 2.1 一般规则 2 gO{$p q} 2.2 正交入射规则 3 *zQhTYY 2.3 斜入射规则 6 OLo?=1&;; 2.4 精确计算 7 ZUD{V 2.5 相干性 8 ~)F_FS 2.6 参考文献 10 7K ~)7U 3 Essential Macleod的快速预览 10 *{,}pK2* 4 Essential Macleod的特点 32 [dFe-2u ,$ 4.1 容量和局限性 33 31\mF\{V 4.2 程序在哪里? 33 G5%k.IRz 4.3 数据文件 35 BiDyr 4.4 设计规则 35 #&ei 4.5 材料数据库和资料库 37 \H&;.??W 4.5.1材料损失 38 Lr9E02 4.5.1材料数据库和导入材料 39 k!bG![Ie| 4.5.2 材料库 41 I@5$ <SN 4.5.3导出材料数据 43 B2Rpd &[ 4.6 常用单位 43 bI^F( 4.7 插值和外推法 46 cc3/XBo 4.8 材料数据的平滑 50 n0G@BE1Y= 4.9 更多光学常数模型 54 B"
_Xst 4.10 文档的一般编辑规则 55 zJ$U5r/u 4.11 撤销和重做 56 1_TniR3z1 4.12 设计文档 57 Vw3=jIQN:! 4.10.1 公式 58 F|cli
< 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 2I|lY>Z 4.10.3 沉积密度 59 M)U)Sc zHO 4.10.4 平行和楔形介质 60 g6+5uvpd 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 @-Y,9mM 4.10.4 性能 61 re,}}' 4.10.5 保存设计和性能 64 &bGf{P*Da 4.10.6 默认设计 64 'Fc$?$c\ 4.11 图表 64 p"7[heExw 4.11.1 合并曲线图 67 P,b&F 4.11.2 自适应绘制 68 !@*= b1 4.11.3 动态绘图 68 jcjl q-x 4.11.4 3D绘图 69 Q+/P>5O/ 4.12 导入和导出 73 R T~oJ~t; 4.12.1 剪贴板 73 A2p% Y}, 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 f]mVM(XZN 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 cj^hwtx 4.13 背景 77 k)[c!\a[i 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Gx4{ 9 4.15 生成Rugate 84 dWu;F^ 4.16 参考文献 91 ktRGl>J 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 G*,7pc 5.1 Jobs 92 ef!f4u\ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ^go3F{;4i 5.3 输入材料 94 ;JMmr-@ 5.4 设计数据文件夹 95 1|AY&u%fiP 5.5 默认设计 95 8F'm#0 6 细化和合成 97 yY*(!^S 6.1 优化介绍 97 Sx (E'?] 6.2 细化 (Refinement) 98 :6Tv4ZUvcG 6.3 合成 (Synthesis) 100 So75h*e 6.4 目标和评价函数 101 l_8ibLyo 6.4.1 目标输入 102 xJnN95`R@ 6.4.2 目标 103 NTO.;S|2% 6.4.3 特殊的评价函数 104 W`P>vK@= 6.5 层锁定和连接 104 MttFB;Tp 6.6 细化技术 104 uRYq.`v, 6.6.1 单纯形 105 2[j`bYNe 6.6.1.1 单纯形参数 106 ?>I 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 =6f)sZpPh 6.6.2.1 Optimac参数 108 AX'-}5T= 6.6.3 模拟退火算法 109 th<>%e}5c 6.6.3.1 模拟退火参数 109 !N_eZPU.v 6.6.4 共轭梯度 111 M ac?HI 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 f*IvaY 6.6.5 拟牛顿法 112 HuKOb4g 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 c.5u \I9" 6.6.6 针合成 113 aR'~=t&;z1 6.6.6.1 针合成参数 114 `I4E':
ZG 6.6.7 差分进化 114 bE@Eiac 6.6.8非局部细化 115 86!$<!I 6.6.8.1非局部细化参数 115 ]=]MJ3_7 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Z6Z/Y()4Tl 6.7.1 细化 116 9qB4\ONXZ 6.7.2 合成 117 ?GtI.flV 6.8 参考文献 117 "q!*RO'a 7 导纳图及其他工具 118 ZR"qrCSw` 7.1 简介 118 e\f\CMb 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 vA[7i*D{w 7.2.1 四分之一波长规则 119 M _lLP8W} 7.2.2 导纳图 120 !4<A|$mQ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 cM4{ e^ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 E1`_[=8a9 7.5 斜入射导纳图 141 2$VSH& 7.6 对称周期 141 e**'[3Y 7.7 参考文献 142 #?eMEws 8 典型的镀膜实例 143 >6@,L+-6r 8.1 单层抗反射薄膜 145 ?