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测量系统 Te}8!_ohyC Ft;^g3N 应用示例简述 ?Vf o+a, [`rba' 1. 系统说明 |qmu_x\ %Cv D-![0 光源 I^8"{J.Q)[ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) _q{c##Kf 元件 Ooq! 0g — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 s#tZg 探测器 ^k#P5oV — 干涉条纹 T3pmVl 建模/设计 }0X:F`Y- — 光线追迹:初始系统概览 7TDy.] — 几何场追迹加(GFT+): zOa_X~!@ 计算干涉条纹。 x*nSHb 分析对齐误差的影响。 <-D0u?8 Hr]h
Jc 2. 系统说明 $+3}po\ 26k LhFS 参考光路 pFHz"]  (Yis:%c\! 3. 建模/设计结果 q11>f t{WzKy !gv`FE9y 4. 总结 FTQ%JTgT 8qEVOZjV& 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 dnb)/ D? 8rO" 1. 仿真 T<w5vqFDu 以光线追迹对干涉仪的仿真。 y1bbILWej 2. 计算 ],JEBt 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 m:WyuU< 3. 研究 9J>&29@us0 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 t7?Zxq eQD)$d_5 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 6^"=dn6K 846$x$G4 应用示例详细内容 q"<ac qK 系统参数 n>^Y$yy}! 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 r.>].~}4 r;Gi+Ca5 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 (s7;^)}zx R%qGPO5Z\c 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 q&/Yg,p\ ]):<ZsT 2. 说明:光源 qLT>Mz)$% Yl#Rib kMOpi =Z1 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 elG<k%/2 因此,相干长度大于1m (h5'9r 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 <Gt2(; 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 #&m0WI1
]&i.b+^
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a~CEs 3. 说明:光源 MV\|e1B} 3plzHz ,x p Wt)
A 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 k-HCeZ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 vt;{9\Y 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ALNc'MW! 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 AQ+]|XYo_ 4. 说明:光学元件 M5*{ C_n9T{k u9}1)9 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ,^x4sA[/ 位相延迟平板材料为N-BK7。 `KK>~T_$J 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 +S R+x/?z 透镜材料为N-BK7。 yfx7{naKC` 其中心厚度与位相平板厚度相等。 +AHUp) B|4X}*@SX 4&_NJ\ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 9P~\Mpk gOr%!QaF .GsO.#p{ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 AjT%]9
V? 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 xZQg'IT awOd_![c' 6. 分光器的设置 SnFk>` 9(5OeH6o? #%D_Y33;
l"!Ko G7 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 z%e8K( 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 ~5 *5 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 XP1~d>j F@* +{1R 7. 合束器的设置 Ci<ATho *3&fqBg 3nu^l'WQ qWx][D" 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 @EDs~ lPv 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 ']>Mp#j qqu.EE 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 s.x&LG GD:4"$)[o kf;/c}} 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 sL@U 应用示例详细内容 h~(D@/tB 仿真&结果 8Y_ol#\L 0%Z]h?EYy| 1. 结果:利用光线追迹分析 '/$d0`3B> '2laTl]` 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 i@B[ eta 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 7yz4'L Cz W:L&t 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 wo3wtx VB?Ohk]< Y=
]dvc 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 r.T<j.\ 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 2Y>~k{AN% 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 Xu>r~^w=S OZIW_'Wm/ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 X5khCLHi Ezi-VGjr]
元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 &E40*
(C 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 :Mcu 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 Hsihytdj p<&Xd}]"^W 4. 对准误差的影响:元件平移 \/SQ,*O }?@rO`:EF+ 元件移动影响的研究,如球面透镜。 z OSs[[ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 d)[;e() 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 H> '>3]G `iJhG^w9M t2V0lyeL 5. 总结 ncX/L[L 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Sje wuIi1 =fYL}m5E 4. 仿真 AxZD-|. 以光线追迹对干涉仪的仿真。 [ G
e=kFB /c$\X<b); 5. 计算 D!oc>K$B 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 &%2*Wu; ; h`0ir4[A 6. 研究 R.s^o]vT 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 xEltwuDd? YqV8D&I 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 AWjm~D-? N,J9Wu ZJ\ 扩展阅读 ZZj~GQL(S "GQl~ 1. 扩展阅读 p:OPw D+ 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 {0@&OO:w HJC(\\~ 开始视频 \NGC$p n - 光路图介绍 ?|1Mv1C? - 参数运行介绍 `T2$4 >! - 参数优化介绍 S/`%Q2za4 其他测量系统示例: +'G0 {;b - 迈克尔逊干涉仪 Otz E:qe
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