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测量系统 E'(nJ .c0u##/0 应用示例简述 ,&o^}TFkg uwZ,l-6T 1. 系统说明 [/VpvQ' 1\Pjz
Lj 光源 o8hE.pf& — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) PB5h5eX 元件 UX<-jY#'V — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 *p#@W-:9E 探测器 k)X\z@I' — 干涉条纹 U?5lqq 建模/设计 v2p0EOS — 光线追迹:初始系统概览 s8P3H|0.- — 几何场追迹加(GFT+): hN]l
$Ct 计算干涉条纹。 hiA\~}sl n 分析对齐误差的影响。 }Q ]-Y : 0( A ?& 2. 系统说明 yG7H>LF?8 ">eled)O 参考光路 T]zD+/=  {x_cgsn 3. 建模/设计结果 -qHG*v, d,Oagx .y3E@0a 4. 总结 -zqpjxU: ~1twGG_; 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 .>.GQUr CmBgay 1. 仿真 o|c6=77043 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Gau@RX:O 2. 计算 BmccSC;o4 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 \)wch P_0 3. 研究 j u"?b2f 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 oSkQ/5hg. bM:4i1Z 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 -o`K/f}d u~Po5W/i 应用示例详细内容 S<cz2FlV 系统参数 [)GRP 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 y %61xA`# D M+MBK
通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 _5~|z$GW Fw{@RQf8 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 j%-Ems*H pUF JQ* 2. 说明:光源 ~OPBZ# 3\
Mt+!1{ 8#Z)qQWi_t 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 KB :JVK^ < 因此,相干长度大于1m Tj_K5uccU} 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 S#B%[3@ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 9lR6:}L7 HR8YPU5
a3\~AO H% c$2kR: 3. 说明:光源 -Fn/= V4ePYud;^ etiUt~W 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 %7aJSuQN% 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 f77W{T4 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 $hcv}<$/ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ]GY8f3~|{ 4. 说明:光学元件 L
FJ@4]%V 7sOAaWx \ moLQ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ^\Q,ACkZb 位相延迟平板材料为N-BK7。 0|tyKP|J 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 IE996
透镜材料为N-BK7。 y] D\i5Xv 其中心厚度与位相平板厚度相等。 X=)L$Kd7 a6./;OC bO/r1W 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 m[2[9bQ0 ||pOiR5 /4pYhJ8S 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 uKM` umE 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 I5l%X{u"N 4_j_!QH87 6. 分光器的设置 :'C?uk ? .*njgAq7 .`+~mQ
Wn hDW_a y4 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 m)pHCS 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 h~Z &L2V 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 ?zutU w/m mkyYs[ 7. 合束器的设置 f['lY1#V1 5Wa)_@qI)` |g^YD;9s. f:~G) 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 K g#Bg## 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 9(S=0< :M{
)&{D 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 27c0wzq t855| cRr3!<EZ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Ayqs~&{ 应用示例详细内容 x
zF 仿真&结果 e#h&Xa 9M9Fif. 1. 结果:利用光线追迹分析 2(3Q#3V i_AD3Jrs 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 M$ieM[_T 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 #'%ii,;wQ AU`z.Isf 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 "A~dt5GJ 3T]cDVQ_ rqN+0CT 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 leNX5 sX 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 M=;csazN 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 J0R{|]W8 .Er+*j;&w 3. 对准误差的影响:元件倾斜 FN!?o:|( l}^ziY! 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 s,[I_IiPf 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 MDIPoS3BRa 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 j1{`}\e ti9e(Jt!O 4. 对准误差的影响:元件平移 &XCd2 >E4,zs@7t 元件移动影响的研究,如球面透镜。 Lc}hjK 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 iExKi1knx 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 wAi7jCY%OY R||$Rfe Wq}6RdY$ZA 5. 总结 vD9.X}l] 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 b1IAp >*2l GOA
dhh- 4. 仿真 ;7qzQ{Km 以光线追迹对干涉仪的仿真。 aDX&j2/ h~
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5. 计算 zB+e;x f | 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 [|*7"Q( zJ8T.+qJ 6. 研究 1:T"jsWw 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 !fAvxR |-/@3gPO 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 jMI30 {RI^zNgs[ 扩展阅读 {*hFG:u (
EJ1g^|" 1. 扩展阅读 sXPva@8_ 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 lj&\F|-i 4pXY7+e2' 开始视频 Q/Z>w+zh# - 光路图介绍 b+whZtNk7 - 参数运行介绍 .0U[nt6 - 参数优化介绍 5X];?(VTsb 其他测量系统示例: NkGtZ.!pk - 迈克尔逊干涉仪 Er@xrhH
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