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测量系统 E9 q;>)} <dPxy`_ 应用示例简述 ATp 6- bv>lm56 1. 系统说明 N4|q2Jvj6 eE`1;13; 光源 \[I . — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ?$4R < 元件 .|`=mx — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 h^ $}1[ 探测器 \OT)KVwO — 干涉条纹 [Fj+p4*N 建模/设计 EFt`<qwj — 光线追迹:初始系统概览 Cy:`pYxhd — 几何场追迹加(GFT+): MYSc*G 计算干涉条纹。 ,Ysl$^\ 分析对齐误差的影响。 ^J~A+CEf"W Ss! 3{VW 2. 系统说明 mKQST ]5 M2P@ & 参考光路 |aAWWd5  G,|]a#w&v. 3. 建模/设计结果 ^H6d;n <i\zfa'6 vcJb\LW 4. 总结 BRXb<M^;_ OK?3,<x 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 RzJ}C T zo7XmUI3P 1. 仿真 Dq%r
! ) 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ^ lc}FN 2. 计算 A~GtK\=; 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 >{qK]xj 3. 研究 $<
K)fbG 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 _Z66[T+M kbp(
a+5 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
UQ.D!q QJIItx4hE 应用示例详细内容 ;.Oh88|k 系统参数 Tb0;Mbr 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 q?-3^z%u n &\'Hm 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 +fP/|A8P @Gn?8Ur% 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 1'v !9 ZG/8 Ds 2. 说明:光源 [X">vaa q]i(CaKh <V:<x 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 AXh3LA 因此,相干长度大于1m (4/]dTb 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 zdjM%l); 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 :ONuWNY
N Ueg N-n
!(]dz~sM ',H$zA?i 3. 说明:光源 5h|m4)$ Z'}(t, *bxJ)9B 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 -q&7J'
N 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 l4mUx`! 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 q1TW?\pjb: 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 :e&n.i^ 4. 说明:光学元件 iIGI=EwZ O\4+_y @k+%y'Y? 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
};"+ O 位相延迟平板材料为N-BK7。 <K,%
y(] 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 W%>i$:Qq
透镜材料为N-BK7。 o4/I1Mq 其中心厚度与位相平板厚度相等。 5i4V 5N>3 hEv=T'*,K) ~3'RW0 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 9QH9gdiw gv#c~cX] pFsCd"zv 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 |k`f/* 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ~&DB!6* XVrm3aj(m 6. 分光器的设置 R81{<q'%X SE;Tujwhqi )+n,5W qY$*#*Q 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 hgweNRTh! 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 cebs.sF: 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 b W=.K>| X-)RU? 7. 合束器的设置 wC(vr.,F &c!j`86y* %NT`C9][ OU,PO2xX9 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 n5Nan
为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 8_a$kJJ2 sK`~Csb
iB 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 ~K~b`|1 eVw\v#gd O{k89{ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 -?< Ww{ 应用示例详细内容 w4e%-Ln 仿真&结果 t&GA6ML#s 0?lp/|K 1. 结果:利用光线追迹分析 E`Jp(gK9F r}/yi 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 f^W[;w 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 J [ YtA Gb(C#,xbK 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 r0\cc6 1t/dxB; 1~}m.ER 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 =X-^YG3x 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 g.64Id 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 UL86-R! C#MFpT 3. 对准误差的影响:元件倾斜 KX?o
n sZ 3iE-6udCS 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 $ A-+E\vQ@ 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 I
jZ]_*^! 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 Lw*;tL<, H>60D|v[ 4. 对准误差的影响:元件平移 @S`$C [Q4_WKI0T 元件移动影响的研究,如球面透镜。 Jy \2I{I' 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 PX;Vo~6 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 tIq>Oojdx SArfczoB M]}l^m>L 5. 总结 6!P`XTTE 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 H@V 7!d :w@F?:C 4. 仿真 (+|X<Bl:` 以光线追迹对干涉仪的仿真。 gRBSt
M&hU
}10\K 5. 计算 }$o* 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 l B1# >;
aCf#q 6. 研究 B?+.2 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 sU\c#|BSC" :6XguU 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 C\
tprnY AgIazv1 扩展阅读 <lUOJV{&\ Y[2Wt%2\6 1. 扩展阅读 bF*NWm$Lf 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 dXmV@ Noo _w 5RK( 开始视频 _@Y"$V]=Vt - 光路图介绍
CJJD@= - 参数运行介绍 p8Iw!HE - 参数优化介绍 mw_ E&v 其他测量系统示例: *n8%F9F - 迈克尔逊干涉仪 :M06 ;:e
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