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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) i$JG^6,O b4)*<Zp` 内容简介 _:gGD8 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 { 0%TMiVf 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Wz-3?EQ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 @nx}6?p\, 8PoHBOxpc 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 KZ!N{.Jk 目录 02W4-*) Preface 1 EID)o[< 内容简介 2 T018)WrhL 目录 i @4_rx u& 1 引言 1 " _:iK] 2 光学薄膜基础 2 prlyaq;4 2.1 一般规则 2 -4vHK!l 2.2 正交入射规则 3 ^%5~; 2.3 斜入射规则 6 !u53 3 2.4 精确计算 7 f3zfRhkIk 2.5 相干性 8 H-_^TB 2.6 参考文献 10 Ig02M_ 3 Essential Macleod的快速预览 10 5 dfe@$ 4 Essential Macleod的特点 32 %oh`EGmVP 4.1 容量和局限性 33 Txt%nzIu 4.2 程序在哪里? 33 ']ITuP8 4.3 数据文件 35 !dyxE'T2 4.4 设计规则 35 GJC!0{8; 4.5 材料数据库和资料库 37 T2:oWjC3$ 4.5.1材料损失 38 < QDr,Hj 4.5.1材料数据库和导入材料 39 }fJ:wku 4.5.2 材料库 41 FDF3zzP0 4.5.3导出材料数据 43 g[EM]q, 4.6 常用单位 43 abROFI5.L 4.7 插值和外推法 46 !F+|Y"c 4.8 材料数据的平滑 50 K0O-WJ 4.9 更多光学常数模型 54 YY#s= 4.10 文档的一般编辑规则 55 smfG,TI 4.11 撤销和重做 56 nDHHYp 4.12 设计文档 57 7P/?wv9+n* 4.10.1 公式 58 'v\1:zi 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ,7^d9v3t 4.10.3 沉积密度 59 s[G|q5n 4.10.4 平行和楔形介质 60 ),cQUB 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 dGbU{#"3s 4.10.4 性能 61 AI1@- 4.10.5 保存设计和性能 64 [&h#iTRT 4.10.6 默认设计 64 +cz"`T`X 2 4.11 图表 64 cWN d<=Jp 4.11.1 合并曲线图 67 J3/\<=Qh 4.11.2 自适应绘制 68 jlu`lG*e& 4.11.3 动态绘图 68 r{t.c?/ 4.11.4 3D绘图 69 ,|T*|2Gm 4.12 导入和导出 73 jo9J%vo 4.12.1 剪贴板 73 k{gl^ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 =
n+q_.A 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Gw
~{V 4.13 背景 77 0+T*$=? 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 )KSisEL 4.15 生成Rugate 84 .S~@BI(|< 4.16 参考文献 91 j 0g5<M 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 i\t753<Ys 5.1 Jobs 92 h5L=M^z!> 5.2 创建一个新Job(工作) 93 |-~b$nUe 5.3 输入材料 94 BZovtm3E 5.4 设计数据文件夹 95 i&'#+f4t 5.5 默认设计 95 E]?)FH<oP 6 细化和合成 97 9@:BK;Fi 6.1 优化介绍 97 }1QI"M* 6.2 细化 (Refinement) 98 EzR%w*F>Q 6.3 合成 (Synthesis) 100 <RhOjZgyZ 6.4 目标和评价函数 101 PT3>E5`N u 6.4.1 目标输入 102 u?Fnlne4@ 6.4.2 目标 103 Y\.-v\uJu 6.4.3 特殊的评价函数 104 (C,e6r Y 6.5 层锁定和连接 104 iaY5JEV:CA 6.6 细化技术 104 60xa?8<cg 6.6.1 单纯形 105 'S =sj}X 6.6.1.1 单纯形参数 106 r
