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测量系统 ~p 1y+ G
dooy~cn 应用示例简述 @rdC/=Y[ 9(I4x]` 1. 系统说明 FPMW"~v C/$IF M< 光源 %$}iM< — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) C^~iz
in 元件 ]Lh\[@#1f — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 &,)tD62s 探测器 D *tBbV — 干涉条纹 c*W$wr 建模/设计 qjFgy)qV — 光线追迹:初始系统概览 z(=:J_N — 几何场追迹加(GFT+): G@(7d1){ 计算干涉条纹。 0'<S7?~| 分析对齐误差的影响。 {F4: S&0x:VW 2. 系统说明 +(<f(]bG BKTsc/v2>: 参考光路 ^q6~xC,/  r5"/EMieh 3. 建模/设计结果 g$tW9 Q Il642#Gh v$c D!`+k 4. 总结 'K!kJ9oqe 8?$2;uGL 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Gg+>_b{S5T ~,:f,FkSQ 1. 仿真 :8ZxO wwv 以光线追迹对干涉仪的仿真。 :s5g6TR 2. 计算 Z*)<E) 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 x<l1s 3. 研究 \z{Y(dS 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 x0d+cSw f.= E. % 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 4|(?Wt)5 x\%egw 应用示例详细内容 =bDG|:+ 系统参数 0b4OJ[ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 1gE`_%?K L`#+ZLo 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 X_qXH5^% sa` Yan 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 s:ruCS (TE2t7ab|M 2. 说明:光源 UyQn onS lm|`Lh- _(hwU>. 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 82X. 因此,相干长度大于1m +@Y[i."^J 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 (Y>MsqwWfC 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ^6+x0[13 4(R2V]
x3Ud0[( wGvgMZ ]?' 3. 说明:光源 FMVmH!E a5-\=0L~ ]c)SVn$6 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 :m d3@r'] 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 Xo`1#6xsE 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ca=e_sg 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 OLrD4 e 4. 说明:光学元件 +2SX4Kxu >-P0wowL q}5A^QX 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 F(<8:`N;G 位相延迟平板材料为N-BK7。 +!vRU` 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 0R&
U18)y 透镜材料为N-BK7。 Bt,Xe~$z- 其中心厚度与位相平板厚度相等。 O[!o1.
`xUPML- K_QCYS. 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 |Z ,G
6<Z:Xw WM"^#=+$ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 5F"?]'*/ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 O@iW?9C+ tWnm{mF 6. 分光器的设置 W[Bu&?h$ oui!fTy u7?juI#Cl !9,
pX 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 >|)0Amt 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 %z~U@Mka 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 ozC!q)j Db(_T8sU 7. 合束器的设置 |lxy< C4V +ZKhmb! "!tw
,Gp 9Yyg}l: 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 zU~..;C 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 K//T}-Uub .gGvyscdH; 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 (0W}e(D8
_wNPA1q0J JtpY][}"~3 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 7Zt\G-QV 应用示例详细内容 Z=@) 仿真&结果 hFMst%:y$ 7[g;|(G0 1. 结果:利用光线追迹分析 .dT;T%3fO S2E HmE& 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 ^Pd37&B4V 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 Cc)P5\jh p &>A5 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 pYl{:uIPN8
YX`=M \bm6/fhA: 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 PgLS\_B 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 j yRSEk$ 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 ~9r!m5ws cEc,eq| 3. 对准误差的影响:元件倾斜 :z.Y$]F@ +RV- VrV 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 {Y91vXTz7 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 JhCkkw 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 lhoq3A tx5T^K7[ 4. 对准误差的影响:元件平移 ;{f?? G rA1r#ksQ 元件移动影响的研究,如球面透镜。 $[iT~B$ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 ny(GTKoUz 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 g'ZMV6b?K @f{_=~+
Hp} 5. 总结 7B]:3M6 d 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 E0eQ9BXh ouVjZF@kS 4. 仿真 #RM3^]h 以光线追迹对干涉仪的仿真。 rS )b1nPA zk5=Opmvh 5. 计算 +K%pxuVh 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 nS+FX&_ 'B (eMnLg 6. 研究 /.)[9bQ< 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 .S!>9X,
Pc)VK>.fc 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 8b:clvh >u5g?yzw 扩展阅读 *)bd1B# :%#r.p"6x 1. 扩展阅读 AL]h|)6QpC 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 )!k_Gb`#X a1G9wC:e 开始视频 nFe` <Al$N - 光路图介绍 h zZ-$IX X - 参数运行介绍 ~J1;tZS - 参数优化介绍 cRh\USS 其他测量系统示例: 8jggc#. - 迈克尔逊干涉仪 H+VO.s.a
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