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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) 5]'iSrp EHo"y.ODg 内容简介 o"'VI4 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 D8Ni=.ALL 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 O7rm( 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 %>24.i"l u45e>F= 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 r>osa3N' 目录 bM;tQ38* Preface 1 .l#Pmd! 内容简介 2 D:.^]o[
目录 i mv30xcc 1 引言 1 )NyGV!Zuu 2 光学薄膜基础 2 Zsf<)Vx 2.1 一般规则 2 ugMJ}IGq 2.2 正交入射规则 3 QW~o+N~~ 2.3 斜入射规则 6 +.>O%pNj 2.4 精确计算 7 KZD&Ih(vC 2.5 相干性 8 M5P63=1+ 2.6 参考文献 10 uOougSBV, 3 Essential Macleod的快速预览 10 hi.{ 4 Essential Macleod的特点 32 @?gH3Y_ 4.1 容量和局限性 33 XtQ3$0{*% 4.2 程序在哪里? 33 e@F&/c 4.3 数据文件 35 y/kCzDT, 4.4 设计规则 35 Zc%S`zK`7 4.5 材料数据库和资料库 37 uy`U1> 4.5.1材料损失 38 J!yc9Q 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Ww8C![ , 4.5.2 材料库 41 #2cH.`ty 4.5.3导出材料数据 43 xn6E f" 4.6 常用单位 43 6E_YQbdy 4.7 插值和外推法 46 [3/P
EDkw 4.8 材料数据的平滑 50 %81tVhg 4.9 更多光学常数模型 54 aD3$z;E 4.10 文档的一般编辑规则 55 lXB_HDY 4.11 撤销和重做 56 b_wb!_ 4.12 设计文档 57 tQ|b?3 4.10.1 公式 58 IM
+Dm 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 HkrNh>^= 4.10.3 沉积密度 59 poXkH@[O 4.10.4 平行和楔形介质 60 sPd5f2' 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 6j`
waK 4.10.4 性能 61 A= ,q& 4.10.5 保存设计和性能 64
;$|+H"g| 4.10.6 默认设计 64 tQwbIX-7/ 4.11 图表 64 ~zRW*pd 4.11.1 合并曲线图 67 qqkZbsN 4.11.2 自适应绘制 68 V8,$<1Fi;- 4.11.3 动态绘图 68 R[_7ab]A 4.11.4 3D绘图 69 Gg-<3z 4.12 导入和导出 73 ^2=Jv.2{| 4.12.1 剪贴板 73 +vYm: 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 m{V@Om 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 )<3WVvB 4.13 背景 77 # ^%'*/z 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 +}^}
<|W6 4.15 生成Rugate 84 B}?/oZW4 4.16 参考文献 91 $@K+yOq+u 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 kdoE)C 5.1 Jobs 92 c)Y I3G$ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 j" YJ1R-5 5.3 输入材料 94 w$&10 5.4 设计数据文件夹 95 Y
%<B, 3 5.5 默认设计 95 ! Noabt 6 细化和合成 97 ^ro?.,c T 6.1 优化介绍 97 jMw;`yh 6.2 细化 (Refinement) 98 w5&UG/z%l 6.3 合成 (Synthesis) 100 b LxV 6.4 目标和评价函数 101 .t~I[J\< 6.4.1 目标输入 102 G LE`ba 6.4.2 目标 103 <p<gx*% 6.4.3 特殊的评价函数 104 1p{\jCi,2 6.5 层锁定和连接 104 Kh5:+n_X 6.6 细化技术 104 Rf8|-G-}# 6.6.1 单纯形 105 SJy? ^ 6.6.1.1 单纯形参数 106 ?m~;*wn% 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 6.By)L 6.6.2.1 Optimac参数 108 QY{f= 6.6.3 模拟退火算法 109 C6/,-?%) 6.6.3.1 模拟退火参数 109 2&=;$2?} 6.6.4 共轭梯度 111 : ;d&m 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 "@Te!.~A. 6.6.5 拟牛顿法 112 sA`
