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测量系统 YN<:k
Wu Y%"6 应用示例简述 ImnN&[Cu ;WG6|QgV?- 1. 系统说明 oI/jGyY; t^Hte^#S 光源 VUD ?iv7 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) nGvWlx 元件 O,>`#? — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ?~g X7{> 探测器 :fW\!o8Z2 — 干涉条纹 `_*NFv1_ 建模/设计 qwz_.=5E6 — 光线追迹:初始系统概览 vI)-Zz[3 — 几何场追迹加(GFT+): O5;$cP: 计算干涉条纹。 =5PNH 2 分析对齐误差的影响。 IW1+^F9NEw M:* ^k 2. 系统说明 7G^`'oZ 5*he 参考光路 hrt]Qn&  5qx,b&^w 3. 建模/设计结果 FSp57W$ kS@6'5U r'C(+E ( 4. 总结 *;]j#0 /N'|Vs,X 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 |x[zzx#
>- Gx.iZOOH/ 1. 仿真 = @UgCu>= 以光线追迹对干涉仪的仿真。 YH%aPsi 2. 计算 j!oD9&W4~ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 w&F/P]1 3. 研究 8D[,z 7n 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 }/{G p`
'8M 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 u\,("2ZW9+ ^{vf|zZ _ 应用示例详细内容 :W++`f& 系统参数 Ul41RNy) 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ;is *[r\|1 eb uR-9 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 @H?_x/qBT _ zh>q4M 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 9w%|Nk>=> 0A7 qO1%xw 2. 说明:光源 H /kSFf{ ^3qo%=i :=I@<@82W 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 6jGPmOM/ 因此,相干长度大于1m =h#3D?b0n 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 `k>h2(@9S
在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 RH+'"f h kh b8zS
BgzER[g|q{ @L)=epC 3. 说明:光源 &?-LL{W{ D~< 3 2I2#o9(Ar 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 n$ri:~s 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ikSm;. 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ]Gm$0uS 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 TvEN0RV2 4. 说明:光学元件 P[.BK ]T3dZ`-( 5g{L
-8XwI 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 UP@a
?w 位相延迟平板材料为N-BK7。 q66+x) 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 1>doa1 透镜材料为N-BK7。 f-V8/ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 ?Q~6\xA 1lxsj{>U a!;]9}u7 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 XYKWOrkQqa "]j GCo>9 &*}NN5Sv 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 s[V$fvW 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 J|orvnkK
o4)^U t+ 6. 分光器的设置 {L!w/Ie X WhO;4-q)2 N}Ol`@@#h x,sMa*vd 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 H$:Z`CQt< 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 Jl"),;Od 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 >bf29tr Cmq.V@ 7. 合束器的设置 *cdr,AD?lH 6,"fH{Bd
|P_\l,f8` =:+k 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 Xwg|fr+p 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 \iQD\=o OHqc,@a;+ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 'L*nC
T; nt,tM/ TzXivE@mm 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 KzQ\A!qG 应用示例详细内容 [69[Ct 仿真&结果 sOSol7n gI&& LwT4 1. 结果:利用光线追迹分析 >IW0YIQy, Gs*FbrY 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 zMfr`&%e 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 i$)`U] Gy9+-7"V 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 XE_|H1&j /B$"fxFf }]pq&v! 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 \*}JdEHB 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 v;S7i>\ 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 >EFjyhVE ]Dm'J%P0} 3. 对准误差的影响:元件倾斜 p @@TOS Q 'R@'W9 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 s(Of
EzsH= 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 aU]A#g
结果可以以独立的文件或动画进行输出。 eRC
/Pr 0]l _qxv 4. 对准误差的影响:元件平移 :)v4:&do AL/q6PWi 元件移动影响的研究,如球面透镜。 'CT8vt; 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 4h>Dpml 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 1FU(j*~: g{@q hKw4 [wB] 5. 总结 5;+OpB 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ](3e +JC 2R&msdF 4. 仿真 zbdmz 以光线追迹对干涉仪的仿真。 jX^uNmb ?[Od. 5. 计算 <d,Qi.G4 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 'c 0]8Y4
=[!&&,c= 6. 研究 G>{Bij44 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 MXY[t 1hj']#vBu 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 j )6A XVjs0/5b 扩展阅读 [*U6L<JI MtC \kTW 1. 扩展阅读 & |