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测量系统 l,k.Jo5 Blox~=cW 应用示例简述 ~(-df> +ZJ1> n 1. 系统说明 9zNMv- YfUo=ku 光源 ``,q[| — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 1#lH5|XQ 元件 {O_`eS — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 A(1WQUu j 探测器 +EvY-mwfQ — 干涉条纹 303x|y 建模/设计 B42qiV2/k — 光线追迹:初始系统概览 &9khIJIn — 几何场追迹加(GFT+): 'EO"0, 计算干涉条纹。 o<L=l Q 分析对齐误差的影响。 h/NI5 ZJ%iiY 2. 系统说明 IQyw>_~] ;0nL1R]w( 参考光路 o(@^V!}V  +<^c2diX 3. 建模/设计结果 +-PFISa<r 4<S=KFT_ ,H@ x. 4. 总结 }UWi[UgA Tilw.z 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ;tWi4iT+. Gf<%bQE 1. 仿真 cdv0:+[P 以光线追迹对干涉仪的仿真。 t/c)[l hV 2. 计算 )dF`L 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 *|S{%z9> 3. 研究 -"x25~k!?F 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Wo,fHY <]u]rZc$ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 B18?)LA Df}3^J~JX 应用示例详细内容 WjF#YW\ 系统参数 tREC)+*\ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 r~; TId} # 9@ 8)ZHf 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ?dQ#%06mn PHg(O:3WG 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 wyUfmk_} ~?:Xi_3Lo 2. 说明:光源 BF(Kaf;<t. ;s w3MRJ f= 33+8I 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 #QKgY7 因此,相干长度大于1m %VGQ{: 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 0r%,|FaS 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ]MRQcqbpqL %s#`Z [8,
>5bd!b, y9-}LET3j
3. 说明:光源 ~.<}/GP] _ OIrr'uNH 2D"\Ox 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 cQ`+ A|q 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 XO"BEj<x 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 Qh,Dcg2ZM" 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 G/?j$T 4. 说明:光学元件 j(`V&S I#GsEhi d>jRw 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 V>B*_J,z. 位相延迟平板材料为N-BK7。 'sN
(=CQ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 -LMO
f[v? 透镜材料为N-BK7。 k+As#7V 其中心厚度与位相平板厚度相等。 H^0`YQJ3 Tsl0$(2W "jAEZ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 mx")cGGQ KI8Q
=* 6l?\iE 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 \&1Di\eL 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 7Hp~:i30 ${w\^6& 6. 分光器的设置 e(;nhU3a*, 7|$
H}$ ~riV9_- bx%P-r31 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 7Jvb6V<R 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 pk2}]jx" 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 +}@6V4BRn ,L,?xvWG 7. 合束器的设置 2Uq4PCx! *q+z5G;O K)8N8Js( F` gQ[ 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 oB] 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 *WX,bN6Ot B:QAG 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 H:&|q+K=# *Zi:^<hv 7s-ZRb[)1 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 4?F7% ^vr 应用示例详细内容 F3V_rE< 仿真&结果 =#ls<Zo: 4'ymPPY 1. 结果:利用光线追迹分析 iPoDesp jM DG 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 ,6FmU$
Kn 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 8I*WVa$l ??.9`3CYo 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 C!r9+z)< sVJwe\! WQT;k0;T] 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 FD*w4U5 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 "vnWq=E2 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 }n91aE3v D/=
AU 3. 对准误差的影响:元件倾斜 *K1GX 1Ev#[FOc 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 T2V#
fYCc 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 09>lx$ 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 -8r9DS-/W EO[UezuU 4. 对准误差的影响:元件平移 p|b&hgA M&5;Qeoiv 元件移动影响的研究,如球面透镜。 7JI&tlR4\c 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 ;\5^yDv[e 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 Ni4*V3VB (}C%g{8 LVj62&,- 5. 总结 jS,zdJs= 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 .g6DKjy> k TLA["<m 4. 仿真 0G.y_<= 以光线追迹对干涉仪的仿真。 _4VS.~}/R ^YLpZoo 5. 计算 "T_OLegdK 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 u*NU MT2 5Se
S^kJC 6. 研究 !Y3
*\ 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 oqOXRUy 3g#fX{e_5! 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 3)J0f+M>dv ;|e6Qc9 扩展阅读 p|D-ez8 A
S#D9o 1. 扩展阅读 @fH?y Z=> 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 NI^[7.2 DNy1} 3wg 开始视频 {|jG_ - 光路图介绍 mj{/' - 参数运行介绍 D*oJz3[ - 参数优化介绍 : Jh 其他测量系统示例: !:[kS1s>M - 迈克尔逊干涉仪 I&e,R
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