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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
: *[mvF UY({[?Se 内容简介 `EvO^L Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Qx|HvT2P 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 fr04nl 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 _yH">x< J"GsdLG.- 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 5izpQ'> 目录 j1->w8 Preface 1 -}sMOy` 内容简介 2 B:UPSX)A 目录 i ZlE=P4`X: 1 引言 1 d_&pxy?
> 2 光学薄膜基础 2 F 2zUz[ 2.1 一般规则 2 4G;KT~Cgb 2.2 正交入射规则 3 >d"\ 2.3 斜入射规则 6 6(htpT%J 2.4 精确计算 7 R)$]r>YZF 2.5 相干性 8
(6mw@gzr 2.6 参考文献 10 h:C:opa-= 3 Essential Macleod的快速预览 10 c2:, 4 Essential Macleod的特点 32 _dAn/rj
4.1 容量和局限性 33 ~l] w=[
z 4.2 程序在哪里? 33 +lFBH(o]X 4.3 数据文件 35 tP2.D:( R 4.4 设计规则 35 j"TEp$x 4.5 材料数据库和资料库 37 y,1U]1TP 4.5.1材料损失 38 zPHx\z" 4.5.1材料数据库和导入材料 39 F=*t]X[z} 4.5.2 材料库 41 -Q
Mwtr#q} 4.5.3导出材料数据 43 s?1Aj< 4.6 常用单位 43 IN#/~[W 4.7 插值和外推法 46 <_*5BO 4.8 材料数据的平滑 50 *0L3#. i 4.9 更多光学常数模型 54 ]g oVQ'Y 4.10 文档的一般编辑规则 55 1>OU~A" 4.11 撤销和重做 56 y0O e)oP 4.12 设计文档 57 Xa;wx3]t 4.10.1 公式 58 ']c;$wP 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 AA ~7"2e 4.10.3 沉积密度 59 sRcS-Yw[S 4.10.4 平行和楔形介质 60 [J eq ?X9 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 jw\4`NZ] 4.10.4 性能 61 SJLs3iz_) 4.10.5 保存设计和性能 64 n[y^S3}%; 4.10.6 默认设计 64 I~p*~mLh' 4.11 图表 64 2Q%M2Ua 4.11.1 合并曲线图 67 '|v<^EH 4.11.2 自适应绘制 68 s-x1<+E( 4.11.3 动态绘图 68 glM42s 4.11.4 3D绘图 69 r]QeP{ 4.12 导入和导出 73 RhF<{U. 4.12.1 剪贴板 73 v1}ijls 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 A>S7Ap4z> 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 F &5iA\ 4.13 背景 77 %zEy.7Ux 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 {(F}SF{ 4.15 生成Rugate 84 Zg4wd/y? 4.16 参考文献 91 5RO6YxQ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 uP8 cW([ 5.1 Jobs 92 e(1{W P 5.2 创建一个新Job(工作) 93 g%m-*v* 5.3 输入材料 94 myOW^ 5.4 设计数据文件夹 95 =*+f2 5.5 默认设计 95 AOL=;z9c# 6 细化和合成 97 7hMh%d0d(_ 6.1 优化介绍 97 lY,9bSF$ 6.2 细化 (Refinement) 98 ,1<6=vL 6.3 合成 (Synthesis) 100 9T`YHA'g 6.4 目标和评价函数 101 ev/)#i#s{ 6.4.1 目标输入 102 UaQW<6+ 6.4.2 目标 103 ]PL\;[b> 6.4.3 特殊的评价函数 104 $SFreyI;Uf 6.5 层锁定和连接 104 SjJ$Oinc 6.6 细化技术 104 F60m]NUM)c 6.6.1 单纯形 105 0CX9tr2J 6.6.1.1 单纯形参数 106 l 8GAZ*+ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 $}YN`:{ 6.6.2.1 Optimac参数 108 7VkjnG^!: 6.6.3 模拟退火算法 109 !>K=@9NC|. 6.6.3.1 模拟退火参数 109 tLdQO" 6.6.4 共轭梯度 111 S4(?