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测量系统 *]2R.u -5xCQJ[ 应用示例简述 ?`aTu:1#Z ((cb4IX 1. 系统说明 T`Ro)ORC# }9=2g`2Q 光源 B52H(sm — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) Aqu]9M~ 元件 h>|u:]I> — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 !
]\2A.b[ 探测器 >fbo
r'| — 干涉条纹 (Y )!"_| 建模/设计 !EM#m@kZ{ — 光线追迹:初始系统概览 "Y(^F
bs — 几何场追迹加(GFT+): Xy!&^C` J` 计算干涉条纹。 ?} X}# 分析对齐误差的影响。 avy=0Jmj ENyAF%6 2. 系统说明 $l#{_~
"m7 _25d%Ne0 参考光路 6? !I  ]hKgA~; 3. 建模/设计结果 > [8#hSk Gql`>~ zHqhl} 4. 总结 sbA2W~: gWi{\x8dt 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 /yp/9r@T0 z{' 6f@] 1. 仿真 U3N(cFXn 以光线追迹对干涉仪的仿真。 9M]^l, 2. 计算 T g{UK 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 [G=:?J,P 3. 研究 %Gu][_.L 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 x,f>X;04 "8?TSm8 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 uR^. X?R
|x[ 应用示例详细内容 Hh@2 m\HA 系统参数 ?CFoe$M 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 I8Kb{[?q 2md.S$V$, 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 =R2l3-HA= >+SZd7p 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 $NdH* BtID;^Dz 2. 说明:光源 hm6pxFkX_ EZ `}*Yrd DiR'p`b~ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ~M; gM]r; 因此,相干长度大于1m N"K\ick6J 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 IW mHp] 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 >HX)MwAP La]4/=a
fQ1 0O(`g, x*J|i4 3. 说明:光源 BJ2Q 2WW pW7kj&a_. mQL8QW[c 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ;&q]X]bJ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 4]]b1^vVj 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 &<@%{h@= 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 9j2\y=<& 4. 说明:光学元件 /xJY7yF >R#9\/s ;!:F#gahv 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 g/!Otgfu 位相延迟平板材料为N-BK7。 t+J)dr 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 `[&v 透镜材料为N-BK7。 VD9J}bgJ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 zaBG= &jFKc0\i@ @T_O6TcY 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Q+lbN Z+Xc1W^ ?N(u4atC 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 \1~I04'= 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 P$Axc/H EL"4E', 6. 分光器的设置 sC9-+} Iht@mE C5cFw/', <jg8y'm@0 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 9wzg{4/-$ 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 a~6ztEhGm 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
-GK 'V B
JU*`Tx 7. 合束器的设置 V!\n3i?i /m;O;2" [O [FCn O-?z' @5cI 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 b5[f 5 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 q;IhLBl' J tThkh'-" 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 L,GShl 0S HK^a:BI #%;<FFu\ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 0@:Y>qVa 应用示例详细内容 bU:V%B?=] 仿真&结果 9&&kgKKGQ %}\ vW 1. 结果:利用光线追迹分析 8xc8L1; kqQphKkL 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 :~-)Sm+^ 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 }rFTh I >aX:gN 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 2&suo!ig S.qk%NTTD ,HQ1C8 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 c9
gz!NE 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 e =0l<Rj 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 >N :|Km\ WNCM|VUl 3. 对准误差的影响:元件倾斜 u XaL yp( ?1 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 /QV [N 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 K]*g, s+ 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 V<
2IIH5^ H9.oVF^~ 4. 对准误差的影响:元件平移 C]aOgt/U !pG+Ak? 元件移动影响的研究,如球面透镜。 fQ2!sV 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 BDarJY 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 ?v0A/68s# wjN`EF5$}& bjU 2UcI"< 5. 总结 @1/Q 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 6GvhEulYR ;5,`Jpca 4. 仿真 2&zn^\%" 以光线追迹对干涉仪的仿真。 =1V>Vd?8. MYur3lj%_ 5. 计算 #
|[`1 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 j+z' @n5;|`)\ 6. 研究 vE^h}~5U 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ,%"\\#3S /1[}G! 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 'LtgA|c= 03i?"MvNo 扩展阅读 }I`
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> 1. 扩展阅读 k)<~nc- 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 V{ 4i$' *DPTkMQN 开始视频 1t~S3Q||>] - 光路图介绍 !#cKF6% - 参数运行介绍 ?15POY ?Z - 参数优化介绍 9RCB$Ka6X 其他测量系统示例: ~@)-qV^~ - 迈克尔逊干涉仪 . }-@;:yh
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