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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) .-0;:> BwN>;g_ 内容简介
Fs bX{ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 GsG9;6c+u 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 e+ZC<Bdh 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ?b&~(,A{ w Jb\Q 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 b,7@)sZ* 目录 ZUW~ZZ7Z: Preface 1 wkp|V{k 内容简介 2 9%VNzPzf 目录 i LAoX'^6 1 引言 1 -/s2' 2 光学薄膜基础 2 rdL>yT/A 2.1 一般规则 2 mB:I8g7 2.2 正交入射规则 3 m;v/(d> 2.3 斜入射规则 6 4I[g{S
nF 2.4 精确计算 7 !u}} V 2.5 相干性 8 fy|Ae 2.6 参考文献 10 05<MsxB"w 3 Essential Macleod的快速预览 10 -9 AI@^q 4 Essential Macleod的特点 32 y?|JBf 4.1 容量和局限性 33 _a"\g9{%* 4.2 程序在哪里? 33 z]NN ^pIa 4.3 数据文件 35 TT(dCHft 4.4 设计规则 35 }
r#by%P 4.5 材料数据库和资料库 37 ;tR,w
4.5.1材料损失 38 e3L<;MAt 4.5.1材料数据库和导入材料 39 XG5mfKMt+ 4.5.2 材料库 41 8: KlU(J 4.5.3导出材料数据 43 jocu=Se@ 4.6 常用单位 43 8bB'[gJ]{ 4.7 插值和外推法 46 ypuW}H%` 4.8 材料数据的平滑 50 4g.y$ 4.9 更多光学常数模型 54 T/V 5pYl 4.10 文档的一般编辑规则 55 Xegg2.Kk 4.11 撤销和重做 56 (wNL,<%~ 4.12 设计文档 57 F:8cd^d~u 4.10.1 公式 58 ~PT(/L 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 m|O7@N 4.10.3 沉积密度 59 BO b#9r 4.10.4 平行和楔形介质 60 W@^O'&3d 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 cTKj1)!z?X 4.10.4 性能 61 o3hsPzOQx 4.10.5 保存设计和性能 64 Os?`!1- 4.10.6 默认设计 64 e1dT~l 4.11 图表 64 * Yr)>;^ 4.11.1 合并曲线图 67 +fd^$Qd%K 4.11.2 自适应绘制 68 (8<U+)[tPy 4.11.3 动态绘图 68 )w8h2=l 4.11.4 3D绘图 69 r@3VN~ 4.12 导入和导出 73 zY<=r.m4 4.12.1 剪贴板 73 Ojx1IL 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 +h6cAqm] 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 |wKC9 O@% 4.13 背景 77 F*F
U[ 5 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 :[iWl8 4.15 生成Rugate 84 i#t)tM" 4.16 参考文献 91 _|x b)_ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 @)>9l& 5.1 Jobs 92 g4WN+y` 5.2 创建一个新Job(工作) 93 |0?h6 5.3 输入材料 94 8_MR7'C1hi 5.4 设计数据文件夹 95 "CdL?( 5.5 默认设计 95 n"dC]&G' 6 细化和合成 97 -hf)%o$ 6.1 优化介绍 97 )5r *2I 6.2 细化 (Refinement) 98 5MH\Gqe7 6.3 合成 (Synthesis) 100 !3{>
F" 6.4 目标和评价函数 101 NhyVX%qt: 6.4.1 目标输入 102 %aU4d
e^ 6.4.2 目标 103 /jQW4eW0 6.4.3 特殊的评价函数 104 W6t"n_%?" 6.5 层锁定和连接 104 Kb~s'cTxIO 6.6 细化技术 104 )+c4n] 6.6.1 单纯形 105 33lD`4i+ 6.6.1.1 单纯形参数 106 Iaf"j 2B 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 sO~:e?F 6.6.2.1 Optimac参数 108 YFD'&N,sx 6.6.3 模拟退火算法 109 Lrgv:n 6.6.3.1 模拟退火参数 109 }qlU 6.6.4 共轭梯度 111 n$Z@7r 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 AvdxDN 6.6.5 拟牛顿法 112 %D|27gh 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 dUOvv/,FZT 6.6.6 针合成 113 I"4j152P| 6.6.6.1 针合成参数 114 D!kv+<+ 6.6.7 差分进化 114 4oT1<n`r+ 6.6.8非局部细化 115 T8 k@DS 6.6.8.1非局部细化参数 115 'v.i' 6 6.7 我应该使用哪种技术? 