=,^- 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 qla=LS\-A+ 6.6.5 拟牛顿法 112 O0pXHXSAL 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 es+ZPX>Y 6.6.6 针合成 113 | -Gb Hfz 6.6.6.1 针合成参数 114 o(3OChH 6.6.7 差分进化 114 v Oo^H 6.6.8非局部细化 115 MfFmJ7>Bg 6.6.8.1非局部细化参数 115 d]E.F64{ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 >%t5j?p 6.7.1 细化 116 6BXZGE 6.7.2 合成 117 wb]Z4/j# 6.8 参考文献 117 qCm%};yt 7 导纳图及其他工具 118 '=K~M 7.1 简介 118 ;\/RgN 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 w/(2fU ( 7.2.1 四分之一波长规则 119 _71I9V& 7.2.2 导纳图 120 ;1TQr3w 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 "oR%0pU* 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 [$\VvRu% 7.5 斜入射导纳图 141 p8&rl|z| 7.6 对称周期 141 >DzW OB 7.7 参考文献 142 6-{wo)p 8 典型的镀膜实例 143 "88<{x L 8.1 单层抗反射薄膜 145 %]F{aR 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 a'my0m 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 F22]4DLHO 8.4 W-膜层 148 3%N!omAe 8.5 V-膜层 149 H3ob
8+J 8.6 V-膜层高折射基底 150 ET6}V"UD 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 2)q$HUIX 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 i^}DIx{ 8.9 四层抗反射薄膜 153 0{Zwg0& 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 _]+
\ B 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 N\hHu6 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 P2U [PO 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 -li;w
tCS 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Thp!X/2O` 8.15十五层宽带抗反射膜 159 IU]@%jA_:A 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 9\6ZdnEKu, 8.17 1/4波长堆栈 162 ;|Rrtf9 8.18 陷波滤波器 163 DpL|aRdbK 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 <a
D}Ko( 8.20 褶皱 165 [;7$ 'lr%D 8.21 消偏振分光器1 169 r$! 8.22 消偏振分光器2 171 XO/JnJ^B 8.23 消偏振立体分光器 172 il:RE8 8.24 消偏振截止滤光片 173 \!r,>P 8.25 立体偏振分束器1 174 m&6)Vt 8.26 立方偏振分束器2 177 dJmr!bN\; 8.27 相位延迟器 178 <r8s=<: 8.28 红外截止器 179 =l}XKl-> 8.29 21层长波带通滤波器 180 w"E.Va 8.30 49层长波带通滤波器 181 \ 3l3,VYH 8.31 55层短波带通滤波器 182 ;J?zD9 8.32 47 红外截止器 183 ItQ3|-^ 8.33 宽带通滤波器 184 {,o =K4CD 8.34 诱导透射滤波器 186 (V8lmp-F 8.35 诱导透射滤波器2 188 hKQg:30< 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 !O/(._YB` 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 9Jf.Ls 8.35 增益平坦滤波器 193 }& e#b]&:* 8.38 啁啾反射镜 1 196 ,N2|P:x 8.39 啁啾反射镜2 198 53?B.\ 8.40 啁啾反射镜3 199 PZCOJK 8.41 带保护层的铝膜层 200 !}&f2!?.W 8.42 增加铝反射率膜 201 um
mkAeWb 8.43 参考文献 202 !
