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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) 7.`:Z_ e`Vb.E) 内容简介 l<=Y.P_2 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 uPveAK}h 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 \*k}RKDwT 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 &Ew{ {t;" 7Q3a0`Iq 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 =dTsGNz 目录 e|jmOYWG Preface 1 6l-V%3- 内容简介 2 .YcI . 目录 i WaYT7 : 1 引言 1 Erd)P 2 光学薄膜基础 2 S,~DA3 2.1 一般规则 2 [<p7'n3x 2.2 正交入射规则 3 Pf?y!dK< 2.3 斜入射规则 6 vTY+J$N__ 2.4 精确计算 7 Km9Y_`? 2.5 相干性 8 `8rInfV 2.6 参考文献 10 R#UcwX}o 3 Essential Macleod的快速预览 10 0755;26Bx 4 Essential Macleod的特点 32 *Af:^>mh 4.1 容量和局限性 33 {(MC]]'? 4.2 程序在哪里? 33 8rx"D`{| 4.3 数据文件 35 W4~:3Sk 4.4 设计规则 35 c3$h-M(jVJ 4.5 材料数据库和资料库 37 (( D*kd" 4.5.1材料损失 38 :RE.m d 4.5.1材料数据库和导入材料 39 4PzCm k 4.5.2 材料库 41 HKZD*E(( 4.5.3导出材料数据 43 !9knFt43 4.6 常用单位 43 Mk~]0d 4.7 插值和外推法 46 r|>a;nY 4.8 材料数据的平滑 50 :L!O/Bd8V 4.9 更多光学常数模型 54 B5Y
3GWhrx 4.10 文档的一般编辑规则 55 Dtw1q- 4.11 撤销和重做 56 5VG[FY6Pl 4.12 设计文档 57 &hb:~> 4.10.1 公式 58 %8a886;2 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 !$i*u-%4 4.10.3 沉积密度 59 ]c'12 g]h 4.10.4 平行和楔形介质 60 SuU_psF
4.10.5 渐变折射率和散射层 60 lSzLR~=Au 4.10.4 性能 61 [j]3='2}G 4.10.5 保存设计和性能 64 |3A/Og 4.10.6 默认设计 64 sw'?&:<"Ow 4.11 图表 64 ]%y3*N@AZ 4.11.1 合并曲线图 67 Y]SX2kk(2 4.11.2 自适应绘制 68 ]_ WB^ 4.11.3 动态绘图 68 NlS/PWc6( 4.11.4 3D绘图 69 =E?!!EIq. 4.12 导入和导出 73 ;/Z9M"!u[ 4.12.1 剪贴板 73 L-T3{I,3 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 (79y!&9p 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 }yfSF|\ 4.13 背景 77 l12_&o"C~ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 %ur_DQ 4.15 生成Rugate 84 K9YD)351t 4.16 参考文献 91 !5;A.f 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 -!k$ Z 5.1 Jobs 92 Q8kdX6NMd& 5.2 创建一个新Job(工作) 93 K2u$1OKv 5.3 输入材料 94 ;QA`2$Ow 5.4 设计数据文件夹 95 UE[5Bw?4X 5.5 默认设计 95 `T
gwa 6 细化和合成 97 ^" EsBt 6.1 优化介绍 97 zIyMq3 6.2 细化 (Refinement) 98 0=2D90 6.3 合成 (Synthesis) 100 MifPZQ 6.4 目标和评价函数 101 dvAvG.;U 6.4.1 目标输入 102 ;;9W/m~] 6.4.2 目标 103 %6vf~oG 6.4.3 特殊的评价函数 104 Uo!#p'<w)p 6.5 层锁定和连接 104 &{Zt(%\ ' 6.6 细化技术 104 YB^[HE\#y 6.6.1 单纯形 105 f<`is+" 6.6.1.1 单纯形参数 106 j}2,|9ne 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 {q[l4_ 6.6.2.1 Optimac参数 108 *[-% .=[7 6.6.3 模拟退火算法 109 %YI Xk1 6.6.3.1 模拟退火参数 109 CO`%eL~ 6.6.4 共轭梯度 111 2&f]v`|M| 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 VZ`L-P$AF 6.6.5 拟牛顿法 112 OKo39 A\fu 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 yj6o533o 6.6.6 针合成 113 3=reN6Q 6.6.6.1 针合成参数 114 d Q5_=(9 6.6.7 差分进化 114 fI5]ed eS 6.6.8非局部细化 115 vakAl; 6.6.8.1非局部细化参数 115 Jzg>Y?jN R 6.7 我应该使用哪种技术? 116 "gcHcboU5$ 6.7.1 细化 116 8JP{`) 6.7.2 合成 117 "pDwN$c 6.8 参考文献 117 B>hC8^.S|w 7 导纳图及其他工具 118 )}-,4Iu% 7.1 简介 118 k}5Sz 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 SD "' 7.2.1 四分之一波长规则 119 j{i3lGaN 7.2.2 导纳图 120 .#M' 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 V'XmMn)! 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 G d".zsn 7.5 斜入射导纳图 141 [7Yfv
Xp 7.6 对称周期 141 k* ayzg3F> 7.7 参考文献 142 %6\e_y% 8 典型的镀膜实例 143 DriJn`vtzq 8.1 单层抗反射薄膜 145 E^:8Jehq 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 }/ p>DMN 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 vPm&0,R*y: 8.4 W-膜层 148 %nTgrgS(= 8.5 V-膜层 149 %Ts6M,Fpp 8.6 V-膜层高折射基底 150 R. sRH/6 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ,cbCt 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 `CWI%V 8.9 四层抗反射薄膜 153 %_rdO(
