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测量系统 xI7;(o"
D=nuK25 应用示例简述 Ue<Y ~A %vO b"K$X 1. 系统说明 T=w5FT +;Jb)8 光源 I)Dd"I — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) )Aky:kM$ 元件 |:i``gFj — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 p}NIZ)]$ 探测器 I2=?H< — 干涉条纹 =MqefV;- 建模/设计 X,<n|zp — 光线追迹:初始系统概览 ^\uj&K6l — 几何场追迹加(GFT+): Y|=/*?o} 计算干涉条纹。 5/v@VUzH 分析对齐误差的影响。 `\:92+ h@"dpmpe 2. 系统说明 MKYXYR p`3pRrER 参考光路 C{
{DZ* iQ9jt 3. 建模/设计结果 E,nC}f ]kuMzTH 47xJ(yO 4. 总结 NGlX%j4j >g@;`l.Z# 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 E{*~>#+ EF?@f{YY$n 1. 仿真 8#w}wGV* 以光线追迹对干涉仪的仿真。 shwKB 5 2. 计算 HKk;oG 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 E+AEV`- 3. 研究 zhI} p. 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 2!/_Xh J}qk:xGL 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 +1H.5| \ qc8;"@ 应用示例详细内容 2bS)|#v<_t 系统参数 }MDu QP] 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 n)w@\Uyc h*f= 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 /s>ZT8vaAs *K6 V$_{S 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 vIrLG1EK 1\q2;5 2. 说明:光源
] }XK ;SF0}51 Cyxt EzPp 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 =j 6amk- 因此,相干长度大于1m nKJJ7'$'3 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 _^'fp 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 9~DoF]TM BW}^ n
yf! ^{["]!f# 3. 说明:光源 jYet!l gOZ$rv^g IBY3QG 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 b+\jFGC%6= 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 |,j6cFNw 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 lztPexyXZ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 _cx}e!BK# 4. 说明:光学元件 Xi_>hL+R( wHk4BWg- F8?&Ql/hdz 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 '|< |