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测量系统 vbDSNm#Yv {iyO96YI[^ 应用示例简述 _* xjG \! $qoh0$ 1. 系统说明 VUo7Evc:.P [_jd 光源 #~
:j< =o — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) MQ9Nn|4 元件 `*A!vO8 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 +x7b9sHJ 探测器 -FAAP&LG — 干涉条纹 @Gh?|d7bD 建模/设计 O3?3XB> < — 光线追迹:初始系统概览 Zd~l_V f — 几何场追迹加(GFT+): /``4!jU 计算干涉条纹。 ^x! N] 分析对齐误差的影响。
[a\U8
w rNdeD~\ 2. 系统说明 5$v,%~$Xds jLANv{" 参考光路 /~,|zz  =~OH.=9\ 3. 建模/设计结果 D[m+=- 'Xl_,;W] aR
iD}P*V 4. 总结 M@G <I]\
h:[8$] 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 %s+H& vfQs igoXMsifT+ 1. 仿真 ;"*\R5a 以光线追迹对干涉仪的仿真。 7XZ5CX& 2. 计算 ,qx;kJJ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 0@FZQ$- 3. 研究 v<*ga7'S 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 l5> H\ dG6 G 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 xq?9w$ IfGmA.O 应用示例详细内容 h
0EpW5 系统参数 uxGY/Zf 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 m&GxLT6 QY]^^f 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 /rKdxsI* To x{Sk3L 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ^-s'Ad3 [k"@n+% 2. 说明:光源 8Z=d+}Gg< $6W o$c% E]^wsS>= 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 g4NxNjM; 因此,相干长度大于1m oKl^Ttr 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 xQ4'$rL1d 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 &f}a` /{@ O!0YlIvWv
X[Lwx.Ly8 Q(P'4XCm 3. 说明:光源 `Qf$]Eoft uXs.7+f }y<p_dZI 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 dQ4VpR9|; 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。
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%OA 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 J&64tQl* 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 >s@*S9cj: 4. 说明:光学元件 .hYrE5\- byj}36LN62 <A"T_Rk 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ~$#"'Tl4J 位相延迟平板材料为N-BK7。 =B}a +0u! 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 ;Up'+[Vj'C 透镜材料为N-BK7。 ZI'MfkEZ* 其中心厚度与位相平板厚度相等。 RUJkfi=$ Dc,h(2 gW{<:6}!* 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 5r=xhOe` XIM!] % D]vKv~< 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 2$>"4
N 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 `>M-J-J %SKp<>;9 6. 分光器的设置 g7($lt> `
u# ' P8tpbdZE- _:hrm%^ 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 sFqLxSo_I 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 9(;5!q,Gsg 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 Vej [wY-c "O{_LOJ 7. 合束器的设置 [>5<&[A !.(Kpcrg {H]xA 3[] r-M:YB 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 8@Zg@>, 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 kA`Z#yu fE1B1j< 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 hlY]s
&0 #fq%903=
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4"2X 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 l^.d3b 应用示例详细内容 ?LJDBN 仿真&结果 %4F
Q~ ET]PF ,` 1. 结果:利用光线追迹分析 =oN(1k^ tDWW
4H 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 &`#k1t' 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 I
r8,= (0L7Ivg< 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 RrFq" D?+\"lI N?xZ]?T 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 *&WkorByW 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
]/l" 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 PUt\^ke )?5027^ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 ~UrKyA 1u?h4wC 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 ;kSRv=S 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 Wo&WO
e 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
G.2\Sw }tq 4. 对准误差的影响:元件平移 y^PQgzm] h |Ofi 元件移动影响的研究,如球面透镜。 12 8aJ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 b3/@$x< 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 $w,?%i97 -^1}J cyM9[X4rC 5. 总结 W''%{A/' 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 5yOIwzr&Uu }BF!!* 4. 仿真 wM$N#K@ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 1M1|Wp I5nxY)v 5. 计算 _&(\>{pm 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ?c G~M|@ NCW<~ 6. 研究 Q6Ay$*y=D 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 s9[?{}gd cTC -cgp 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 oo+i3af&7 BiFU3FlTf 扩展阅读 KT5amct {gL8s
1. 扩展阅读 4*AkUkP:T 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 2 m"2>gX FUt{-H!< 开始视频 y?6J%~\WP - 光路图介绍 .Us)YVbk - 参数运行介绍 `w&A;fR!H - 参数优化介绍 ;;4>vF#* 其他测量系统示例: 2XX- - 迈克尔逊干涉仪 k.."_4
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