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测量系统 tAO,s ZW =VFi}C/ 应用示例简述 %wWJVq}jx ,c<&)6FU] 1. 系统说明 d(9ZopJrQ 3oc p4x`[ 光源 AI0YK"c? — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ]-h;gN 元件 }W^%5o87{ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ],#Xa.r 探测器 u0 myB/` — 干涉条纹
A[:0?Ez= 建模/设计 'c7C*6;a — 光线追迹:初始系统概览 ICAp — 几何场追迹加(GFT+): :}'5'oVG 计算干涉条纹。 p5`iq~e9 分析对齐误差的影响。 LH/lnrN ovm109fTx 2. 系统说明 0M=A,`qk D1hy:KkAv] 参考光路 D$@5$./ .aS`l~6 3. 建模/设计结果 ;Z^\$v9? )`
~"o*M czNi)4x 4. 总结 U )kl! LCBP9Rftvd 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 6S K;1Bp-{ U'~M(9uv: 1. 仿真 {txW>rZX 以光线追迹对干涉仪的仿真。 y7pwYRY 2. 计算 @^P<(%p
采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 7PTw'+{ 3. 研究 \LuaI 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 B xAyjA6 tofX.oi+C$ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 |wbXu: uuHg=8( 应用示例详细内容 &/dYJv$[9 系统参数 U{1%ldOJ% 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 mIW8K
): |"]#jx*8KC 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 (\8IgQ{ n_~u!Ky_P 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 mVXwU](N 3Z0ez?p+5 2. 说明:光源 ,9,cN-/a S\76`Ot _uXb 9 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 d1jg3{pwA 因此,相干长度大于1m 8*zORz 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ?)NgODU 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ]S0=&x@, {Jbouj?V! @LSfP "+XF'ZO 3. 说明:光源 _tlr8vL SI`ems{1>c +MR]h
[ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 `.i #3P 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 J]W?
Vvv 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 [_T6 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 8u%rh[g' 4. 说明:光学元件 8Y"R@'~ .R^R32ln `}:pUf 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 D`'h8:\ 位相延迟平板材料为N-BK7。 0g8ykGyx 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 4V<.:.k 透镜材料为N-BK7。 Tuz~T
_M 其中心厚度与位相平板厚度相等。 k1'd';gQ a#D \8; fQU5' wGp 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 t5CJG '!ql =Q,D3F
-+f ffW-R)U|3 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 V=gu'~ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 $~e55X'!+ 63`5A3rii 6. 分光器的设置 g-pEt# }wB!Bx2 {3T&6 LA }0[<xo>K 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 3qQ}U}-; | 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 lFp : F5 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 ZU$QwI8 w1EB>!<;tj 7. 合束器的设置 e%km}m A lSfPOx;* V~_6t{L CZ!gu Y= 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 .unlr_eA 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 +TW,!.NBG c8N pk< 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 :IO"' b ]n!oa )gx*;z@ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 SB|Cr:wM 应用示例详细内容 ta@fNS4 仿真&结果 HXN. ,[ 33ZHrZ 1. 结果:利用光线追迹分析 ;Kh[6{ W g) ofAG2 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 @X2 zIFm 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 -k
}LW4 l1.eAs5U 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 _}gfec4o .NJ Ne dUBf.2ry 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 {`Z=LLL 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 l*Q OM 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 _&N:%;9uD _}j6Pw' 3. 对准误差的影响:元件倾斜 </B:Zjn 5s%FHa 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 ac,<+y7A 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 r3Kx 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 rM4Ri}bS xouBBb= 4. 对准误差的影响:元件平移 /eBcPu"[Vb 5Z(q|nn7P 元件移动影响的研究,如球面透镜。 _7R6%^ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 y#P_ }Kfo 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 p
m<K6I <vzU}JA\ 7CCSG{k 5. 总结 Q>xp 90&.n 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 BwYR" MH]?:]K9V 4. 仿真 5>:p'zI 以光线追迹对干涉仪的仿真。 U ZL-mF:)& c],Zw 5. 计算 V0bKtg1f?- 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 2h)* bWZ
oGFT 6. 研究 fG<[zt\e 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 KhPDXY]! `uc`vkVZ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
=T$2Qo8 BPy pA$ 扩展阅读 qvs[Gkaa@
T2t o!*T 1. 扩展阅读 (9)uZ-BF, 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 ^fU,9 o{7w&Pgs2 开始视频 h m( - 光路图介绍 m xy=3cUi - 参数运行介绍 "77l~3 - 参数优化介绍 zB"y^g 其他测量系统示例: m.U&O=]5 - 迈克尔逊干涉仪 >BjZ{7?Ok
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