^^TR/ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 F1L[C4' 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 @v!#_%J 8.4 W-膜层 148 .2_xTt 8.5 V-膜层 149 MZh?MaBz06 8.6 V-膜层高折射基底 150 y\[* mgl: 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 84i0h$ZZo 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 4L4u< 8.9 四层抗反射薄膜 153 O*x~a;?G 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 l<ZHS'-;8 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 F g'{K%t4 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 x9 n(3Oa 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 rY1jC\ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 x{GFCy7 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ~"4Cz27 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 +Jn\`4/J: 8.17 1/4波长堆栈 162 ,S@B[+VZ 8.18 陷波滤波器 163 zwP*7u$CH 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 <Lt"e8Z> x 8.20 褶皱 165 /TIt-c 8.21 消偏振分光器1 169 Ol>/^3a= 8.22 消偏振分光器2 171 $
9E"{6;@ 8.23 消偏振立体分光器 172 &%k_BdlkQ 8.24 消偏振截止滤光片 173 PI,2b(`h_ 8.25 立体偏振分束器1 174 >Rb
jdM5K4 8.26 立方偏振分束器2 177 T!pZj_ h= 8.27 相位延迟器 178 FL&Y/5 8.28 红外截止器 179 8]O#L}" 8.29 21层长波带通滤波器 180 #e[r0f?U 8.30 49层长波带通滤波器 181 aSJD'u4w.a 8.31 55层短波带通滤波器 182 78<fbN5}r 8.32 47 红外截止器 183 5lM 3In@ 8.33 宽带通滤波器 184 jHA(mU)b 8.34 诱导透射滤波器 186 O'.{6H;t 8.35 诱导透射滤波器2 188 H`Zg-j` 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 PlgpH'z4$ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 c?GV 8.35 增益平坦滤波器 193 TC@F*B; 8.38 啁啾反射镜 1 196 N+H[Y4c?F& 8.39 啁啾反射镜2 198 6Bexwf<u 8.40 啁啾反射镜3 199 JRE\R&>g 8.41 带保护层的铝膜层 200 %\)AT" 8.42 增加铝反射率膜 201 IlI5xkJ( 8.43 参考文献 202 'P4V_VMK 9 多层膜 204 O#>,vf$ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 v:>sS_^ 9.2 内部透过率 204 osLEH?iKW 9.3 内部透射率数据 205 CP$,fj 9.4 实例 206 LcNI$g;}Yf 9.5 实例2 210 'dv( 9.6 圆锥和带宽计算 212 P=y1qqC 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 O0bOv S 10 光学薄膜的颜色 216 #T`1Z"h< 10.1 导言 216
-*-"kzgd 10.2 色彩 216 +Q[SddI 10.3 主波长和纯度 220 +>c%I&h}` 10.4 色相和纯度 221 l2wu>Ar7. 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 (OavgJ+Y 10.6 色差 226 yZNg[KH 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 L}_VT
J 10.8 颜色渲染指数 234 q6%m .X7 10.9 色差计算 235 }>3jHWxLc 10.10 参考文献 236 :3J`+V}9; 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ~(`MP< 11.1 短脉冲 238 E>2AG3) 11.2 群速度 239 8|+@A1)&4 11.3 群速度色散 241 1 .o0" 11.4 啁啾(chirped) 245 {W%XSE 11.5 光学薄膜—相变 245 ^?A>)?Sq 11.6 群延迟和延迟色散 246 [p(0g;bx 11.7 色度色散 246 W* n|T{n 11.8 色散补偿 249 vAOThj) 11.9 空间光线偏移 256 3#\C!T0y 11.10 参考文献 258 Z]5xy_La 12 公差与误差 260 &0d5".|s 12.1 蒙特卡罗模型 260 )]\-Uy$x 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Y
7?q` 12.2.1 误差工具 267 (&_^1 12.2.2 灵敏度工具 271 [g=4'4EZc 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Wrt5eYy 12.2.2.2 灵敏度分布 275 SK*<H~2 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 , 0?_?