eGm> 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 h,^BC^VU9- 6.6.2.1 Optimac参数 108 TqIAWbb& 6.6.3 模拟退火算法 109 ?nQ_w0j 6.6.3.1 模拟退火参数 109 EJ1Bq>u7 6.6.4 共轭梯度 111 j]rXoV> 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 2zz,(RA 6.6.5 拟牛顿法 112 z8IPhE@ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ZAMeqPt 6.6.6 针合成 113 DhZ:#mM{ 6.6.6.1 针合成参数 114 GxxDY]! 6.6.7 差分进化 114 +wipfL~&S 6.6.8非局部细化 115 {S G* 6.6.8.1非局部细化参数 115 d:A}CBTSY 6.7 我应该使用哪种技术? 116 zJ5hvDmC 6.7.1 细化 116 85'nXYN{d 6.7.2 合成 117 rVY?6OMkd 6.8 参考文献 117 2z4<N2!M 7 导纳图及其他工具 118 ~e{H#*f&1/ 7.1 简介 118 `)T&~2n 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Re>AsnA[ 7.2.1 四分之一波长规则 119 S@x}QQ|. 7.2.2 导纳图 120 cgyp5\*>+ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 5L F/5` 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 WE0}$P: 7.5 斜入射导纳图 141 o7.e'1@ 7.6 对称周期 141 zJ;Rt9<7- 7.7 参考文献 142 c7\VTYT 8 典型的镀膜实例 143 ]nQ+nH 8.1 单层抗反射薄膜 145 e9&+vsRmA 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 _3/ec]1 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 wq UQ"d 8.4 W-膜层 148 6Opa{] 8.5 V-膜层 149 f-4.WW2FN 8.6 V-膜层高折射基底 150 P|N2R5(>T 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 C}q>YRubZ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 n@hl2M6.x9 8.9 四层抗反射薄膜 153 um7o !yg, 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 +Gow5-( 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 F|Q H 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 K/^
+eoW( 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 &f-hG3/M 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 UP2}q?4 8.15十五层宽带抗反射膜 159 wd/G|kNO 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 tmO`|tn& 8.17 1/4波长堆栈 162 ;\qXbL7 8.18 陷波滤波器 163 k^%2_H 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 zzJja/mp 8.20 褶皱 165 Fi4UaJ3K 8.21 消偏振分光器1 169 \:Za[6 8.22 消偏振分光器2 171 7NJFWz! 8.23 消偏振立体分光器 172 yoQ\lk 8.24 消偏振截止滤光片 173 x0A7O 8.25 立体偏振分束器1 174 9#qeFBI 8.26 立方偏振分束器2 177 &+01+-1hW 8.27 相位延迟器 178 zC=a3 8.28 红外截止器 179 je%l dY]/@ 8.29 21层长波带通滤波器 180 (Sv>NQp 8.30 49层长波带通滤波器 181 =xL )$DTg) 8.31 55层短波带通滤波器 182 jZd}OC< 8.32 47 红外截止器 183
uFG<UF 8.33 宽带通滤波器 184 bAEg$A 8.34 诱导透射滤波器 186 e\F}q)_ 8.35 诱导透射滤波器2 188 W\8Ln> 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 oh~:, 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 AOb]qc 8.35 增益平坦滤波器 193 :U'Cor
H 8.38 啁啾反射镜 1 196 or 2|O#= 8.39 啁啾反射镜2 198 7&U&E| 8.40 啁啾反射镜3 199 &^!h}D%T/ 8.41 带保护层的铝膜层 200 HbM0TXo 8.42 增加铝反射率膜 201 'c %S!$P 8.43 参考文献 202 6o=G8y 9 多层膜 204 wvN `R 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 BI/&dKM 9.2 内部透过率 204 Xj@+{uvQB 9.3 内部透射率数据 205 DMn4ll| 9.4 实例 206 eg<pa'Hw 9.5 实例2 210 7 ^$; 9.6 圆锥和带宽计算 212 @MbVWiv 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 d
