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测量系统 FHy76^h>e {!ZyCi19 应用示例简述 !.-tW7 rt]S\
1. 系统说明 @z6!a WiNT;v[ 光源 p?(L'q"WK — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) hVoNw6fE 元件 fT:}Lj\L1 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 .W\ve>; 探测器 O[~x_xeW — 干涉条纹 W@L3+4 建模/设计 KHiFJ_3 — 光线追迹:初始系统概览 xc
1A$EY — 几何场追迹加(GFT+): huFz97?y( 计算干涉条纹。 "vF
MSY 分析对齐误差的影响。 r2*<\ax noVa=aU^ 2. 系统说明 suJ_nb Y,z??bm~J 参考光路 wjU.W5IR  H(u+#PIIw 3. 建模/设计结果 *}b]rjsj ?v]-^X=& ^z1IN-Tm/ 4. 总结 l?N`{,1^ ucYkxi`x 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 f*((;*n; 6/ g%\ka 1. 仿真 T(X:Yw 以光线追迹对干涉仪的仿真。 n"{X!(RIcx 2. 计算 JV"NZvjN7d 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 4z4v\IpB 3. 研究 M.%shrJ/ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 PB'0?b}fab O??vm?eo 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ,krS-. y%B X]~ 应用示例详细内容 g#^|oYuH6 系统参数 6k0^ x Q 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 /"AvOh* #Fd W/y5 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ^tAO_~4 "X1vZwK8N 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 60B-ay0e$b mMw;0/n 2. 说明:光源 V2znU +H'\3^C- a<Uqyilm 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 q=c/B(II! 因此,相干长度大于1m W? ,$!]0 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 s${_K* g6 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 T-L5zu |"k&fkS$
-e>|kPfv! \P?ToTTV 3. 说明:光源 hb^!LtF#Y sOC&Q&eg L'kq>1QWf 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 mBl7{w;Iv 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。
,+L
KJl 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 +$pJ5+v 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 *Z kss 4. 说明:光学元件 UmP'L! L7q | ^` #s"B-sWE 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 V/y=6wUiSl 位相延迟平板材料为N-BK7。 T0|H9>M 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 uEd,rEB> 透镜材料为N-BK7。 xPQL?. 其中心厚度与位相平板厚度相等。 zXre~b03ZS `BT*,6a aWvd`qA9r 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 |-kEGLH[*V kV)'a n(&*kfk 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 4;<DJ.XlN= 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ])$S\fFm XVUf,N, 6. 分光器的设置 S<oQ}+4[~ hx!`F k&GHu0z -9G]x{> 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 9*p G?3*I 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 !<Z{@7oH 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 `"Dy%&U |=3 *;} 7. 合束器的设置 ?)cJZ>$!w .cR*P<3O (!n-Age N$Hqa^!'T 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 `^%GN8d}nm 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 1g i}H) raQYn?[ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 >eo8 L?f qcW{ 3wNN<R 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 kPJ~X0Fr{t 应用示例详细内容 FOp_[rR
仿真&结果 2u&c
&G OK\]*r 1. 结果:利用光线追迹分析 \X opU" l$`G:%qHj 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 r5)f82pQ 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 ,4Y sZ Wf1-"Q 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 h544dNo& )/TVJAJ }85#[~m' 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 +~:0Dxv W 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 h.LSMU (O 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 s}!"a8hU` s=j O;K$ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 j&}B<f _6J +-k`x0v 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 2$Y3[$ 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 H2]BMkum 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 D4\(:kF\Hg j)@oRWL< 4. 对准误差的影响:元件平移 <Am^z~[ m2MPWy5s 元件移动影响的研究,如球面透镜。 qid1b
b 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 B#4S/d{/ 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 s.ey!ew k`Y,KuBpM Faw. GU 5. 总结 3DHvaq q7 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 lMPbLF%_ D2-O7e 4. 仿真 T/3;NXe6E 以光线追迹对干涉仪的仿真。 8Nv-/VQ/b t9n'! 5. 计算 "p2u+ 8? 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ,|>nF;.Y 3~8AcX@ 6. 研究 ;WPI+`- 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 IT7:QEfKU ~M(pCSJ[ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 <#!8?o&i (N9`WuI 扩展阅读 :4b- sg# ;W =by2x* 1. 扩展阅读 @~Rk^/0 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 {S# 5g2 0$(jBnE 开始视频 *+# k{D, - 光路图介绍 13]y)( - 参数运行介绍 y& Gw.N}<r - 参数优化介绍 O/'f$ Zj36 其他测量系统示例: yA457'R1 - 迈克尔逊干涉仪 (rMTW+,
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