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测量系统 j)]'kg EjF}yuq[ 应用示例简述 sXydMk`J CX:^]wY 1. 系统说明 QO?ha'Sl 05zHL j 光源 bFVdv&
— 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) HOD2/ 元件 iwVra"y — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 y,r`8 探测器 R utW{wh — 干涉条纹 dyp]y$ 建模/设计
%F 4Q| — 光线追迹:初始系统概览 GS$k — 几何场追迹加(GFT+): 8qc%{8 计算干涉条纹。 /~^I]D 分析对齐误差的影响。 >4VU -'N#@Wdr 2. 系统说明 Q* 4q3B& eHJ7L8# 参考光路 S]o  q%'ovX(dm 3. 建模/设计结果 }?~uAU- X
or ,}. w I L=v[)en4 4. 总结 ZB2'm3'bh NY;UI(<] 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Gu}x+hG [.I,B tY+ 1. 仿真 MUe'xK 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Q)@1:(V/ 2. 计算 _l,Z38 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 pkU e|V 3. 研究 8k1r|s@d 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 "^=[*i A{J 1 n 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 0C p} Fa!)$eb7 应用示例详细内容 7gMtnwT 系统参数 <D dHP 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 r:5Ve&~ M$W#Q\<*#r 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 4d 3Znpf -Wn.@bz6B 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 PM.SEzhm
b:QFD| 2. 说明:光源 0xxzhlKNL Q kZM(pG yKB[HpU- 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 /kA19E4 因此,相干长度大于1m U>+~.|'V9 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ;a3nH 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 &o/4hnHYt a!:8`X~[/$
Doh|G:P]# B# ?2, 3. 说明:光源 3N"&P@/0x "k<:a2R ]jb4Z 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 {g- DM}q 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 1D[P\r- 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 cQ.;dtT0 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 :2pBv#\"qk 4. 说明:光学元件 {?mQqoZ?. Uo}&-$ B 7Hl_[n| 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 -p.*<y 位相延迟平板材料为N-BK7。 i5KwYoN 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
mrC+J* 透镜材料为N-BK7。 ^A[`NYK 其中心厚度与位相平板厚度相等。 ~snF20 M6'C 3,y0 gww^?j# 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 b!X"2' K)`:v|d !1'-'Q@f 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 @pGlWw9* 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 (Q5@MfK` pfZ,t<bE2 6. 分光器的设置 HS:}![P 0BCGJFZ{ ^dnz=FB 8RAeJ~e 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 H@MFj>~ 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 cN WcNMm 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 N4H+_g| Dw`m>'J0 7. 合束器的设置 q Iy^N:C2' d%lHa??/h 0R}Sw[M. V<vPFxC 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 E,LYS"%_ 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 ZJ9Jf2 c `8(h,aj; 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 E ;!<Z4 So=nB} b[? lW$&fuDHF 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 e[QxFg0E 应用示例详细内容 tw/#ENo 仿真&结果 5eOj,[? qggk:cN1 1. 结果:利用光线追迹分析 8b(1ut{ V[Rrst0yo 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 |[Ie.&) 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 *NW QmC~ ^.#X<8hr 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 @?Gw|bP O wA~( vK6ibl0 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 xegQRc 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 bEBBwv 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 2{e dW+ b0YiQjS6> 3. 对准误差的影响:元件倾斜 I
f3{E qByNHo7Tb 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 *
-KJh_ 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 G#w^:UL 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 $_RWd#Q( F#1 Kk#t 4. 对准误差的影响:元件平移 dK}WM46$ Pr5g6I'G 元件移动影响的研究,如球面透镜。 Q1`<fD
现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 .?rbny 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 zb;(?!Bd# y9C;T(oi; rGnI( m. 5. 总结 VYamskK[G: 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 U{uPt*GUd/ NoCDY2 $ 4. 仿真 ;&Bna#~B 以光线追迹对干涉仪的仿真。 1BQ0M{& c62dorDqy 5. 计算 xF(
bS+(o 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 q=6Cc9FN p)B33ZzC 6. 研究
qH#r- 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 A~Z6jK >4n+PXRXX 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 ~;M)qR?]W E/mubA(& 扩展阅读 #NvQmz?J? &?.n2+T+
= 1. 扩展阅读 3 p/b 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 D]IBB>F Y5dD|]F| 开始视频 6'xomRpYN - 光路图介绍 5D,.^a1 A - 参数运行介绍 z Yw;q3" - 参数优化介绍 %#~((m1 其他测量系统示例: I=K!)X$ - 迈克尔逊干涉仪 eV"!/A2:N5
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