~`V7B2Y 10 光学薄膜的颜色 216 t
Rm+? 10.1 导言 216 "35A/V 10.2 色彩 216 iPj~I 10.3 主波长和纯度 220 2eb1lJdS 10.4 色相和纯度 221 QJGKQ2^ n 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 gb" 4B%Hm 10.6 色差 226 4w93}t.z 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 !wE}(0BTx 10.8 颜色渲染指数 234 V
'.a)6 10.9 色差计算 235 *
F4UAQzYb 10.10 参考文献 236 !%)]56( 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 =qu(~]2( 11.1 短脉冲 238 b5a.go 11.2 群速度 239 FX}Gt= 11.3 群速度色散 241 8b(!k FxD 11.4 啁啾(chirped) 245 8sOQ9 11.5 光学薄膜—相变 245 *O~e
T 11.6 群延迟和延迟色散 246 =9wy/c$ 11.7 色度色散 246 6'vbT~S! 11.8 色散补偿 249 [?0d~Q(R# 11.9 空间光线偏移 256 !t#F/C 11.10 参考文献 258 vB'>[jvA| 12 公差与误差 260 bHE2,;o 12.1 蒙特卡罗模型 260 3=mr
"&]r: 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 K.~q+IYP[ 12.2.1 误差工具 267 WXw}^v 12.2.2 灵敏度工具 271 YHXLv#8 12.2.2.1 独立灵敏度 271 }baR5v 12.2.2.2 灵敏度分布 275 QzvHm1,@ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 8\.b4FNJ 12.3 参考文献 276 5GzFoy)j> 13 Runsheet 与Simulator 277 ~f\G68c 13.1 原理介绍 277 Z4b|| 13.2 截止滤光片设计 277 }H> ^o9 14 光学常数提取 289 c9"r6j2m5 14.1 介绍 289 zi@]83SS# 14.2 电介质薄膜 289 64>krmVIe 14.3 n 和k 的提取工具 295 <ABX0U[* 14.4 基底的参数提取 302 X{xBYZv4 14.5 金属的参数提取 306 W/$Zvl 14.6 不正确的模型 306 yLE7>48 14.7 参考文献 311 "R>FqX6FB 15 反演工程 313 4GdX/6C. 15.1 随机性和系统性 313 e'%v1-&sP 15.2 常见的系统性问题 314 Qn@Pd* DR 15.3 单层膜 314 MK#wut 15.4 多层膜 314 K<`osdp=& 15.5 含义 319 CNZ z]H 15.6 反演工程实例 319 D\dWt1n 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 AlE8Xu9UB 15.6.2 反演工程提取折射率 327 "hxN !,DEZ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 !E8X~DJ 16.1 光学性质的热致偏移 329 <7SpEVQ 16.2 应力工具 335 x!LQxoNF 16.3 均匀性误差 339 a8k; (/ 16.3.1 圆锥工具 339 [epi#]m 16.3.2 波前问题 341 GPz(j'jU 16.4 参考文献 343 W]M)Q}:Y 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 H,fZ!8(A_) 17.1 引言 345 i<kD 17.2 操作数 345 4fk8*{Y 18 如何在Function中编写脚本 351 58\&/lYW 18.1 简介 351 W&*f#E 18.2 什么是脚本? 351 klg25 #t 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 wI]"U2L5 18.4 基础 352 o1W:ox?kO 18.4.1 Classes(类别) 352 R'EUV0KX>Y 18.4.2 对象 352 %,Sf1fUJ 18.4.3 信息(Messages) 352 c0B|F 18.4.4 属性 352 voP7"Dl[ 18.4.5 方法 353 ('wY9kvL& 18.4.6 变量声明 353 <h%O?mkC 18.5 创建对象 354 poGc a1 18.5.1 创建对象函数 355 Nkxmm/Z 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ;<yd^Xs 18.5.3 丢弃对象 356 /Jf.y*; 18.5.4 总结 356 UcBe'r}G 18.6 脚本中的表格 357 aRG2@5 18.6.1 方法1 357 fkf1m:Ckh 18.6.2 方法2 357 +zXEYc 18.7 2D Plots in Scripts 358 *.L81er5~ 18.8 3D Plots in Scripts 359 N\:.
