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测量系统 cVubb}ou k,'L}SK 应用示例简述 |?rNy=P, >_e]C}QUr 1. 系统说明 {)"iiJ /s?r`' j[ 光源 Ey_" ~OB — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) #1`-*.u 元件 *FC=X) _&W — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 L%BNz3:Dt 探测器 k40* e\ — 干涉条纹 2r!s*b\Ix 建模/设计 <0H"|:W>I] — 光线追迹:初始系统概览 AmaT0tzJC — 几何场追迹加(GFT+): 8)O[Aq:: 计算干涉条纹。 ERpnuMb 分析对齐误差的影响。 x97
j $>GgB` 2. 系统说明 Y,WuBH >_o} 参考光路 XM1WfjE\  )=5ng- 3. 建模/设计结果 #bMuvaP~ JQ,1D`?.a T^ w36}a 4. 总结 S/^"@?z,vE <<(wa
j 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 'XZ)!1N MOsl_^c 1. 仿真 BnCbon) 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ])L
A42| 2. 计算 9A}# 6 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 F">Qpgt 3. 研究 "ul {d(K3 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 0(mkeIzJt/ Ko;{I?c 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 29!q!g | K@#(*." 应用示例详细内容 odPL{XFj 系统参数 9:,V5n= 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 V>ieh2G( !OBEM1~
1 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 Ys@}3\Mc 30XR
82P/ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 wW#}:59} )^4\,u\@ 2. 说明:光源 p$h4u_ XLAN Np%E #Yr9AVr}K 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 $4tWI O 因此,相干长度大于1m ;\lW5ZX 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 HvM)e.! 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 Hz.(qW">5* Z7_m)@%;kk
wm)#[x # Ys,{8Y,7 3. 说明:光源 !R1.7}O VwOW=4`6 ZHGC6a!a 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ix(=3/Dgz 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 GFel(cx:K 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 O)ME"@r@: 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 LUC4=kk4 4. 说明:光学元件
T9]HGB{ 9T|IvQK8 ]@uE#a:[ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ZCB_ 位相延迟平板材料为N-BK7。 J.ck~;3 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 GlbySD@ 透镜材料为N-BK7。 Q\cjPc0y 其中心厚度与位相平板厚度相等。 JMH8MH* oo=Qt(# A8pIs 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ))&;}2{ Hm$=h>rY9[ Aj2OkD 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Xlb0/T<g! 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 xZ4~Oo@@_' ~$p2#AqX 6. 分光器的设置 "FTfk M@?xa/E64 _T2=J+"-Kp `FsH}UPu
b 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 X LL/4 ) 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 L{(QpgHZ 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 ?r?jl;A& tQH+)* 7. 合束器的设置 ^4,a 8` (cN}Epi(D Q5FM8Q JaK}| 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 m< 3Ao^I+ 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 "g'jPwFG 7vABq( 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 |7X:TfJ 6S+U&Ce\ Db6om7N 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 /Wy.>YC| 应用示例详细内容 '1$!jmY 仿真&结果 N_pJk2E s1e:v+B] 1. 结果:利用光线追迹分析 %-<'QYYP Clh!gpB c 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 Sr%;fq 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 NMww>80 7c~u=U" 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 FIbp"~ 3"G>>nC& de>v 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 (s{RnD 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 6%fKuMpK( 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 S-YM%8A[ XK: 9r{r{ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 HO[wTB|D] TEMw8@b 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 *X4PM\ck 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 VMCLHpSfW 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 k%E2n:|* Fr%d}g 4. 对准误差的影响:元件平移 =IUUeFv +r \#rIQOPl? 元件移动影响的研究,如球面透镜。 z^GDJddG 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 _z54Ycr4H 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 J]q%gcM Y}[ c^$S %~jkB.\* ) 5. 总结 l2&`J_" 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 SL,p36N h68]=KyK 4. 仿真 hAm`NJMSO 以光线追迹对干涉仪的仿真。 1ylk4@` ;L,mBQB?0b 5. 计算 ixV0|P8,c 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 JR@.R
,rII QjC22lW- 6. 研究 <ERB.d! 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 +Y
V|ij JMVNmq&0 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 MSV2ip3 QMsHC%l3b 扩展阅读 l27\diKPJ 1]}#)- 1. 扩展阅读 TO-nD> 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 %%Qo2^- ;r6jx"i 开始视频 rvyrxw%[ - 光路图介绍 [|lB5gi4t! - 参数运行介绍 4<x'ocKlD - 参数优化介绍 .-JCwnP 其他测量系统示例: m~>Y{F2 - 迈克尔逊干涉仪 '*Almv {
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