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测量系统 *9)yN[w Gm.2!F=R4A 应用示例简述 {No
Y`j5S E9~}%& 1. 系统说明 r"bV{v v)s;
wD 光源 .ovG_O — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) z 8y.@<6 元件 2e|m3 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 'H8;(Rw 探测器 $c1xh. — 干涉条纹 kmu r={IR 建模/设计 $ )orXe| — 光线追迹:初始系统概览 `g^b Qx — 几何场追迹加(GFT+): Pt\GVWi_t 计算干涉条纹。 b<\aJb{2 分析对齐误差的影响。 s]'EIw}mo FfpP<(4 2. 系统说明 Qa@]
sWcM R>y/Y<5= 参考光路 3fd?xhWbN  9six]T 3. 建模/设计结果 #iVr @|, _0h)O v/[*Pze,C 4. 总结 cllnYvr3 Y0xn}:%K 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 0}qnq" u`Abko<D 1. 仿真 N-YCOSUu 以光线追迹对干涉仪的仿真。 1g>>{ y 2. 计算 S:{`eDk\A_ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 DW>|'w % 3. 研究 L7PMam 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 I~)A!vp 0;Z] vl/| 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 rtC:3fDy e_3($pj 应用示例详细内容 ^k5# {?I 系统参数 9^1li2z k{ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 M~Ph/ "5b4fQ;x 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 Qv;q*4_ o|Kd\<rY 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 bu,xIT ^ M@<r8M]G 2. 说明:光源 DsCbMs=Y \W+Hzf]
W# G0b##-.'^ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 !P@4d G 因此,相干长度大于1m P 9?I]a)G 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 K8 Hj)$E61 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 SdNxSD$Q tKYg
S0H|:J Zy=DY 3. 说明:光源 +@qIDUiF3 m_h$fT8
_ U$Od) 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ZDbzH=[ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 {-1N@*K 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 YYF.0G} 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 uxbLoE 4. 说明:光学元件 >6Ody<JPHP ~ugH2jiB 6[\1Nzy> 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 `2hLs _ 位相延迟平板材料为N-BK7。 46gDoSS 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 BE)&.}l 透镜材料为N-BK7。 EL(BXJrx{ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 GsU.Lkf .s\_H, Dn:1Mtj- 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 R#4f_9e<Z 0.0r?T (je`sV 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 0y3C
/>a 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 cS(=wC F0ylJ
/E 6. 分光器的设置 yi*EE% *3rp
g 5#mHWBGd7 OlX#1W] 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 ~T!D:2G 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 ;jh.\a_\ 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 G6p R?K+ ufo\p=pGG 7. 合束器的设置 \d-9Ndp
nf %J+k.UrM BFZ\\rN` E&>;a!0b] 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 emI F{oP 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 5?*Iaw >%A~ : 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 *0Wkz'=U $ZlzS`XF7 s:ojlmPb 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 ?f:ND1jU 应用示例详细内容 |y&vMx~t 仿真&结果 <SiJA`(7 2]V8- 1. 结果:利用光线追迹分析 3j2d&*0 SK5__Ix 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 (5kL6d2 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 q+ka}@ F]cc?r312 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 r{wf;5d( c=aVYQ"2 vdd>\r)v 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 K~+x@O* 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 7pM&))R 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 ^ #3,*(S :=\`P 3. 对准误差的影响:元件倾斜 2 ]}e4@{ ge#P(Itz 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 e}ivvs2 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 4%7Oaf>9 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 |WSmpuf vj"['6Xa 4. 对准误差的影响:元件平移 S2?)Sb` B-V 元件移动影响的研究,如球面透镜。 W?0u_F 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 } [OEtd{ 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 n1)]. ` X/H2c"!t 9#a/at] 5. 总结 tD])&0"( 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ~zDFL15w u?KG% 4. 仿真 .jl^"{@6 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Qm4cuV-0{ Kr%`L/% 5. 计算 ]0g1P-&,U 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 zwK$ q=-: X
[;n149o 6. 研究 4Y d$RP 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Oyp)Wm;@ 2>.>q9J( 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 *2Q x69` GuQ# 扩展阅读 BG+X8t8\ j&0t!f.Rv 1. 扩展阅读 V,eH E5C 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 j2 jUrl c}w[T 开始视频 B|S X?X - 光路图介绍 =h}PL22 - 参数运行介绍 4}Hf"L[ l - 参数优化介绍 kp*BAQ 其他测量系统示例: w^/"j_p@ - 迈克尔逊干涉仪 M+lI,j+
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