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测量系统 5yo%$i8I YnMvl 应用示例简述 1#2 I =zPCrEk0 1. 系统说明 vWv" g2ixx+`?|: 光源 KqJs?Won — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) KC6.Fr{ 元件 b3[!V{| — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 9T9!kb 探测器 gO- _ — 干涉条纹 ,PW'#U: 建模/设计 >Q;l(fdj — 光线追迹:初始系统概览 2- h{N — 几何场追迹加(GFT+): R|, g< 计算干涉条纹。 sb*G!8j 分析对齐误差的影响。 C2I_%nU Z1 I6av6t} 2. 系统说明 ie95rZp 0i>5<ej,f 参考光路 ()?(I?II  1(R}tRR7 R 3. 建模/设计结果 @Uvz8*b6 _ <V)-Y i9|Sa6vuI 4. 总结 1n8/r}q'H MKk\
u9 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 P3=G1=47U t%)7t9j 1. 仿真 |SSSH
以光线追迹对干涉仪的仿真。 d&Zpkbh" 2. 计算 lfgq=8d 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 rXP,\ ]r+ 3. 研究 L`TLgH&?R 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 8/#A!Ww] *:7rdzn 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ~,Ix0h+H+M JPHL#sKyz 应用示例详细内容 G e@{_ 系统参数 Dml;#'IF3 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 u
c)eil EME|k{W 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 _N cR)2 RbnVL$c 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 fTec
jB2[( 2. 说明:光源 nR~@#P\ ;igIZ$& h(dvZ=
% 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 (%6P0* 因此,相干长度大于1m 9$w.9`Py 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 5C]x!>kX 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ~ .g@hS8> !f[_+CD
"&u@d~`-n ]%H`_8<gc 3. 说明:光源 >+1duAC U7F!Z(
9 tcI*a> 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 !e<^?
r4 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 vvMT}-! 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
UI0VtR] 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 (w3YvG. 4. 说明:光学元件 wwZ ,;\ Yj49t_$b *i%d,w0+ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 4+8@`f>s 位相延迟平板材料为N-BK7。 ^ZcGY+/~ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 g!|kp? 透镜材料为N-BK7。 Q)h(nbbVak 其中心厚度与位相平板厚度相等。 %tGO?JMkd #;e:A8IQ vk^xT 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 F$]Pk|, d#FQc18v}k a1lh-2xX 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 d$!RZHo10V 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 73;GW4, u*`GiZAO 6. 分光器的设置 }Sv:`9= $U~]=.n TvbE2Q;/UL usF.bkTp 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 /U9"wvg 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 ON(kt3.h 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 F JyT+ ^
Ze=uP 7. 合束器的设置 zrb}_ `|q(h Ow2 e9B064 6i/(5 nQ 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 YaqJ,"GlT 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 rx|pOz,: %'pgGC"| 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 rey!{3U evmeqQG= > ~O.@| 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 1yhDrpm 应用示例详细内容 bk[!8-b/a 仿真&结果 ym1Y4, ww1[rCh\+ 1. 结果:利用光线追迹分析 K$=zi}J W wibNQ`4k 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 SmO~,2= 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 0g8NHkM:2a |A(Iti{v 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 S
f#
R0SA abVmkdP_s f/?P514h 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 Mo|2}nf 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 ~P-mC@C 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 ,ig/s2ZG6X pQB."[n 3. 对准误差的影响:元件倾斜 -QNh `R^g U]Z, 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 Mi_$">1-W 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
[$UI8tV 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 hhvyf^o JBZ@'8eqi] 4. 对准误差的影响:元件平移 seJ^s@H5l m1A J{cs 元件移动影响的研究,如球面透镜。 jL}v9$ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 Y'X%Aw;` 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 j?QDR w0unS`\4 9Mcae31 5. 总结 lyhiFkO
iH 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Wd
ELV3 Tlr v={ 4. 仿真 1o>xEWt:0K 以光线追迹对干涉仪的仿真。 6Kz,{F@ ~gt@P 5. 计算 u ^RxD^=L 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 M',?u %;!.n{X 6. 研究 _q^E,P 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 _@/8gPT*i 7{Wny&[0 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 xgtR6E^k Eh4=ZEX 扩展阅读 Dvln/SBk &)<)^.@3G^ 1. 扩展阅读 L}NSR 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 93hxSRw bg0Wnl 开始视频 \73ch - 光路图介绍 Ek}A]zC - 参数运行介绍 >
Nr#O - 参数优化介绍 |ENh)M8}r 其他测量系统示例: +"VP-s0 - 迈克尔逊干涉仪 [Vt\$
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