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测量系统 <JF78MD\ o)"}DeV$& 应用示例简述 *7BY$q KW+^9&lA 1. 系统说明 "Q2[A]4E 6S"bW)O 光源 U
NQup;#h — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) gTO% 元件 L_)?5IOJ$ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 <C#
s0UX 探测器 6st(s@> — 干涉条纹 -Ah \a0z 建模/设计 \
{"8(ELX — 光线追迹:初始系统概览 OEdp:dW| — 几何场追迹加(GFT+): P63z8^y 计算干涉条纹。 :T%,.sH 分析对齐误差的影响。 J
+<|8D ScZ$&n 2. 系统说明 +-qD!(&-6 0S/&^ 参考光路 >4LX!^V"  LP=!u~? 3. 建模/设计结果 sDJ5'ul Q`r1pO (873:"( 4. 总结 iLv"ZqGrw 4.H!rkMM 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 h>bmHQ /*rMveT 1. 仿真 c{||l+B 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Y*wbFL6` 2. 计算 9FPl 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ~;bwfp_ 3. 研究 mz9Kwxe 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 1D=My1B 0vQkm< 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 _IT,>#ba oY +RG|j@ 应用示例详细内容 R`TM@aaS: 系统参数 g&_0)(a\ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 &(Xp_3PO -J? df 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 "UVV/&`o g\ <Lb 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 @H7dQ,% 3'1O}xO 2. 说明:光源 M&Ycw XV:Z c!w4N5aM Szwa2IdI. 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ':.d,x) 因此,相干长度大于1m `DWzp5Ax 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Zh3]bg5 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 Z [68ji] 60X B
[0)iY%^ %pTbJaM\U 3. 说明:光源 5
0~L(< Y;-" Z RsTpjY*Xb 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 8&`s wu& 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 EWH'x$z_q 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 Nm\I_wjX 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 K;[V`)d' 4. 说明:光学元件 6
D!,vu #n~/~*:i92 9H.E15B 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 li/O&@g` 位相延迟平板材料为N-BK7。 nwO;>Qr 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 f$(w>B7.. 透镜材料为N-BK7。 G=~T)e 其中心厚度与位相平板厚度相等。 ;'=!Fv p(f)u]1` m;Sw`nw? 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 {d^&$~ 9D8el}uHf p?Yovckm 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 XPWK"t01 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 tw*qlb FHv 0 w@~ynW[ 6. 分光器的设置 kw=+"U YW/YeID u\=Nu4)Z
F $7|0{Dw 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 }\l5|Ft[! 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 1j0yON 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 tYmWze.j PX]A1Kt? 7. 合束器的设置 [@>Kd`!' %li'j| wPqIy}- .bnoK 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 '1.T-.4>& 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
].:S!QO }Qg9l| 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 LZ\}Kgi(!T #a}fI WOgbz&S?J 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 oSy[/Y44a 应用示例详细内容 :/Sx\Nz78 仿真&结果 -V4@BKI8 >rYP}k 1. 结果:利用光线追迹分析 UyK|KL w6#hsRq[C 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 B8B^@
对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 Is?0q@ na8A}\!< 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 ULQ*cW&;? ,|T
fdp/cwd 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 2/>AmVM 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 VCvuZU{< 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 p^~lQ8t O`|'2x{[O 3. 对准误差的影响:元件倾斜 atW;S99# :ykQ[d`:| 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 uCUQxFp 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 \Sg&Qv` 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 :K2N7?shA 4MIL#1s 4. 对准误差的影响:元件平移 Hh54&YKZ Ybd){Je"z 元件移动影响的研究,如球面透镜。 PtmdUHvD 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 htMpL 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 gpE5ua& Pme`UcE3H lR;<6 5. 总结 xE4T\%-K 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 p,ZubRJ" [/5>)HK} C 4. 仿真 $Ce`(/ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 &)\0mpLK9 )t@OHSl 5. 计算 d [K56wbpx 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 pm<<!`w" m6'YFpf)V 6. 研究 (:E^} &A 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Ak>RLD25_ E})PNf; 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 m,*t}j0 7 B8[H><)o\y 扩展阅读 GytI_an8 }54\NSj0 1. 扩展阅读 O6boTB_2 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 }t"!I\C inR8m 4c]P 开始视频 ?^,GaZ^V - 光路图介绍 ^R K[-tVV - 参数运行介绍 Wq"pKI#x - 参数优化介绍 Cn+TcdHX 其他测量系统示例: I>ofSaN - 迈克尔逊干涉仪 y"2#bq
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