d " i 9 多层膜 204 ,Je9]XT 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ADlLodG 9.2 内部透过率 204 EY.Z.gMZI( 9.3 内部透射率数据 205 ?C|b>wM/ 9.4 实例 206 +"SYG 9.5 实例2 210 vsCy? 9.6 圆锥和带宽计算 212 VaFv%%w 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 An3%@; 10 光学薄膜的颜色 216 9uA2M!~i2 10.1 导言 216 X!/ 10.2 色彩 216 eTY""EWU 10.3 主波长和纯度 220 .c2Zr|X 10.4 色相和纯度 221 ;{Su:Ixg 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 UhF+},gU 10.6 色差 226 p?4h2`P 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 1
c4I`#_v 10.8 颜色渲染指数 234 "_36WX 10.9 色差计算 235 p#fV|2'
10.10 参考文献 236 sRf?JyB 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 pe7R1{2Q_s 11.1 短脉冲 238 G'
a{;3 11.2 群速度 239 AU/L_hg 11.3 群速度色散 241 d^YM@>% 11.4 啁啾(chirped) 245 I'T@}{h 11.5 光学薄膜—相变 245 `F
TA{ba 11.6 群延迟和延迟色散 246 KZt4 dr 11.7 色度色散 246 9~C$C 11.8 色散补偿 249 j= Ebk;6p 11.9 空间光线偏移 256 !S}4b 11.10 参考文献 258 *[O)VkL\%i 12 公差与误差 260 zXx)xIO 12.1 蒙特卡罗模型 260 j692M.A 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 k_%"# 12.2.1 误差工具 267 C*1,aLSw 12.2.2 灵敏度工具 271 VsMTzGr 12.2.2.1 独立灵敏度 271 >`!Lh`n7_ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 h oL"K 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 pz@wbu=($4 12.3 参考文献 276 kc&MO`2 W\ 13 Runsheet 与Simulator 277 f6-OR]R5 13.1 原理介绍 277 gls %<A{C 13.2 截止滤光片设计 277 Iw-3Z'hOX 14 光学常数提取 289 ZpTT9{PT=: 14.1 介绍 289 9H4NvB{ 14.2 电介质薄膜 289 C
Nt 14.3 n 和k 的提取工具 295 ,"Nfo`7 14.4 基底的参数提取 302 exQU 14.5 金属的参数提取 306 1'>wrGr 14.6 不正确的模型 306 b )mU9 14.7 参考文献 311 W.t` 15 反演工程 313 vfZ.js/ 15.1 随机性和系统性 313 AUvUk<a 15.2 常见的系统性问题 314 XAf,k&f3 15.3 单层膜 314 Pn[R.u(l 15.4 多层膜 314 yG<`7v 15.5 含义 319 %RF9R"t$ 15.6 反演工程实例 319 +8\1.vY 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 8KU5x# 15.6.2 反演工程提取折射率 327 pAd 8-a 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 "TboIABp:H 16.1 光学性质的热致偏移 329 LmQS;/: 16.2 应力工具 335 ^dF?MQA<@ 16.3 均匀性误差 339 0j)D[K 16.3.1 圆锥工具 339 C0$KpUB 16.3.2 波前问题 341 OLS. 0UEc 16.4 参考文献 343 xmI!N0eta 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 orcPKCz|" 17.1 引言 345 i{
" g7 17.2 操作数 345 k&h3" 18 如何在Function中编写脚本 351 {BA1C
( 18.1 简介 351 ev_4!+ko 18.2 什么是脚本? 351 bdUe,2Yi n 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ?i8a)!U 18.4 基础 352 i)pAFv<$, 18.4.1 Classes(类别) 352 R;68C6 4 18.4.2 对象 352 <.yL&$9 18.4.3 信息(Messages) 352 !^:)zORYR 18.4.4 属性 352 @d]a#ypU 18.4.5 方法 353 7"c^$fj 18.4.6 变量声明 353 [aF^ D;o 18.5 创建对象 354 :t36]NM 18.5.1 创建对象函数 355 Fuuy_+p@G 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 gLyE,1Z}u 18.5.3 丢弃对象 356 O*8.kqlgt 18.5.4 总结 356 =83FCq" 18.6 脚本中的表格 357 _Bp{~-fO 18.6.1 方法1 357 TZ2-%k# 18.6.2 方法2 357 Jbrjt/OG#I 18.7 2D Plots in Scripts 358 _RHB ^y;- 18.8 3D Plots in Scripts 359 ca}, tov& 18.9 注释 360 )ZcwG(o0 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 dfss_}R 18.11 一个更高级的脚本 362 W".: 1ov#B 18.12 <esc>键 364 y@ 'm D*z 18.13 包含文件 365 -t:~d: 18.14 脚本被优化调用 366 LR5X=&k 18.15 脚本中的对话框 368 O"D0+BK79e 18.15.1 介绍 368 hrRkam !y 18.15.2 消息框-MsgBox 368 AP8YY8,