GO 12.3 参考文献 276 5B3sRF} 13 Runsheet 与Simulator 277 &k`lbkq 13.1 原理介绍 277 e#WASHZN 13.2 截止滤光片设计 277 UA4MtTp` 14 光学常数提取 289 nS Vr,wU 14.1 介绍 289 zqRps8= 14.2 电介质薄膜 289 wX!0KxR/Z 14.3 n 和k 的提取工具 295 e{^lD.E 14.4 基底的参数提取 302 6!=q+sw/X 14.5 金属的参数提取 306 azRp4~2? 14.6 不正确的模型 306 ndk~(ex|j 14.7 参考文献 311 ItZ*$I1< 15 反演工程 313 4]xD-sc 15.1 随机性和系统性 313 p>+Q6o9O 15.2 常见的系统性问题 314 qmNG|U& 15.3 单层膜 314 v9#F\ F/ 15.4 多层膜 314 !?K#f?x<? 15.5 含义 319 Tv|iCYB? 15.6 反演工程实例 319 ':f,RG 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 H5CL0#I 15.6.2 反演工程提取折射率 327 iWkC:fQz 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 oTTE<Ct[ 16.1 光学性质的热致偏移 329 Ac}5, 16.2 应力工具 335 BJp~/H`vd 16.3 均匀性误差 339 ajf(Ii\/ 16.3.1 圆锥工具 339 DJ1!Xuu 16.3.2 波前问题 341 Su+[Q6oC@ 16.4 参考文献 343 Dh<}j3] 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Qr-,J_ 17.1 引言 345
Yq{R*HO 17.2 操作数 345 #TB
3|= 18 如何在Function中编写脚本 351 Q4g69IE 18.1 简介 351 FB3}M)G>M 18.2 什么是脚本? 351 MaF4lFmS 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 E[FE-{B# 18.4 基础 352 1`~.!yd8( 18.4.1 Classes(类别) 352 7IrH(~Fo 18.4.2 对象 352 :edy(vC< 18.4.3 信息(Messages) 352 m+x$LkP 18.4.4 属性 352 m.lzkS]P 18.4.5 方法 353 NuXII- 18.4.6 变量声明 353 n-OQCz9Xl 18.5 创建对象 354 ,Z8)DC= 18.5.1 创建对象函数 355 ROO@EQ#`Z 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 &fE2zTz 18.5.3 丢弃对象 356 0="wxB 18.5.4 总结 356 p ^)3p5w 18.6 脚本中的表格 357 xX.{(er 18.6.1 方法1 357 X]=8Oa 18.6.2 方法2 357 1=PTiDMJ<* 18.7 2D Plots in Scripts 358 j?\z5i""f 18.8 3D Plots in Scripts 359 N%)q.'M 18.9 注释 360 $M$-c{>s 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 fGWXUJ 18.11 一个更高级的脚本 362 =}Yz[-I 18.12 <esc>键 364 HKVtO%& 18.13 包含文件 365 }q,d JE 18.14 脚本被优化调用 366 StiWa<"c 18.15 脚本中的对话框 368 oFsV0 {x%) 18.15.1 介绍 368 ~"8r=8| 18.15.2 消息框-MsgBox 368 :BB=E'293 18.15.3 输入框函数 370 hUEA)c 18.15.4 自定义对话框 371 dq0!.gBT2 18.15.5 对话框编辑器 371 $KP;9 18.15.6 控制对话框 377 )^
P Wr^ 18.15.7 更高级的对话框 380 FB
%-$ 18.16 Types语句 384 v[)8 1uY 18.17 打开文件 385 Zg|l:^E 18.18 Bags 387 *JZlG%z 18.13 进一步研究 388 bHQ) :W 19 vStack 389 Xv+,Z<>iQ 19.1 vStack基本原理 389 _ER. AKY 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 \mWH8Z
}Z 19.3 五棱镜 393 Y8N+v+V/ 19.4 光束距离 396 Of}C.N8 19.5 误差 399 rE0%R+4? 19.6 二向分色棱镜 399 m|v$F,Lv 19.7 偏振泄漏 404 5<P6PHdY 19.8 波前误差—相位 405 b.RFvq5Z 19.9 其它计算参数 405 !lBK!'0 20 报表生成器 406 =q*c}8R_0 20.1 入门 406 R\]C;@J< 20.2 指令(Instructions) 406 DVDzYR**4 20.3 页面布局指令 406 |7${E^u 20.4 常见的参数图和三维图 407 x~K79Mya 20.5 表格中的常见参数 408 o'8nQ
Tao 20.6 迭代指令 408 7xfS%'=y" 20.7 报表模版 408 /QQjb4S} 20.8 开始设计一个报表模版 409 YPA$38 21 一个新的project 413 #$F*.vQSs+ 21.1 创建一个新Job 414 /Pg)@*~ 21.2 默认设计 415 ZZi|0dG4; 21.3 薄膜设计 416 Qj$w7*U 21.4 误差的灵敏度计算 420 `>OKV;~{z 21.5 显色指数计算 422
;v/un 21.6 电场分布 424 }F|B'[wn 后记 426 }7_$[r'_oI Xg;;<
/Z ^]Z@H/]H 书籍名称:《Essential Macleod中文手册》 U*,\UF cwzgIm+ 《Essential Macleod中文手册》 p7HLSB2Rp Av4(=}M}@ 目 录 Y?L>KiM$ ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 !Uv>>MCr 第1章 介绍 ..........................................................1第2章 软件安装 ..................................................... 3 }0iHf'~DH* 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 $VhY"< 第5章 软件结构 ............................................................... 21第6章 应用窗口 ................................................................. 44 ;lfv.-u:< 第7章 设计窗口 .................................................................. 62第8章 图形窗口 .................................................................. 100 Nr).*]g@~ 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 LF#[$
so{i 第11章 表格窗口 ................................................................. 116第12章 优化和综合 ..................................................................120 d8U<V<H< 第13章 材料管理 ........................................................................ 149第14章 多层膜 ........................................................................... 167 5"X@<;H% 第15章 分析和设计工具 ........................................................180第16章 逆向工程 ................................................................ 200 h@o6=d=4 第17章 报告生成器 ............................................................. 208第18章 堆栈 ......................................................................... 213 7p1B"% 第19章 功能扩展 .................................................................. 229第20章 运行表单 .................................................................... 251 9A/bA|$
第21章 模拟器 ...................................................................... 271第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 "h|kf%
W 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 ?[P>2oz 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 9,JWi{lIv 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 |o'r?" 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 j(k}NWPH 有兴趣可以扫码加微联系 b=U3&CV9
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