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测量系统 2<9&OL A0,h7<i 应用示例简述 l
>~Rzw KM"BHaSkF 1. 系统说明 : T{VCw:* Gz52^O: 光源 f0879(,i — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 1-$+@Xl 元件 Eh^gR`I — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 :{
iK 5 探测器 5"y)<VLJX — 干涉条纹 T|,/C|L 建模/设计 w75Ro6y — 光线追迹:初始系统概览 )t((x — 几何场追迹加(GFT+): @?>5~ 计算干涉条纹。 eX1_=?$1P 分析对齐误差的影响。 !mmSF1f
//0Y#" 2. 系统说明 CaV@<T ep4?;Qmho 参考光路 -<L5;  eLLOE)x 3. 建模/设计结果 ,Wtgj=1!. W[sQ_Z1C j\"d/{7Q 4. 总结 yuC|_nL M3Qi]jO98 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 l$[,V:N m%'T90mi 1. 仿真 hXvC>ie(i 以光线追迹对干涉仪的仿真。 L1WvX6 2. 计算 Xvk+1:D 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 \r9E6LLX' 3. 研究 5`@yX[G 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 /;vHAtt;f nch#DE82 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 el\xMe^SY )3 R5cq 应用示例详细内容 YeVo=hYH@ 系统参数 -?l`LbD 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 rp^:{6O Rn`DUYg 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 -p%cw0*Y]C ZuZCIqN 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 7kITssVHI tt
CC]
Q 2. 说明:光源 O \gVB!x qA[cF$CIl) )c?nh3D 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 F@HJ3O9 因此,相干长度大于1m :Gzp
(@<@e 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 GvvKM=1 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 6oFA=CjU{ }#2(WHf=<
F(ZczwvR
3bJ|L3G 3. 说明:光源 'vYt_T q: X^V$`
sCmN|Q 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 \/C5L:|p_ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 -r]L MQ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 7G7"Zule*j 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ~]`U)Aw 4. 说明:光学元件 -PU.Uw] A`Rs
n\ jP0TyhM 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
DF=Rd# 位相延迟平板材料为N-BK7。 4?+jvVq 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 KfYT 透镜材料为N-BK7。 jW4>WDN: 其中心厚度与位相平板厚度相等。 qq_ZkU@xg =q|//*t2 )=bW\=[8 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ?>I =6f)sZpPh ]"?<y s 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 -3y 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 9g'6zB =;F7h
@: 6. 分光器的设置 _3NH"o
d rZ)7(0BBs m8G/;V[x 7Ka4?@bQ 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 "zz b`T[8 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 'm"Ez'sS 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 P}>>$$b\Yi 'cAS>s"$}V 7. 合束器的设置 ]0SqLe 3OY(L` ):nC%0V F\GNLi 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 l8 $.k5X 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 fC[~X[H &Vu-*? 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 ,7DyTeMpN JiuA"ks) k*C[-5&# 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 #yU"n-eLR 应用示例详细内容 R~|(]#com 仿真&结果 feeHXKD| *65~qAd 1. 结果:利用光线追迹分析 -v|lM8 &3xda1H 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 83p8:C.Ze 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 %$Xt1ub6( OECVExb@eH 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 cS2]?zI MZh?MaBz06 y\[* mgl: 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 84i0h$ZZo 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 4L4u< 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 =W2I0nr. hd[t&?{= 3. 对准误差的影响:元件倾斜 rOj(THoc{ ?'"BX 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 }<w9Jfr"X 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 ) ]<^*b> 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 Lxv_{~I* IG2z3(j 4. 对准误差的影响:元件平移 0ia-D`^me V?`|Ha} 元件移动影响的研究,如球面透镜。 \%%M >4c 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 rSm#/)4A 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 t("koA=. \5=4!Ez hx/A215L 5. 总结 St>
E\tXp 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 r>PKl'IbE Cy B4apJ 4. 仿真 'aEN(Mdz1e 以光线追迹对干涉仪的仿真。 =^l`c$G< )nK+`{;@! 5. 计算 mv`b3 $ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 0tPwhJ +&J1D8 6. 研究 ~x@V"rxGw 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 y&\t72C$Fi -Ekf T_ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 "T<7j.P? wAzaxeV= 扩展阅读 +%~me? nLPd]%78> 1. 扩展阅读 Y$j!-l5z 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 ed3wj3@ w
!<-e> 开始视频 HzuG- V - 光路图介绍 0 N0< 4b - 参数运行介绍 > %Hw008 - 参数优化介绍 pL> Yx> 其他测量系统示例: G
Uh<AG*+ - 迈克尔逊干涉仪 +UTBiB R
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