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测量系统 q@\_q! [-CG&l2?L 应用示例简述 ex|kD*= r zvX~B6 1. 系统说明 eyE&<:F#J <G&v 光源 7d<v\=J} — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) cpy"1=K~M 元件 kDz.{Ih — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 oby*.61?5l 探测器 O-B3@qQ. h — 干涉条纹 =QC^7T 建模/设计 x'KsQlI/
— 光线追迹:初始系统概览 eeDhTw9 — 几何场追迹加(GFT+): F9<OKcXH 计算干涉条纹。 wiGwN 分析对齐误差的影响。 Stc\P]%d 4tC_W!?$t 2. 系统说明 &Ch)SD 9=o
b: 参考光路 7^iAc6QSy3  s +GF-kJ* 3. 建模/设计结果 jgstx3 j"V$J8)[ Om^/tp\ 4. 总结 \fhT#/0N
IF:M_
马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 WAa?$"U2 3dbf! 1. 仿真
>ob/@ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 r#Mx~Zg~ 2. 计算 .$k"+E 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 l+6\U6_)B 3. 研究 ]/bE${W*] 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 'l:2R,cP s]N-n?'G" 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 g@2.A;N0 #SYWAcTkO} 应用示例详细内容 Q#N+5<]J)# 系统参数 6:,^CI|@t 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 9X%Klm 5w _E;Y
~I,i 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 v2{O67j}
o p[)<d_ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
SoX V ]cr;PRyv 2. 说明:光源 (HI%C@e9 ~Hs{(7 ddP,_.0 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 bw\=F_>L 因此,相干长度大于1m ;N\?]{ L 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 =dBrmMh 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 H1nQ.P]_ _);Kb/
cnthtv+(~ 1 =<|h 3. 说明:光源 6\;1<Sw* YZl%JX ^rwSbM$ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 _w;+Jh 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。
A232"p_ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 fO^6q1a 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 .Qt3!ek 4. 说明:光学元件 a1SOC=.M; l*Ei7 |Z ]5fM?: <l 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 }yw;L(3 位相延迟平板材料为N-BK7。 +
nS/jW 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 ~C/KA6H 透镜材料为N-BK7。 ^gzNP#A<'o 其中心厚度与位相平板厚度相等。 >UY_:cW4%m 7[BL 1HI* ~C'nBV 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 gF6j6 Ok&>[qu hxVM]e[ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 V1)P=?%(US 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 /dt!J
`: VtiqAh}4 6. 分光器的设置 %J7mZB9 zL'IN)7MU Us,[x Q (V.,~t@ 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 wp.e3l 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 @O}j:b 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 7&V^BW ^:DhHqvK 7. 合束器的设置 Dh No +"!z arS'th:j m}[~A@qD jne9=Als5 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 ]H#Rm#q 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 |vN@2h(|" ](>7h_2B 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 `.(S#!gw M
|?p3% .xkV#ol 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 BrH;(*H)8 应用示例详细内容 CKt|c!3 7 仿真&结果 VnSj:LUD iW1ih QX 1. 结果:利用光线追迹分析 Of7) A Di<J6xu 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 h2"|tTm,a 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 j22#Bw 0*Km}?;0- 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 'SU9NQS O%K?l}e ccn`f]5w 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 ;5Vk01R 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 f:[d]J| 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 4nII/cPG iCnUnR{ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 YNC0Z'c9 ?[S
>&Vq 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 nN=:#4
>Y 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 hG~]~ ) 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 $;2eH 52MCU l 4. 对准误差的影响:元件平移 a|P~LMPM co^P7+j 元件移动影响的研究,如球面透镜。 ?$J7%I@ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 !*?(Q6 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 d@6:|auO 827)n[#%| Ztyv@z'/Z 5. 总结 sh
!~T<yy 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 !
[|vx!p iijd$Tv 4. 仿真 *]m kyAhi 以光线追迹对干涉仪的仿真。 k?["F%)I <RoX| zJw 5. 计算 V+=*2?1 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 sm2p$3v UN *dU 6. 研究 lbKv 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 b#p~F}qT \za5:?[xB 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 T6R7,Vt'v ?)?IZ Qj 扩展阅读 m0I #
1o|0x\ q 1. 扩展阅读 JA?,0S 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 y\)G7
( eg$5z
Z 开始视频 mEB2RLCM - 光路图介绍 'YZI>V* - 参数运行介绍 6bbZ<E5At - 参数优化介绍 =j|v0&
AGC 其他测量系统示例: (>rS
_#^ - 迈克尔逊干涉仪 }\`(m\2xo
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