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测量系统 Zq1> M'V; "[A&S! 应用示例简述 G@ybx[_[@ z}5'TV=^ 1. 系统说明 c?xeBC1- 79Q,XRWh| 光源 xop\W4s_ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) !5m~qet. 元件 N]c:8dOj — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 IP !zg|c, 探测器 +W>tdxOh — 干涉条纹 (o6u^#6 建模/设计 qy\SOAh — 光线追迹:初始系统概览 Rx%kAt2X — 几何场追迹加(GFT+): AsZyPybq 计算干涉条纹。 QIN# \ 分析对齐误差的影响。 jAt65a K1<l/
s 2. 系统说明 $[=`*m DML0paOm5 参考光路 |@-y+vbA*  gJOswN;([ 3. 建模/设计结果 jTQN(a9Y b[;3y/X
n |,} 4. 总结 E\}Q9,Z$ '?fn} V 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 9*|An @qJv 1. 仿真 m}
=<@b:l 以光线追迹对干涉仪的仿真。 )./'RE+(k 2. 计算 &P8Q|A-u 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 [7)#3 3. 研究 8>:2li 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 IZ4jFgpR M[T!AO-S$ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 9>@"W- Sag\wKV8 应用示例详细内容 h"nv[0!) 系统参数 ~Uz|sQ*G 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 1hp@.Fv !C0=
h 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 m7mC
7x -3b0;L&4>x 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 L'h'm{i 6Ue6b$xE 2. 说明:光源 C[$<7Mi|; V'?nS&,i *JOv 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 g(;ejKSR 因此,相干长度大于1m IPE( 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 mKq9mA"(E 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 DFjkp;`1 K<_H`k*x
L,X6L @Q -XY]WWlq 3. 说明:光源
n#]G!7 /ci.IT$Q^ RMrt4:-DI 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 L_Ai/' 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 +l3
vIN 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 Wj*6}N/ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 Ip1QmP 4. 说明:光学元件 KoXXNJax n2O7n@8 Em.? 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 pcl_$2_ 位相延迟平板材料为N-BK7。 3i$AR 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 p9sxA|O=y
透镜材料为N-BK7。 <*5D0q#~" 其中心厚度与位相平板厚度相等。 |m EJJg`"7 0UB'6wRVo U&a]gkr 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 9VY_gi=vL Cw2+@7?| G0&w#j 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 q
B2#EsZ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ) D`_V.,W _1JvA- 6. 分光器的设置 p.IfJ| Zj^H3h Tuy*Df MU^Z*r 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 6u7HO-aa 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 y@z#Jw< 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 K=>/(sWiq Zj0&/S 7. 合束器的设置 v>P){VT p 5'\< gQ zC^Ib&gm>, abv] 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 OWkK]O 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 n#fg7d% 5VcYdu3 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 ={oO9.9 MG@19R2s S {H8}m|MW 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 }bTMeCgI 应用示例详细内容 #>V;ZV5" 仿真&结果 3IxT2@H) ),Rj@52l 1. 结果:利用光线追迹分析 KKzvoc?Bt J.d `tiN 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 `F@yZ4L3S 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 M>#{~zr {Q"<q`c 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 o_5@R+& U|QDV16f -d~'tti 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 WveFB%@`; 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 "8I4]' 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 !]nCeo ublY!Af 3. 对准误差的影响:元件倾斜 ZjK~s)RC 4SrK]+| 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 m~K]|]iqQ 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 HKwGaCj` 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 v>5F[0gE gr=`_k4~1 4. 对准误差的影响:元件平移 )em.KbsPPF Y(f-e, 元件移动影响的研究,如球面透镜。 >vU
Hf`4T 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 IY&a! 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 ,d+mT^jN %ab79RS]C -G 'lyH 5. 总结 aBnbu
vp 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 pS\>X_G3 I'C,' 4. 仿真 Ln|${c 以光线追迹对干涉仪的仿真。 A@OV!DJe] EoeEg,'~F 5. 计算 3@L%#]xwi 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 *@nUas2" i`$rzXcS 6. 研究 s|'L0` <B 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 MjTKM; D.b<I79bX 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 sh2bhv] `%3p.~> 扩展阅读
lijy?:__ W\7*T1TDj 1. 扩展阅读 M'iKk[Hjfx 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 l0{DnQA>I Tt|6N*b' 开始视频 <4,?lZ - 光路图介绍 0)!zhO_} - 参数运行介绍 <*(R+to^d - 参数优化介绍 "S:N-Tf%U 其他测量系统示例: +.I'U9QeUN - 迈克尔逊干涉仪 P;&p[[7
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