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测量系统 r483"k(7 4-^|e 应用示例简述 ~
nNsq(4 vmK<_xbwd 1. 系统说明 VQ5T$,& [wG?&l$.KB 光源 $6}siU7s4 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) tuo'4%]i 元件 m8,P-m — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 D-\\L[ 探测器 O Ul+es — 干涉条纹 VJJGTkm 建模/设计 :BKY#uH~ — 光线追迹:初始系统概览 ?vPw I — 几何场追迹加(GFT+): 767xCP 计算干涉条纹。 $'btfo4H 分析对齐误差的影响。 KT~J@];Fb kU$P?RD 2. 系统说明 5<w"iqZ\?N A\ds0dUE 参考光路 "(5A5>  )` -b\8uw 3. 建模/设计结果 #qWa[kB p)vyZY[ \!j{&cJ 4. 总结 ,u^i0uOg A]`63@- . 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 6pDb5@QjTy hu%rp{m^, 1. 仿真 \2 &)b 以光线追迹对干涉仪的仿真。 _?#}@? 2. 计算 |UZPn>F~ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ,+<NP}Yg#G 3. 研究 YdX#` 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 o7S,W?;=5
TzmoyY 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 +C1/02ZJ ^]o]' 应用示例详细内容 b<};"H0a 系统参数 (.4mX
t 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 +Rn]6}5m\ c7X5sMM, 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 +:pjQ1LsJ .9{Sr[P 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 Q+'mBi} >M[wh> 2. 说明:光源 5VdF^.:u ]f#ZU{A'mt $HT
{}^B 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 Tn,'*D@l 因此,相干长度大于1m S{gB~W 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ^+tAgK2 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 pt<!b0G ^M6xRkI
J[2c[|[- v?BX 4FO 3. 说明:光源 3Xyu`zS& )w_0lm'v{r Gh}sk-Xk= 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 QxG:NN;jW 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ]+\;pb}bq 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ce-5XqzY@ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 Z8$n-0Ww 4. 说明:光学元件 Mu$9#[/ rdZk2\< nylrF"'e 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 3tY\0y9 位相延迟平板材料为N-BK7。 swV/Mi> 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 2iC7c6hc 透镜材料为N-BK7。 /\P3UrQ&] 其中心厚度与位相平板厚度相等。 B|U*2|e ^[6eo8Ck> U86bn(9K 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Y1? wf. L]I ;{Y ?
hU0S 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 ={ P 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 I:M]#aFD a[d6@! 6. 分光器的设置 7qj<|US W@U<GF1 /KGVMBifM e@N@8i"q5 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 +I1>;
{{ 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 A3D"b9<D 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 X:Z4QqT %_Gc9SI 7. 合束器的设置 7`-f N| d Bn/_ 'jh9n7mH ~5LlIpf36| 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 6\"g,f 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 W2cgxT ^y:!=nX^ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 k\(LBZ"vR =_~bSEqyRI k$]-fQM 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 ^W!w~g+ 应用示例详细内容 \yDr 仿真&结果 a&oz<4oT }i,LP1R 1. 结果:利用光线追迹分析
<sdC#j d +0(H
首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 (
-^- 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 #+$pE@u7A >a;0<Ui&Q 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 s*%pNE U /S9s%scAy f Cg"tckE 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 J3/2>N]/} 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 F?"#1je 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 i$`OOV=/e 2^Y@e=^A 3. 对准误差的影响:元件倾斜 .A 12Co YT:])[gVV 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 xF|P6GXg 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 J*V@huF 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 _19x`J3 |S0]qt? 4. 对准误差的影响:元件平移 ~+ _|J"\ Iu(j"b# 元件移动影响的研究,如球面透镜。 r(qAe{ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 VL6_in( 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 qU!xh) >v1E;-ZA 2@!Ou $W 5. 总结 O [Q;[@ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 t4HDt\}&k~ IC5[:UZ5] 4. 仿真 .4I"[$?Q 以光线追迹对干涉仪的仿真。 f(=3'wQ (jQ]<q%P 5. 计算 snU
$Na3 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 2Mqac:L T2Duz, 6. 研究 vpTYfE 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 DdAs]e|D[ JjO="Cmk/ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 K8>-%ns h5@v:4Jjo~ 扩展阅读 #f*,mY|> {/Mz/|% 1. 扩展阅读 J})#43P 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 BgPwIK
x Xgq-r $O2X 开始视频 ;;6e
t/8 - 光路图介绍 e-@=QI^, - 参数运行介绍 >$^v@jf - 参数优化介绍 JI&ik_k3 其他测量系统示例: QY$Z,#V) - 迈克尔逊干涉仪 X9:4oMux7
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