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测量系统 3+n&Ya1 ;=UrIA@y;= 应用示例简述 Q6}`% : 2?i9F0_ 1. 系统说明 !f7}5/YC7v W.0dGUi* 光源 {u9VHAXCf — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ;[dcbyu@ 元件 4fpz;2% — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 E;-R<X5n 探测器 W0gaOew(^ — 干涉条纹 eeB^c/k(P 建模/设计 A"S}) — 光线追迹:初始系统概览 hiP^*5h — 几何场追迹加(GFT+): pN%L3?2 计算干涉条纹。 7i6-Hq 分析对齐误差的影响。 5^P)='0* G4<'G c 2. 系统说明 o?hya.;h4 DZLSn Ax 参考光路 !;iySRZr  fE_QB=9 cz 3. 建模/设计结果 8$3 Tu"+; fdp/cwd 2/>AmVM 4. 总结 t^u X9yvx p^~lQ8t 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 O`|'2x{[O atW;S99# 1. 仿真 :ykQ[d`:| 以光线追迹对干涉仪的仿真。 uCUQxFp 2. 计算 ^*}L9Ot~ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ~} wPiu, 3. 研究 4MIL#1s 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Hh54&YKZ Ybd){Je"z 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 :5h&f G%rK{h 应用示例详细内容 D97oS!* 系统参数 rD<@$KpP 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 yuKfhg7 F(@|p]3* 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 h r t\ oOQnV(I 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 w 7=Y_ m<"1*d~ 2. 说明:光源 uX`Jc:1q3 Y@#~8\_ !;fkc0&! 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 \]y$[\F> 因此,相干长度大于1m m}F1sRkdQ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 _|H]X+| 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 fN t vbFY}
%2/WyD$U 4S03W
3. 说明:光源 #4d0/28b !BK^5,4?-- C"hc.A&4 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 VWbgusxJ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 HykJ}ezX4 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 /mqEc9sq, 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 c#Ux{^ZE 4. 说明:光学元件 =EV8~hMyqh 8kO|t!?:U $,'r}
% 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 c5O1h8 位相延迟平板材料为N-BK7。 HM ^rk 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 &/a/V 透镜材料为N-BK7。 !~>u\h 其中心厚度与位相平板厚度相等。 k]I<% S{fNeK @8V8gV?zm 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 2+y4Gd 7 Q.vtU%T nFxogCn 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 *B@<{x r 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 & |