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测量系统 h_h6@/1l o#F0 3 应用示例简述 (9D,Ukw umc\x"i% 1. 系统说明 .:jfNp~jt hH@pA:`s 光源 J""N:X!1 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) _:9-x;0H2 元件 d:=:l? — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
QX393v! 探测器 yO09NQ 5u — 干涉条纹 f5QJj<@ 建模/设计 zgHF-KEV — 光线追迹:初始系统概览 VUGVIy. — 几何场追迹加(GFT+): Yim` 3>#t 计算干涉条纹。 rDWqJ<8 分析对齐误差的影响。 h3:dO|Z ^7%
KS 2. 系统说明 |/AY!Y3 9S[Tan| 参考光路 =9vmRh?8  5%6r,?/7KM 3. 建模/设计结果 tvG/oe .1' IT0*~WMZ 1(z+*`"WB& 4. 总结 &O.S ;b*+ G|Y9F|.! 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 }n JG<rY JMq00_ 1. 仿真 O~AOZ^a:2 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ,, G6L{&Z 2. 计算 :S5B3S@| 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 i
bwnK?ZA 3. 研究 j/xL+Y(= 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 !]k $a `&yUU2W 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 K)"cwk- 5:H9B 应用示例详细内容 r:Xui- 系统参数 xd H*[ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 +}@HtjM If_S_A c 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 >2l;KVm% Y@Kp'+t(! 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 h4^
a#%$ O5Xu(q5+ 2. 说明:光源 }]H_|V*f <99Xg_e kEE8cW3 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 }GCt)i_ 因此,相干长度大于1m \5_7!. 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ymBevL 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 QpPJ99B| mu/O\'5
?Q]{d'g(sx }I'g@Pw9[ 3. 说明:光源 "oYyeT
,? GiN\nu<! h+x"?^ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ?1(' s0s\, 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 oP".>g-. 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 .sA?}H#wb 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 3~4e\xL 4. 说明:光学元件 n@xDFa wNW9xmS i(JBBE" 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 z2&SZ.mk 位相延迟平板材料为N-BK7。 RTNUHz;{L 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 cRX0i;zag 透镜材料为N-BK7。 z1ltc{~Z 其中心厚度与位相平板厚度相等。 pCNihZ~ )dJaF#6j Qc z7IA 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ++:v O '@u/] ra:
tqE LF 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 V$+xJ m 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 })|+tZ |Q^ZI 6. 分光器的设置 +'?p $@d XGEAcN ;PJWd|3 `av8|; 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 iZQwo3"8r 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 Te~"\`omJ3 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 {hX.R t#~r'5va 7. 合束器的设置 cX@~Hk4=\ LF0gy3 hq/\'Z&!+P c/I.`@ 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 Roy0?6O 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 YZf<S: n\5` JNCb 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 2"NRnCx* jNV2o ]YZ+/:#U7 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 #H(|+WEu 应用示例详细内容 (
=->rP 仿真&结果 ,*r"cmz I~MBR2$9 1. 结果:利用光线追迹分析 8<k0j&~J n6[bF"v 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 j_\sdH*r 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 Pv`yOx&nE 8UoMOeI3 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 4-=> >#
P `|i #) dh%C@n:B 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 Vf*!m~]Vqi 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 qJFBdJU (1 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 }3Pz{{B&+O <dDGV>n4;
3. 对准误差的影响:元件倾斜 6!/e_a 9'Y~! vY 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 }+QgRGQ 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 ,>2ijk# 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 J& +s NDU,9A.P 4. 对准误差的影响:元件平移 |t|+pBB )m"NO/sJ2 元件移动影响的研究,如球面透镜。 YU[93@mCh 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 ;or(:Yoc- 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 {LY$ O qY8\>f- rZe"*$e 5. 总结 z}s0D]$+x 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 OAR1u} s9~W( Wi 4. 仿真 Dz]&|5'N 以光线追迹对干涉仪的仿真。 +e%9P%[+ z*l3O~mZ 5. 计算 U{RW=sYB~9 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ;)5d
wq 7h<Q{X<A 6. 研究 >yg mE`g 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 AASw^A3p ,!|/|4vh 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 g[44YrRD II)\rVP5 扩展阅读 -$?xR]( f U'UV=:/- 1. 扩展阅读 ^T)HRT-k 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 d%81}4f: O!lZ%j@% 开始视频 .Hl]xI$;+ - 光路图介绍 qWHH%
L; - 参数运行介绍 '73dsOTIT - 参数优化介绍 iRS )Z) 其他测量系统示例: 8uM >Up X - 迈克尔逊干涉仪
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