116 w#wlZ1f 6.7.1 细化 116 A0sydUc 6.7.2 合成 117 |;o#-YosP 6.8 参考文献 117 f}g )3+i 7 导纳图及其他工具 118 E~5r8gM,0 7.1 简介 118 F gM<2$h 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 p#W[he 7.2.1 四分之一波长规则 119 0x!XE|7I 7.2.2 导纳图 120 ]%jlaXb 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 RwMK%^b 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 aJlSIw*Q, 7.5 斜入射导纳图 141 {yQeLION 7.6 对称周期 141 E(A7D XzbR 7.7 参考文献 142 +U9Gj# 8 典型的镀膜实例 143 ooY2"\o 8.1 单层抗反射薄膜 145 K^bzZa+a 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 _4iTP$7[ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 R{.5Z/Vp6E 8.4 W-膜层 148 r-
0BLq]~{ 8.5 V-膜层 149 il `O*6- 8.6 V-膜层高折射基底 150 $F-qqkR$ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 |><hdBQXX< 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Q.Hy"~ 8.9 四层抗反射薄膜 153 w}VS mt$F 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 j?D=Ij"o 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 BRF=TL5Z 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 EotZ$O= 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 m`!C|?hu 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 }R:e[lKj 8.15十五层宽带抗反射膜 159 }:C4T*| 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 )NJD+yQ% 8.17 1/4波长堆栈 162 ]Ln2|$R 8.18 陷波滤波器 163 :IDD(<^9 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ucQ2/B#'4l 8.20 褶皱 165 8MgoAX,p 8.21 消偏振分光器1 169 _7>$'V{ 8.22 消偏振分光器2 171 4*W ??(=j 8.23 消偏振立体分光器 172 p_S8m|% 8.24 消偏振截止滤光片 173 hW[/{2<@ 8.25 立体偏振分束器1 174 l`8S1~j 8.26 立方偏振分束器2 177 rH7|r\] r 8.27 相位延迟器 178 4jefU}e9# 8.28 红外截止器 179 %E Jv!u*- 8.29 21层长波带通滤波器 180 sh(G{Yz@ 8.30 49层长波带通滤波器 181 |>a sGP 8.31 55层短波带通滤波器 182 .C(Ir 8.32 47 红外截止器 183 N*w/\| 8.33 宽带通滤波器 184 u5^fiw]C 8.34 诱导透射滤波器 186 A\Rkt;: 8.35 诱导透射滤波器2 188 ko\VDyt, 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ,<n >g; 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 DK 4 8 8.35 增益平坦滤波器 193 mY?^]3-_ 8.38 啁啾反射镜 1 196 =zBcfFii`w 8.39 啁啾反射镜2 198 8<ZxE(v 8.40 啁啾反射镜3 199 }I<r=? 8.41 带保护层的铝膜层 200 ;Ut0tm 8.42 增加铝反射率膜 201 WCT}OiLsL 8.43 参考文献 202 r#
MJ 9 多层膜 204 S05+G}[$ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 rlr)n\R# 9.2 内部透过率 204 ScU?T<u:i 9.3 内部透射率数据 205 0FmYM@Wc 9.4 实例 206 T!e]= 9.5 实例2 210 U8L%=/N>B 9.6 圆锥和带宽计算 212 hI*gw3V 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 PPO*&=!] 10 光学薄膜的颜色 216 @Z> {/ 10.1 导言 216 ~ *RG|4# 10.2 色彩 216 j*@^O`^v 10.3 主波长和纯度 220 eAN]*:]g 10.4 色相和纯度 221 yi*)g0M 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 '"&M4.J{ 10.6 色差 226 ]s-;*o\H 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 .g71?^?