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测量系统 !8g
y)2 RBXoU'. 应用示例简述 :q=OW1^k^ 5f5ZfK3<i 1. 系统说明 >W<5$ .G mm 8O 光源 }dz(DPd — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) J\V(MN, 元件 #5D+XB T — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 "DpQnhvbB 探测器 [xPE?OD — 干涉条纹 f"Iyo:Wt 建模/设计 cF2/}m] — 光线追迹:初始系统概览 N;Hv B:c — 几何场追迹加(GFT+): f/yK|[g~ 计算干涉条纹。 bhmjH(.t 分析对齐误差的影响。 To`?<]8 K="+2]{I 2. 系统说明 *QG;KJ% v,0D GR~ 参考光路 #7=LI\  ooQ( bF 3. 建模/设计结果 >=H8>X H<;j&\$q U&R$(k0zS 4. 总结 TE~@Bl;{?c RHbwq] 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 F!{SeH: YC'~8\x3z 1. 仿真 $w\ , ."y 以光线追迹对干涉仪的仿真。 L nGSYrx1 2. 计算 7Cf(y'w^ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 B*IDx`^Y 3. 研究 U4gJ![>5j 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 z3]U%y(, _=5ZB_I 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 F S:WbFmc k6BgY|0g C 应用示例详细内容 <.ky1aex7 系统参数 :(Bi{cw 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ^%pwyY\t Ks(U]G"V 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 5b p"dIe V-jL`(JF% 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 Vi WgX. Ziimz}WHF 2. 说明:光源 @k<~`S~| 03@|dN 99K+7G\{ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 R:N-y."La. 因此,相干长度大于1m _+iz?|U 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 AHJ;>"] 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 U.OX*-Cd Oy$BR
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W?-BT >#s Ah{pidUx 3. 说明:光源 $:!T/*p* bl_WN|SQ PBtU4) 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 NCt sx /C 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ()?co<@(l 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 bq-\'h
f< 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 (}1f]$V 4. 说明:光学元件 &Q>'U6"% yXg1N
N ~e9INZe-j 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 mcr#Ze
位相延迟平板材料为N-BK7。 7G/|e24 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 F*VMS 透镜材料为N-BK7。 ZGhoV#T@ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 4&hqeY3 ^]&{"! [[h)4H{T 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 -i5g 8t' u7Y< ~ 92VX5?Cyg 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 U^BXCu1km 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 :b*`hWnQ _PUm
Pom. 6. 分光器的设置 Cnci%eo j%jd@z ]@ h./vTNMc FNCLGAiZ 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 `yX+NRi(s 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 O) %kl 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 e.|RC R+VLoz*J6 7. 合束器的设置 5|G3t`$pa nvo1+W(% p6*a1^lU6 gzCMJ<3!D 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 "4uUI_E9F; 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 MI'l4<>u p6Dv;@)Yn 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 9$V_=Bo uf'P9MA}> [j]J_S9jJ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 i z>y u[| 应用示例详细内容 [=ak>>8 仿真&结果 _JJKbi I5yd )72 1. 结果:利用光线追迹分析 |\n)<r_ R|J>8AL}BY 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 C=aj& 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 3k*:B~1 +M
O5'z 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 <C"N X ca3BJWY}J dwbY"t[9 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 }42qMOi#w1 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 <ivqe"m 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 n vpPmc |k
.M+ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 1;kG[z=A _O)2 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 K*U=;*p) 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 `I vw`} L 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 /z)3gsF vgA!?P3 4. 对准误差的影响:元件平移 'Rkvsch oz0n$`O$/ 元件移动影响的研究,如球面透镜。 RJ}yf|d-C 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 :7Z\3_D/ 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 k CW!m Ns|V7|n] iPY vePQ 5. 总结 9p\Hx#^ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ;Ma/b= Y Pm#x?1rAj 4. 仿真 nze1]3` 以光线追迹对干涉仪的仿真。 WW[`E N{V5 D 5. 计算 jQxPOl$- 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 T7lj39pJq N?=qEX|R 6. 研究 x<*IF,o 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 '/u:,ar N[bRp 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 b1+hr(kMRM f05"3L: 扩展阅读 wCU&Xb$F Cwsoz 1. 扩展阅读 ZO%fS'n 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 .kbr?N,' N0K>lL= 开始视频 e>,9]{N+$ - 光路图介绍 BbXU|QtY - 参数运行介绍 uhTKCR~ - 参数优化介绍 yxG:\y
b 其他测量系统示例: ;-9zMbte: - 迈克尔逊干涉仪 FYXw$7'l
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