18.15.3 输入框函数 370 P'dH*}H 18.15.4 自定义对话框 371 |H LU5=Y 18.15.5 对话框编辑器 371 PSM~10l, 18.15.6 控制对话框 377 (")IU{>c6 18.15.7 更高级的对话框 380 >*hY1@N1 18.16 Types语句 384 GjmPpKIu\ 18.17 打开文件 385 Y30e7d* qr 18.18 Bags 387 cM= ?{W7~ 18.13 进一步研究 388 j~IX 19 vStack 389 q
(?%$u. 19.1 vStack基本原理 389 ;E"TOC 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 gg-4ce/ 19.3 五棱镜 393 m|}};8 19.4 光束距离 396 t=IpVl! 19.5 误差 399 V@QWJZ" 19.6 二向分色棱镜 399 am$-1+iX 19.7 偏振泄漏 404 HFr#Ql>g 19.8 波前误差—相位 405 U=<d;2N# 19.9 其它计算参数 405 YhVV~bvz* 20 报表生成器 406 iL%Q@!ka 20.1 入门 406 ?G48GxJ 20.2 指令(Instructions) 406 Xlw8>.\ 20.3 页面布局指令 406 zO)>(E? 20.4 常见的参数图和三维图 407 ]
X9e| 20.5 表格中的常见参数 408 uEK9 20.6 迭代指令 408 sC/5N 20.7 报表模版 408 w _*|u 20.8 开始设计一个报表模版 409 OJkiTs{ 21 一个新的project 413 Dd(# 21.1 创建一个新Job 414 JwkMRO 21.2 默认设计 415 ww_gG5Fc$ 21.3 薄膜设计 416 ]7*Z'E 21.4 误差的灵敏度计算 420 y}'c)u 21.5 显色指数计算 422 h;^H*Y&` 21.6 电场分布 424 )<.BN
p 后记 426 {iyO96YI[^ cVg!" DH#n7s'b 书籍名称:《Essential Macleod中文手册》 y?t2@f]!XK x"n!nT%Z 《Essential Macleod中文手册》 %|6t\[gn yEaim~ 目 录 Ly?%RmHK ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 `*A!vO8 第1章 介绍 ..........................................................1第2章 软件安装 ..................................................... 3 )CYm/dk 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 -FAAP&LG 第5章 软件结构 ............................................................... 21第6章 应用窗口 ................................................................. 44 @Gh?|d7bD 第7章 设计窗口 .................................................................. 62第8章 图形窗口 .................................................................. 100 O3?3XB> < 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 "kE$2Kg 第11章 表格窗口 ................................................................. 116第12章 优化和综合 ..................................................................120 IEx`W;V]K 第13章 材料管理 ........................................................................ 149第14章 多层膜 ........................................................................... 167 (-RZ|VdYg 第15章 分析和设计工具 ........................................................180第16章 逆向工程 ................................................................ 200 zfAkWSY 第17章 报告生成器 ............................................................. 208第18章 堆栈 ......................................................................... 213 qhKW6v 第19章 功能扩展 .................................................................. 229第20章 运行表单 .................................................................... 251 i.|zKjF' 第21章 模拟器 ...................................................................... 271第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 ]6`]+& 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 G lz0`z 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 {Z529Ns 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 @_gCGI>Q 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 our$Ka31 有兴趣可以扫码加微联系 h83;}>
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