( 10.8 颜色渲染指数 234 "Mzb 10.9 色差计算 235 Rhh5r0 \5 10.10 参考文献 236 f tW- 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 S~L$sqt 11.1 短脉冲 238 [:<CgU9C 11.2 群速度 239 7YT%.ID 11.3 群速度色散 241 zhtNL_ 11.4 啁啾(chirped) 245 ]V*s-och' 11.5 光学薄膜—相变 245 mxk :P 11.6 群延迟和延迟色散 246 gSQq 11.7 色度色散 246 vI3L <[W 11.8 色散补偿 249 0o~? ]C 11.9 空间光线偏移 256 9x@( K| 11.10 参考文献 258 0nUcUdIf+ 12 公差与误差 260 6L[ Yn?; 12.1 蒙特卡罗模型 260 NrH2U Jm 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 yJ*`OU# 12.2.1 误差工具 267 d_s=5+Yj 12.2.2 灵敏度工具 271 ApHs`0=( 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Z5iP1/&D 12.2.2.2 灵敏度分布 275 i]&C=X 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Zp@j*P 12.3 参考文献 276 R:c$f(aKv% 13 Runsheet 与Simulator 277 U;QTA8|!& 13.1 原理介绍 277 ggQ/_F8u 13.2 截止滤光片设计 277 Q\.~cIw_AQ 14 光学常数提取 289 Cw7
07 14.1 介绍 289 F]]1>w*/0 14.2 电介质薄膜 289 yh0zW
$ 14.3 n 和k 的提取工具 295 {FRUB(68b 14.4 基底的参数提取 302 |Iei!jm 14.5 金属的参数提取 306 ~I[Z2&I 14.6 不正确的模型 306 8,iBG! RF 14.7 参考文献 311 278:5yC 15 反演工程 313 Q@]~O- 15.1 随机性和系统性 313 nvY3$ Ty 15.2 常见的系统性问题 314 T
DOOq;+ 15.3 单层膜 314 'J\nvNm 15.4 多层膜 314 {8+FxmH 15.5 含义 319 52Sq;X 15.6 反演工程实例 319 +KV?W+g)` 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 |R$V[ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 .j"iJ/ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 :[![9JS/ 16.1 光学性质的热致偏移 329 Ze+p;v 16.2 应力工具 335 cV]c/*zA 16.3 均匀性误差 339 1;_tu 16.3.1 圆锥工具 339 ptJ58U$Bb
16.3.2 波前问题 341 S -$ L2N 16.4 参考文献 343 E D0\k $ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 <12 ia"} 17.1 引言 345 0u[Vd:()v( 17.2 操作数 345 MLD1%* &0 18 如何在Function中编写脚本 351 (gW#T\Eln 18.1 简介 351 A|jmp~@K)+ 18.2 什么是脚本? 351 2to~=/. 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 9! 'qLO 18.4 基础 352 :
:;YS9e 18.4.1 Classes(类别) 352 }%e"A4v 18.4.2 对象 352 yM* CA,(c 18.4.3 信息(Messages) 352 WcRTv"4& 18.4.4 属性 352 /QuuBtp 18.4.5 方法 353 VF#2I%R* 18.4.6 变量声明 353 F)fCj^zL 18.5 创建对象 354 O7<- - 18.5.1 创建对象函数 355 B%y?+4;zA 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 q8DSKi 18.5.3 丢弃对象 356 MU_8bK9m 18.5.4 总结 356 2ed4xhV 18.6 脚本中的表格 357 E2.@zY|: 18.6.1 方法1 357 GSlvT:k 18.6.2 方法2 357 Ml-GAkgG 18.7 2D Plots in Scripts 358 .`w[A 18.8 3D Plots in Scripts 359 _#f+@)vR 18.9 注释 360 ?a)X)#lQ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 9gWR djK: 18.11 一个更高级的脚本 362 S
^5EG;[ 18.12 <esc>键 364 <HYK9{Q 18.13 包含文件 365 Oe#*- 18.14 脚本被优化调用 366 >.sdLA Si 18.15 脚本中的对话框 368 Z]L_{=* 18.15.1 介绍 368 Z\1*g k 18.15.2 消息框-MsgBox 368 cXcrb4IKD 18.15.3 输入框函数 370 R\i8O^[ 18.15.4 自定义对话框 371 !u)>XS^E 18.15.5 对话框编辑器 371 FE'|wf 18.15.6 控制对话框 377 He&7(mQ0^ 18.15.7 更高级的对话框 380 U2hPsF4f 18.16 Types语句 384 YgiLfz iT 18.17 打开文件 385 YJ6y]r
K2, 18.18 Bags 387 m!'moumL; 18.13 进一步研究 388 .~3s~y*s 19 vStack 389 oc|%|pmRd< 19.1 vStack基本原理 389 z2.9l?"rfQ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 2Ra}&ie 19.3 五棱镜 393 30BFwNE 19.4 光束距离 396 Pn?,56SD= 19.5 误差 399 B|fh 4FNy 19.6 二向分色棱镜 399 $m
