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测量系统 7Bb9t g6Q !8 应用示例简述 `&KwtvkdI 86(I^= 1. 系统说明 My<snmr2d K%"5ImM 光源 LNrX;{ Z — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) h(M#f7'~& 元件 @\0Eu212 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 Q?3Gk%T0[ 探测器 jqv- D — 干涉条纹 eln&]d; 建模/设计 t"k*PA — 光线追迹:初始系统概览 ^~G8?]w — 几何场追迹加(GFT+): }D7I3]2> 计算干涉条纹。 #>%X_o-o23 分析对齐误差的影响。 '@p['#\uI VG,u7A*Z# 2. 系统说明 BlXB7q, ANJ$'3tg 参考光路 x*?x=^I{  Pm
lx8@D 3. 建模/设计结果 T'4z=Z]w Hj:r[/ T(e!_VY|m 4. 总结 c}y [[EX FP;Ccl"s 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 P^w#S !|O~$2O@ 1. 仿真 et,f_fd7v 以光线追迹对干涉仪的仿真。 U}MXT<6 2. 计算 f2^r[kPX" 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 R,F[XI+=N 3. 研究 u[L`-zI 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 *Txl+zTY enp)-nS0 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 TQx.KM>y kMtwiB|7j 应用示例详细内容 H2um|6> 系统参数 pcT:]d[1) 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 fcNL$U&-,i (xVsDAp=@ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 +RnkJ* l tZ^Ou89:rG 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 0JlZs] cfcim.jB 2. 说明:光源 gF[z fDm u>TZt]h8 AgFVv5 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 zgs (Dt; 因此,相干长度大于1m <Wp
QbQM 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 |lJX 3 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 n@U n 4?-.ZUT-1
xZ4~Oo@@_' du)~kU>l 3. 说明:光源 B
x (uRj [P 06lIO DdVF, 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 /c2w/+ _ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。
Xtp"QY
p 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 1RK=,Wx 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 6xZ=^;H 4. 说明:光学元件 |b*?
qf :_t}QP" U2`'qsR1 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 df
n9!h 位相延迟平板材料为N-BK7。 R,|d`)T 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 rFC" Jx 透镜材料为N-BK7。 :'*DPB- 其中心厚度与位相平板厚度相等。 !!Aj<*% <
V\I~; {%IE xPJ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 "
t7M3i_ {W]=~*w 'A:x/iv}^ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 (HSgEs1d 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 D<Zp!J1o Fd#m<" 6. 分光器的设置 ppFe-wY 1[jb)j1 }S3qBQTYL ]ut5S>," 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 w^LuIbA 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 t
0-(U\ 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 8HR mQ "R3d+p 7. 合束器的设置 CE"JS-S? (4\d]*u5-c |]aE<`D M?[h0{^K 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 '
4ER00 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 zkO<-w xCYE
B}o9r 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 i:Zm*+Gi H)>@/"j; $*kxTiG!7 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 %zSuK8kxV 应用示例详细内容 8
O 67 仿真&结果 ;q:jl~ J]q%gcM 1. 结果:利用光线追迹分析 Y}[ c^$S %~jkB.\* ) 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 l2&`J_" 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 0
s70r |U_]vMq 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 V=lfl1Ev0J 5*0y7K/D a\%xB >LX 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 IXb}AxBf 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 )x]3Zq 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 8Th` ]tI tqy@iEz+ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 {O+Kw<d J7v|vjI 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 bcAvM; 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 NuYkz"O] 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 V~
TWKuR JkGnKm9G 4. 对准误差的影响:元件平移 lhi_6&&[8 lw :`M2P, 元件移动影响的研究,如球面透镜。 wQ%mN[ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 HFq m6| 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 LC})ciWa Q//,4>JKf 3
E3qd' 5. 总结 YOrrkbJ( 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ?h0X,fl3 $-c!W!H 4. 仿真 t!2(7=P30( 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Dk='+\ )NO<s0?& 5. 计算 f"(X(1F 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 q|%(3,)ig uK'&Dam 6. 研究 c)Ic#<e( 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 6&!&\ n 3lE,b 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 Lgz$]Jbl8 5'Q|EIL 扩展阅读 )~V4+*< x)UwV 1. 扩展阅读 siTX_`0 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 Pub0IIs h!#:$|Q 开始视频 *FfMI - 光路图介绍 U;n*j3wT - 参数运行介绍 ,KJw|x4}\ - 参数优化介绍 KK,Z"){
其他测量系统示例: 1.D-FPK - 迈克尔逊干涉仪 I2a6w<b
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