bPh k 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Yq2mVo 6.6.6 针合成 113 9MGA#a 6.6.6.1 针合成参数 114 35c9c(A 6.6.7 差分进化 114 6*]Kow? 6.6.8非局部细化 115 zlXkD~GV 6.6.8.1非局部细化参数 115 jo"[$%0` 6.7 我应该使用哪种技术? 116 bJe^x;J9 6.7.1 细化 116 np)-Yzr 6.7.2 合成 117 #b{otc) 6.8 参考文献 117 .JH3,L"S^ 7 导纳图及其他工具 118 a?D\H5TF- 7.1 简介 118 Z9! goI 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 .oSKSld 7.2.1 四分之一波长规则 119 o+q5:vJt 7.2.2 导纳图 120 SmtH2%y I 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ,a?em'= 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 sG^b_3o)A 7.5 斜入射导纳图 141 S&]JY 7.6 对称周期 141 c| p
eRO. 7.7 参考文献 142 `;i|
%$TU 8 典型的镀膜实例 143 <27e7H*6 8.1 单层抗反射薄膜 145 (]iw#m{ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
wN*e6dOF 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 0gt/JI($ 8.4 W-膜层 148 5V%K'a( 8.5 V-膜层 149 rl6vt*g 8.6 V-膜层高折射基底 150 snN1 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 w0Us8JNGz 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 a+J :1' 8.9 四层抗反射薄膜 153 *y`^Fc 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 X1A;MA@0Ro 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 -;Hd_ ~O>j 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 G\Sd!'?p 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
W_kJb 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 BT`6v+,h7k 8.15十五层宽带抗反射膜 159 (}Gl'.>\M 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 8n2*z 8.17 1/4波长堆栈 162 ]YwIuz6 ] 8.18 陷波滤波器 163 8U=M.FFp 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 2{{M{#}S. 8.20 褶皱 165 mu:Q2t^ 8.21 消偏振分光器1 169 SX*os$ 8.22 消偏振分光器2 171 SHhg&~B 8.23 消偏振立体分光器 172 ko ~iDT 8.24 消偏振截止滤光片 173 TmO\!` 8.25 立体偏振分束器1 174 FJ#V"|} 8.26 立方偏振分束器2 177 LsBDfp5/ 8.27 相位延迟器 178 d~28!E+ 8.28 红外截止器 179 NO6. qWl 8.29 21层长波带通滤波器 180 ~;U!? 8.30 49层长波带通滤波器 181 {Y\hr+A 8.31 55层短波带通滤波器 182 OPKm^} 8.32 47 红外截止器 183 >Z>*Iz,LP 8.33 宽带通滤波器 184 sRY: 7>eg 8.34 诱导透射滤波器 186 M*0&3Y
Z 8.35 诱导透射滤波器2 188 m*[" 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 R=8!]Oi6 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 MR8-xO'w 8.35 增益平坦滤波器 193 ,g^Bu{? 8.38 啁啾反射镜 1 196 EStHl(DUPq 8.39 啁啾反射镜2 198 /&ph-4\i 8.40 啁啾反射镜3 199 E%+V\ W% 8.41 带保护层的铝膜层 200 rLP4l~V 8.42 增加铝反射率膜 201 ]>:%:-d6 8.43 参考文献 202 J!S3pS5j 9 多层膜 204 0Z9jlwcQ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 pz-`Tp w 9.2 内部透过率 204 l`,`N+FG 9.3 内部透射率数据 205 !%5{jO1 9.4 实例 206 }V9146 9.5 实例2 210 d9sgk3K 9.6 圆锥和带宽计算 212 <2,@rYe/ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ]4hXK!^Uu 10 光学薄膜的颜色 216 iiRK3m 10.1 导言 216 YM#XV*P0 q 10.2 色彩 216 )vPce 10.3 主波长和纯度 220 AV%Q5Mi} 10.4 色相和纯度 221 [IW@mn> 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 >} aykz*g 10.6 色差 226 >)5rOU 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 d(fgv 10.8 颜色渲染指数 234 t,MK#Ko 10.9 色差计算 235 5X~ko> 10.10 参考文献 236 a^sR?.+3 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 TTqOAo[-Z 11.1 短脉冲 238 b6NttY!3 11.2 群速度 239 f+/^1~^ 11.3 群速度色散 241 L@G)K 11.4 啁啾(chirped) 245 Jr1^qY`0+ 11.5 光学薄膜—相变 245 ,PIdPaV-- 11.6 群延迟和延迟色散 246 9Z#37) 11.7 色度色散 246 !3T x\a`?/ 11.8 色散补偿 249 0.+iVOz+Y 11.9 空间光线偏移 256 P.[>x 11.10 参考文献 258 2RM1-j