hIXA. 19.7 偏振泄漏 404 <R;t>~8x 19.8 波前误差—相位 405 AiF'*!1 19.9 其它计算参数 405 ejFGeR 20 报表生成器 406 jH5VrN*Q 20.1 入门 406 h4iz(* 20.2 指令(Instructions) 406 rofGD9f
20.3 页面布局指令 406 A'zXbp:% 20.4 常见的参数图和三维图 407 2`Dqu"TWh 20.5 表格中的常见参数 408 U{`Q_Uw@$: 20.6 迭代指令 408 m2{DLw". 20.7 报表模版 408 v0aV>-v 20.8 开始设计一个报表模版 409 l_q=@y 21 一个新的project 413 ]J '#KT{ 21.1 创建一个新Job 414 uGoySt&;( 21.2 默认设计 415 R>C^duos. 21.3 薄膜设计 416 jV|j]m&t 21.4 误差的灵敏度计算 420 l-v(~u7 21.5 显色指数计算 422 *UerLpf 21.6 电场分布 424 _N @h 后记 426 Z&Qz"V>$ w=;Jj7}L D4G*Wz8 书籍名称:《Essential Macleod中文手册》 av8\?xmo.$ 7A,lQh 《Essential Macleod中文手册》 1(YEOZ
nt:d,H<p 目 录 DN X-\ ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 7u=R5 第1章 介绍 ..........................................................1第2章 软件安装 ..................................................... 3
t@#l0lu$ 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 78MQoG< 第5章 软件结构 ............................................................... 21第6章 应用窗口 ................................................................. 44 j@o
\d%.'! 第7章 设计窗口 .................................................................. 62第8章 图形窗口 .................................................................. 100 @CB&*VoB 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 i"_@iN0N 第11章 表格窗口 ................................................................. 116第12章 优化和综合 ..................................................................120 .%"s|
D 第13章 材料管理 ........................................................................ 149第14章 多层膜 ........................................................................... 167 W'xJh0o 第15章 分析和设计工具 ........................................................180第16章 逆向工程 ................................................................ 200 `w(~[`F t 第17章 报告生成器 ............................................................. 208第18章 堆栈 ......................................................................... 213 ):L ; P) 第19章 功能扩展 .................................................................. 229第20章 运行表单 .................................................................... 251 <E&8g[x6 第21章 模拟器 ...................................................................... 271第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 P}re"<MD 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 \RF{ITV$kD 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 l ~C=yP(~ 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 J1\H^gyW) 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 C f(g 有兴趣可以扫码加微联系 9 *+X^q'
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