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测量系统 Z @ef2y; #g0N/ 应用示例简述 (@qS *'aouS/?<6 1. 系统说明 !$>b}w' :]CL}n$* 光源 |v5
ge3- — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) %<[{zd1C- 元件 `~"'\Hw — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 [{Q$$aV1 探测器 0a#v}w^* — 干涉条纹 (E&M[hH+ 建模/设计 S]~5iO_bst — 光线追迹:初始系统概览 .:B>xg~2 — 几何场追迹加(GFT+): DHx&%]r;D 计算干涉条纹。 P8|ANe1
v 分析对齐误差的影响。 V2M4g m%>}T75C^ 2. 系统说明 O8_!!Qd qSG0TWD!pq 参考光路 }4H}*P> +  3S2Alx!6 3. 建模/设计结果 *" C9F/R -)3+/4Q( A'b$X1h 4. 总结 '5[(QM5Gi& )b>misb/ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ,|>>z#Rr(n SK^(7Ws~0 1. 仿真 W*#5Sk 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Ip=QtNW3\ 2. 计算 XMT@<'fI 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ^Jq('@ 3. 研究 @xa$two 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 b=pk;'- R){O]<+ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ;in-)`UC! 2nCc(F&+? 应用示例详细内容 u a_w5o7 系统参数 ~> lqEa 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 /IJy'@B ;v2eAe@7 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 CI$z+zN yt="kZ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 vt* K%mR=u#%& 2. 说明:光源 qGEp 6b H ty
rP[y 7Re\*[)T 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 nqUnDnP2c 因此,相干长度大于1m $qdynKK 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 0H^*VUyW/ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 `67i1w` Q~svtN
udA@9a^; |m"Gr)Gm 3. 说明:光源 r hucBm E?P>s T3B RJerx:] 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 g)r{LxT# + 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 xsJXf @ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 sCrP+K0D 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 (PGw{_ 4. 说明:光学元件 Rk#'^} O_4B>
)zd 43M.Hj] 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 7g+T 位相延迟平板材料为N-BK7。 ~S;-sxoO0l 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 ;
YQB 透镜材料为N-BK7。 /(hTk& 其中心厚度与位相平板厚度相等。
3x+=7Mg9 7_l
Wr K|-m6!C!7 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ]3f[v:JQ v G\J8s 5 D^#6h 4 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 @_-,Q5 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 rM
A%By^L- *!&?Xy%\"j 6. 分光器的设置 o ^UOkxs.
J@_^] vn$=be8l4 }s<;YC 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 ^GY^g-R 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 Y!_c/ !Tx 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 hB.8\-}QMq pY
)x&uM! 7. 合束器的设置 md'wre3 n~|?)EL <iU@ M31 ut560,h~ 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 S!=R\_{u$ 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 {fHor Er
j{_i?R? 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 r.zgLZ}3&V jF}kV%E GEf=A.WAfw 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 !JrKTB% 应用示例详细内容 cRrJZ9 仿真&结果 Q}lCQK/g f7Nmvla[q 1. 结果:利用光线追迹分析 ;iKtv+" ^#Q-?O 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 B47 I?~{ 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 A~a 3bCX+" P*
0kz@ 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹
O]=jI CV"}(1T z!bT^_Cc0 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 -sJD:G,% 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 {X(nn.GpC 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 9Q s5e 1[Yl8W%pj 3. 对准误差的影响:元件倾斜 vMou`[\WlJ t}h(j| 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 JnK<:]LcK 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 Q?>r:vMi 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 ~210O5^ @hg[v`~ 4. 对准误差的影响:元件平移 L
QV@]z& h092S |iY 元件移动影响的研究,如球面透镜。 ]ASw%Lw) 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 Ka(B&. 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 ZXYyG`3+ CS~onf<xz gF)-Ci 5. 总结 Kj
@<$ChZw 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 \^dse ~%>i lWaHB 4. 仿真 _%2ukuJ ` 以光线追迹对干涉仪的仿真。 `0]N#G
T ]`x+wWe 5. 计算 7:vl -ZW 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 .cs x"JC "]]LQb$ 6. 研究
p )JR5z 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 #bt f|\D p! :oT1U 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 _dk[k@5W{' *Ts$Hj[ 扩展阅读 m"Mj3Z: Y3[KS;_fr9 1. 扩展阅读 UwS7B~ 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 =
>TU Bcv{Y\x;ko 开始视频 '12*'Q+{+ - 光路图介绍 Het"x - 参数运行介绍 >fP;H}S6 - 参数优化介绍 +fboTsp% H 其他测量系统示例: |-S!)iG1V - 迈克尔逊干涉仪 s;oe Qa}TB
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