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测量系统 Y'R1\Go- ~+ur*3X 应用示例简述 F`3As 9b: 'D{abm0 1. 系统说明 !(o2K!v0 $SgD|
9 光源 $*ZHk0
7x — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 9)X<}*(qo 元件 #$QY[rf=6 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 .;s4T?j@w 探测器 S?<Qa; — 干涉条纹 ;I'["k% 建模/设计 6.=b^6MV — 光线追迹:初始系统概览 s| oU$?eA — 几何场追迹加(GFT+): 7Kjq1zl; 计算干涉条纹。 aP gG+tu 分析对齐误差的影响。 bp_@e0 Z2
4 m 2. 系统说明 "yk%/:G+ Aed"J5[a 参考光路 #a:C=GV;4  F*H}5yBp_: 3. 建模/设计结果 QkAwG[4 s q$|Pad[ WdnP[x9 4. 总结 5#PhaVc ,j<"~"]
= 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 I'hQbLlG $%'z/'o! 1. 仿真 @YELqUb* 以光线追迹对干涉仪的仿真。 MN4}y5 2. 计算 Y#,MFEd 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ualtIHXK) 3. 研究 O'(vs"eN 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 hd' n" Wi<Fkzj 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 9OBPFF -D(!B56_ 应用示例详细内容 /jAs`"U 系统参数 5[k35c{ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 $G[##j2 NGu]|p 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 u1l#k60 98"N UT 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 Ns_d10rZ. ~c"c9s+o 2. 说明:光源 2_C.-;! G 2##M8:U0 fz*6 B NJ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 2NM}u\%c/ 因此,相干长度大于1m o\N}?Z,Kk 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ewY X \ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 \T?O. "]<Ut{Xb
J4<*KL~a s#ykD{Z 3. 说明:光源 QG.FW;/L, <G={Vfr
hT[O5
采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 3h&s=e! 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 z; +x`i. 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 NbdaP{{ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 Ue7~rPdlR 4. 说明:光学元件 pH%K4bV)8 N*#SY$!y i \~4W$4I 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 827N?pU$) 位相延迟平板材料为N-BK7。 :BS`Q/<w 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 :
SNp"| 透镜材料为N-BK7。 z3,z&Ra 其中心厚度与位相平板厚度相等。 JG `QJ% .dV!d u 6m9Z5:xG 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 yI!K
quMC z|Xl%8 (+@H !>r$$ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 eL.S=" 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ;rX4${h JW$#~"@r 6. 分光器的设置 R!O'DM+ 8m iIlB *m2:iChY UX6-{
RP 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 E?V:dr 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 "(5M }5D 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 Lt)t}0 # 8A|-u=3 7. 合束器的设置 +#O?sI# |cH\w"DcXw MkQSq
MU= [30< 0 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 wXP1tM8T 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 qz 'a.]{= 3KGDS9I 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 B=f{`rM)~W `'~|DG}a VGSe<6Hh 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 _M?:N:e 应用示例详细内容 oD.f/hi0| 仿真&结果 2`;
0y M pl%ag~i5 1. 结果:利用光线追迹分析 B;EdLs} ~
60J 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 PpbW+}aCF 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 bz@4obRqf :Z<-J` 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 6d_l[N `=oN &! P/27+5(| 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 ]LD@I;(_ 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 C@K@TfK!M 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 e|`&K"fnq ydpsPU?wj5 3. 对准误差的影响:元件倾斜 CEwG#fZ
@521zi 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 U!('`TYe 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 KNV$9&Z 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 uvT]MgT 6 ,k}v: 4. 对准误差的影响:元件平移 >J4_/p>Qs &cZD{Z 元件移动影响的研究,如球面透镜。 u+hzCCwtR 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 zD?<m
J` 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 8Y:bvs.j }lhJt|q c AE@*#47 5. 总结 0%vXPlfnY 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 {W@Y4Qqq JTx&_Ok# 4. 仿真 98x(2fCvF( 以光线追迹对干涉仪的仿真。 $AoN,B> k*M1m'1 5. 计算 gCd9"n-e 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 m@OgT<E]_ qV5ME#TJ 6. 研究 "xw2@jGpG 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 F`'e/ Ucv-}oa-? 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 MSw/_{ e KET8v[ 扩展阅读 8He^j5 (ZDRjBth[ 1. 扩展阅读 }nuhLt1 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 o <sX6a9e UA}k"uM 开始视频 $BCqz! 4K - 光路图介绍 Dg\fjuK9 - 参数运行介绍 |Zz3X - 参数优化介绍 QO0T<V 其他测量系统示例: }56"4/ Z - 迈克尔逊干涉仪 -]HO8}-Rjs
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