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测量系统 lTb4quf8I J5dwd,FQ 应用示例简述 FQY{[QvF~ r@")MOGc 1. 系统说明 8/W(jVO(- Ckd
j| 光源 ^UU@7cSi|G — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) kU:ge 元件 tb$I8T — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 NM
FgCL 探测器 dfy]w4ETB — 干涉条纹 Qa`+-Wu8 建模/设计 'q>2WP|UY9 — 光线追迹:初始系统概览 xER-TT#S — 几何场追迹加(GFT+): `qoRnG 计算干涉条纹。 _[)f<`!g_V 分析对齐误差的影响。 TAL,(&[s x%h4'Sm 2. 系统说明 >EE}P|=- v']Tusmg 参考光路 K
HyVI6N[  l,fwF ua 3. 建模/设计结果 r+TvC{ g'X{ K;8{qQ* 4. 总结 79&=MTM
]S0=&x@, 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 uNKf!\Y @LSfP 1. 仿真 "+XF'ZO 以光线追迹对干涉仪的仿真。 /,d]`N! 2. 计算 8I8{xt4 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 953GmNZ7 3. 研究 ]hMs:$} 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 PGd?c#v# D :)HKD. 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ?_-5W9 q}PUwN6 应用示例详细内容 -6W$@,K 系统参数 vRkVPkZ6| 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 xWK0p'E0 n\GN}?4 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 A&N$=9.N1 B#]:1:Qn 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ke<l@wO GX+Gqj. 2. 说明:光源 xLdkeuL[% $~e55X'!+ 63`5A3rii 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 :jy}V'bn$ 因此,相干长度大于1m s
.@S zq 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 j];#=+ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 =qvn?I^/ e%km}m A
v4]#Nc$~T ],
IQ~ 3. 说明:光源 /2Z7 W K(GR\@ C).+h7{nd 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ^V~^[Yp 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 "#:h#uRUb 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 _Tf
%<E 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 '%&-`/x 4. 说明:光学元件 ~Qd|.T Sc ijf 9 $azK M,<q 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 bzaweAH 位相延迟平板材料为N-BK7。 #nQboTB@ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 3, 3n 透镜材料为N-BK7。 e<{waJ1 其中心厚度与位相平板厚度相等。 i# fvF) ec,Bu7'8 3!h 3flE 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 de9e7.(2 [s[!PlazX 4av 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 (Z0.H3 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [s+FX5' K uF ;8B]" 6. 分光器的设置 Nx zAlu |kF"p~s Zbr1e5? tiy#b8 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 &k`/jl;u 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 hXD`OlX 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 o{' JO3 cR&d=+R& 7. 合束器的设置 "u'dd3! t]{, 7.S 5k
c?:U& <vzU}JA\ 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 &Z}}9dd 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 K<k\A@rv8H @.=2*e.z|b 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 *c(J4 8/}S/$ DB'3h7T 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 ivSpi?
应用示例详细内容 Snq0OxS[v 仿真&结果 qL$\[( b%X<'8z9Z 1. 结果:利用光线追迹分析 cef:>>6_ )7m.n%B!5V 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 )"Wy/P 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 }5d|y* EkOn Rm_hn 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹
T2t o!*T (9)uZ-BF, ^fU,9 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 o{7w&Pgs2 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 t?p>L* 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 B~3qEdoK5` R?] S<Z 3. 对准误差的影响:元件倾斜 zB"y^g m.U&O=]5 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 >BjZ{7?Ok 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 /pp;3JPf 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 i;67<f}- x&gS.b* 4. 对准误差的影响:元件平移 nB |fw" >SS97 9 元件移动影响的研究,如球面透镜。 Lf,C50 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 .Zx7+`i 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 ks8x xY hw&~OJeo 1k)`C<l 5. 总结 r+nhm"9 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 af/;D r@ H"rIOoxf 4. 仿真 z.:IUm{z 以光线追迹对干涉仪的仿真。 AH
]L C6- }& 01=nY 5. 计算 z"!=A}i 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 e)4L}a P'k`H 6. 研究 {Yti 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Rx4O?7; {"^#CSi 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 .Tc?9X~4 MLn?t^v- 扩展阅读 j,g.Eo h{Y#. j~aS 1. 扩展阅读 ;hPo5uZQ 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 +'D
#VG +C(/.X
Kz% 开始视频 <V*M%YWs - 光路图介绍
EJO6k1 - 参数运行介绍 [M:BJ%* - 参数优化介绍 OSCe TkR 其他测量系统示例: :sekMNM - 迈克尔逊干涉仪 $!"*h
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