M 18.9 注释 360 ]f+ csB 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 "k]CW\H6z 18.11 一个更高级的脚本 362 ?]D"k4 18.12 <esc>键 364 yjfat&$ 18.13 包含文件 365 d>;&9;)H 18.14 脚本被优化调用 366 u6>?AW1~ 18.15 脚本中的对话框 368 }ci#> 18.15.1 介绍 368 HGm 3+, 18.15.2 消息框-MsgBox 368 (Yp+bS(PU* 18.15.3 输入框函数 370 nF6q7 18.15.4 自定义对话框 371 DXz}YIEC 18.15.5 对话框编辑器 371 -@T/b$]'n 18.15.6 控制对话框 377 [2"<W!p 18.15.7 更高级的对话框 380 Q+g!V5' 18.16 Types语句 384 r.4LU 18.17 打开文件 385 XsnF~)YW 18.18 Bags 387 foJdu+^ 18.13 进一步研究 388 Fx-8M! 19 vStack 389 626Z5Afg 19.1 vStack基本原理 389 ,-7R(iMd 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 (aD_zG=k5 19.3 五棱镜 393 KII *az 19.4 光束距离 396 V(Ub!n:j 19.5 误差 399 X]P:CY 19.6 二向分色棱镜 399 D9j3Xu 19.7 偏振泄漏 404 y|'SXM 19.8 波前误差—相位 405 p.LFVFPT 19.9 其它计算参数 405 @|Rrf*J?% 20 报表生成器 406 -_`>j~ 20.1 入门 406 0GJn_@hr 20.2 指令(Instructions) 406 ~gGZmTb 20.3 页面布局指令 406 `uC@nJ 20.4 常见的参数图和三维图 407 **}h&k&%2 20.5 表格中的常见参数 408 `FoxP 20.6 迭代指令 408 9K9DF1SOa 20.7 报表模版 408 *Z|y'<s 20.8 开始设计一个报表模版 409 xO-+i\ ZV 21 一个新的project 413 lo[.&GD 21.1 创建一个新Job 414 OE}*2P/M> 21.2 默认设计 415 wE~V]bmtW 21.3 薄膜设计 416 cReB~wk 21.4 误差的灵敏度计算 420 CiB%B`,N 21.5 显色指数计算 422 qK)73eNSR 21.6 电场分布 424 ]xuG&O"SBV 后记 426 J>/w5$h5 M)U{7c$c7 hiQha5 书籍名称:《Essential Macleod中文手册》 j?MAED .k,kTr$S 《Essential Macleod中文手册》 k+ze74_" )E~79! 目 录 L'F<ev ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 U\Z?taXB 第1章 介绍 ..........................................................1第2章 软件安装 ..................................................... 3 u9N 1pZ~ 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 ]Ux<aiY]a
第5章 软件结构 ............................................................... 21第6章 应用窗口 ................................................................. 44 t+eVR8 第7章 设计窗口 .................................................................. 62第8章 图形窗口 .................................................................. 100 P>Ez'C 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 {7)st
W 第11章 表格窗口 ................................................................. 116第12章 优化和综合 ..................................................................120 M@5?ZZ4L 第13章 材料管理 ........................................................................ 149第14章 多层膜 ........................................................................... 167 }mAa}{_ 第15章 分析和设计工具 ........................................................180第16章 逆向工程 ................................................................ 200 ELj\[&U 第17章 报告生成器 ............................................................. 208第18章 堆栈 ......................................................................... 213 uvrB5=u 第19章 功能扩展 .................................................................. 229第20章 运行表单 .................................................................... 251 /kfgx{jZ 第21章 模拟器 ...................................................................... 271第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 y~FV2$ 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 78/Zk}I] 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 uuQ(& 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 ;cQ6g`
bM\ 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 nJo`B4'U 有兴趣可以扫码加微联系 sQ
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