($ 12 公差与误差 260 /$q;-/DnTZ 12.1 蒙特卡罗模型 260 3V,X= 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ~2"|4 12.2.1 误差工具 267 kZn!]TseN 12.2.2 灵敏度工具 271 ]enqkiS 12.2.2.1 独立灵敏度 271 5B98}N 12.2.2.2 灵敏度分布 275 rj{'X / 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 N ~LR 12.3 参考文献 276 _I'O4s1S 13 Runsheet 与Simulator 277 |,yS>kjp 13.1 原理介绍 277 i%\nJs* 13.2 截止滤光片设计 277 4+ 4?0R 14 光学常数提取 289 /M'b137 14.1 介绍 289 [N$@nA-d 14.2 电介质薄膜 289 ,lN!XP{M6w 14.3 n 和k 的提取工具 295 mexI} 14.4 基底的参数提取 302 uCUBs(iD 14.5 金属的参数提取 306 VUx~Y'b 14.6 不正确的模型 306 fA+M/}= 14.7 参考文献 311 jCa{WV:K} 15 反演工程 313 )3u[btm 15.1 随机性和系统性 313 {fX4 15.2 常见的系统性问题 314 [NKWudq 15.3 单层膜 314 Rl S=^}> 15.4 多层膜 314 wOa_" 15.5 含义 319 83<kaeu,^ 15.6 反演工程实例 319 4&&j7$aV 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 NgH% 15.6.2 反演工程提取折射率 327 `Cb$8;)z 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 |E?%Cj^W 16.1 光学性质的热致偏移 329 bz>#}P=58G 16.2 应力工具 335 fnXl60C% 16.3 均匀性误差 339 #}jf TM 16.3.1 圆锥工具 339 4Uwt--KtFh 16.3.2 波前问题 341 AV8TP-Ls+ 16.4 参考文献 343 xt`znNN 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 zZE?G:isR 17.1 引言 345 c=|
a \\ 17.2 操作数 345 TZHqn6 18 如何在Function中编写脚本 351 0,/[r/=jT 18.1 简介 351 ' u0{h 18.2 什么是脚本? 351 /
Sp+MB9 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Dxu)by 18.4 基础 352 n09|Jzv9 18.4.1 Classes(类别) 352 QeQbO 18.4.2 对象 352 #Io#OG<7b 18.4.3 信息(Messages) 352 N;D+]_;0| 18.4.4 属性 352 ]_-$ 18.4.5 方法 353 A"P1B] 18.4.6 变量声明 353 LpF6e9V\Wp 18.5 创建对象 354 1yE~#KpH 18.5.1 创建对象函数 355 $~9U-B\ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 I5D\Z 18.5.3 丢弃对象 356 w$t2Hd 18.5.4 总结 356
9PR&/Q
F5 18.6 脚本中的表格 357 RhDa`kV%t 18.6.1 方法1 357 "<.b=mN- 18.6.2 方法2 357 S63L>p|ml 18.7 2D Plots in Scripts 358 UcK!v*3E 18.8 3D Plots in Scripts 359 XM_S" 18.9 注释 360 6!gGWn5>} 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 f|apk,o_ 18.11 一个更高级的脚本 362 }- +;{u 18.12 <esc>键 364 <4>6k7W 18.13 包含文件 365 N4D_ 43jz 18.14 脚本被优化调用 366 5N[Y2 18.15 脚本中的对话框 368 3g6R<Ez 18.15.1 介绍 368 t>b^S, 18.15.2 消息框-MsgBox 368 "5YsBih 18.15.3 输入框函数 370 CP?\'a"Kt 18.15.4 自定义对话框 371 {wMCo, 18.15.5 对话框编辑器 371 ^^%*2^ 18.15.6 控制对话框 377 Vj:PNt[ 18.15.7 更高级的对话框 380 \[8I5w- 18.16 Types语句 384 Z> &PM06
18.17 打开文件 385 lca.(3u 18.18 Bags 387 ]9x30UXLwD 18.13 进一步研究 388 RSkpf94` 19 vStack 389 -BjB>Vt 19.1 vStack基本原理 389 4b<:67