8.10 Reichert抗反射薄膜 154 3;wAm/Z:Q 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 p[Pa(a,B7 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ionFPc]. 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 wj-=#gyAoo 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 e/pZLj]M 8.15十五层宽带抗反射膜 159 He#5d!cf:M 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 V
&K:~[ M 8.17 1/4波长堆栈 162 OJ (ho&(( 8.18 陷波滤波器 163 jE
/pba4R 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 u!=9.3 8.20 褶皱 165 7oj
^(R, 8.21 消偏振分光器1 169 sD|P*ir 8.22 消偏振分光器2 171 #J1vN]g 8.23 消偏振立体分光器 172 z=}@aX[ 8.24 消偏振截止滤光片 173 v"y0D 8.25 立体偏振分束器1 174 n+C]&6-b 8.26 立方偏振分束器2 177 5pF4{Jd1 8.27 相位延迟器 178 'W!N1W@ 8.28 红外截止器 179 T6gugDQ~. 8.29 21层长波带通滤波器 180 OLThi[Yn 8.30 49层长波带通滤波器 181 G~SgI>Q 8.31 55层短波带通滤波器 182 g_kR5Wxpt 8.32 47 红外截止器 183 ::k>V\; 8.33 宽带通滤波器 184 3 34UMH__ 8.34 诱导透射滤波器 186 ^6tcB* #A 8.35 诱导透射滤波器2 188 HgHhc&- 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 E\3fL"lM 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 [(Z sQK 8.35 增益平坦滤波器 193 *Y4h26 8.38 啁啾反射镜 1 196 ^
:%"Z& 8.39 啁啾反射镜2 198 s:_M+_7_ 8.40 啁啾反射镜3 199 K4]42# 8.41 带保护层的铝膜层 200 ikr|P&e#u 8.42 增加铝反射率膜 201 dQ&S&SW 8.43 参考文献 202 c4]/{!4 Q 9 多层膜 204 Who7{|M\' 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 OQ[E-%v1 R 9.2 内部透过率 204 +~gqPk 9.3 内部透射率数据 205 .~)[> 9.4 实例 206 K"p$ga{ 9.5 实例2 210 f.V1 9.6 圆锥和带宽计算 212 >(v%"04|e 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 >d.o1< 10 光学薄膜的颜色 216 G#V}9l8Q 10.1 导言 216 aBo8?VV]8 10.2 色彩 216 q+A^JjzT 10.3 主波长和纯度 220 $~h\8 10.4 色相和纯度 221 3Uzb]D~u 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 n5nV461U 10.6 色差 226 G~,K$z/-l 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 2h<{~; 10.8 颜色渲染指数 234 5hNjJqu 10.9 色差计算 235 K\Oz
~,z 10.10 参考文献 236 4vri=P 2% 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 h'{}eYb+ 11.1 短脉冲 238 5F@7A2ZR 11.2 群速度 239 9fk@C /$ 11.3 群速度色散 241 JNQiCK,)}M 11.4 啁啾(chirped) 245 5k0r{^#M 11.5 光学薄膜—相变 245 ]dZ8]I<$C 11.6 群延迟和延迟色散 246 ;aZ$qgN*Y 11.7 色度色散 246 s%tPGjMq 11.8 色散补偿 249 E0K'|* 11.9 空间光线偏移 256 zdDn.
vG 11.10 参考文献 258 71AR)6<R 12 公差与误差 260 %GRD3S
12.1 蒙特卡罗模型 260 wzX
1!? 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 "=cWcztiP 12.2.1 误差工具 267 "][MCVYP 12.2.2 灵敏度工具 271 d/Q}I[J.u 12.2.2.1 独立灵敏度 271 uZsm=('ww 12.2.2.2 灵敏度分布 275 :D-xa!7 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 nC^|83 12.3 参考文献 276 C4Pi6.wf 13 Runsheet 与Simulator 277 F_8nxQ- 13.1 原理介绍 277 EJ$- 13.2 截止滤光片设计 277 ;^5d^-T 14 光学常数提取 289 l0cws`V 14.1 介绍 289 4"$K66yk@ 14.2 电介质薄膜 289 hFORs.L&G 14.3 n 和k 的提取工具 295 ahagt9[,:F 14.4 基底的参数提取 302 C-@ 14.5 金属的参数提取 306 %w
<59d6 14.6 不正确的模型 306 al/3$0#U 14.7 参考文献 311 s1,kTde 15 反演工程 313 7%p[n;-o& 15.1 随机性和系统性 313 w(w%~;\kLP 15.2 常见的系统性问题 314 DlB"o. 15.3 单层膜 314 Cm:&n|
15.4 多层膜 314 d*%-r2K 15.5 含义 319 Am~ NBQ7 15.6 反演工程实例 319 F...>%N$ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 AXBv']Y 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Pb0+z=L 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 jEQr{X7bEL 16.1 光学性质的热致偏移 329 PP+{zy9Sb 16.2 应力工具 335 N2yxli 16.3 均匀性误差 339 ()=u#y 16.3.1 圆锥工具 339 pg3B^ 16.3.2 波前问题 341 ny:c&XS 16.4 参考文献 343 3c5=>'^F 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 K*uFqdLL! 17.1 引言 345 QJFx/zU 17.2 操作数 345 uq;,h46ki 18 如何在Function中编写脚本 351 kc& |