% 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 j5RMS V 19.3 五棱镜 393 *vj5J"Y(;t 19.4 光束距离 396 ,qr)}s- 19.5 误差 399 k,&W5zBKe 19.6 二向分色棱镜 399 9^}GUJy? 19.7 偏振泄漏 404 Nd( $s[ 19.8 波前误差—相位 405 >o[T#U 19.9 其它计算参数 405 ]IoS-)$Z/ 20 报表生成器 406 g:*yjj 20.1 入门 406 /Ia#udkNMp 20.2 指令(Instructions) 406 1o$<pZZ 20.3 页面布局指令 406 _=cMa's 20.4 常见的参数图和三维图 407 .jRXHrK; 20.5 表格中的常见参数 408 wv*r}{%7g[ 20.6 迭代指令 408 |E}N8\Gr 20.7 报表模版 408 ",K6zALJ 20.8 开始设计一个报表模版 409 `@:^(sMo 21 一个新的project 413 G.BqT\ o' 21.1 创建一个新Job 414 /Db~-$K 21.2 默认设计 415
4f/8APA 21.3 薄膜设计 416 LOOv8'%O8 21.4 误差的灵敏度计算 420 @ 8SYV}0H 21.5 显色指数计算 422 a(<nk5 21.6 电场分布 424 irL ehPX9 后记 426 au#IA gFW1Nm_DJ :oZ30} 书籍名称:《Essential Macleod中文手册》 6x.#K9@q4 <4VUzgX2 《Essential Macleod中文手册》 C f<,\Aav /]vg_&)= 目 录 mH8"k+k ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 {0[qERj"z 第1章 介绍 ..........................................................1第2章 软件安装 ..................................................... 3 7.]xcJmt>' 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 !e%#Zb
MIo 第5章 软件结构 ............................................................... 21第6章 应用窗口 ................................................................. 44 \K>6-0r| 第7章 设计窗口 .................................................................. 62第8章 图形窗口 .................................................................. 100 [g%oo3`A 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 s^E%Ukm 第11章 表格窗口 ................................................................. 116第12章 优化和综合 ..................................................................120 W;o\}irep 第13章 材料管理 ........................................................................ 149第14章 多层膜 ........................................................................... 167 :,cSEST 第15章 分析和设计工具 ........................................................180第16章 逆向工程 ................................................................ 200 2'/ ip@ 第17章 报告生成器 ............................................................. 208第18章 堆栈 ......................................................................... 213 uODpIxN 第19章 功能扩展 .................................................................. 229第20章 运行表单 .................................................................... 251 .lj\H 第21章 模拟器 ...................................................................... 271第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 0t<TZa]V 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 0/),ylCj 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 g Ts5xDvJ 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 WSh+5](: 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 "Z,'NL>& 有兴趣可以扫码加微联系 @(ev``L5g
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