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测量系统 I8{ohFFo 4W36VtQ@E 应用示例简述 vB1nj<]&z Hrj@I?4 1. 系统说明 OK=ANQjs(
tz`T#9 光源 R'x^Y" — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 2N}h<Yd9 元件 2qfKDZ9f^ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 {
^
@c96& 探测器 m0+'BC{$u — 干涉条纹 @1iH4RE* 建模/设计 R)BH:wg" — 光线追迹:初始系统概览 ThJ`-Ro — 几何场追迹加(GFT+): FpFkZFtG'm 计算干涉条纹。 299uZz}Y 分析对齐误差的影响。 4+4C0/$Y nTxN>?l2E 2. 系统说明 @sLB
_f _cD-E.E% 参考光路 |A19IXZ\  u^]Z{K_B 3. 建模/设计结果 fGMuml?[ e /^9yncG;> DYaOlT(rE 4. 总结 /H<tv5mXJ A6%~+9 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 @c^g< anxwK47 1. 仿真 LXx`Vk>ky 以光线追迹对干涉仪的仿真。 \s">trXwX 2. 计算 uEcK0>xp 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 *d$r`.9j 3. 研究 EawtT 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 $SPA'63AC _/)HAw?k 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 G=qT{c8Q p28=l5y+ 应用示例详细内容 <CY<-H 系统参数 1n|K 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ]sG^a7Z.X T$Rj/u
t1 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ]O.Z4+6w k#pNk7;MZ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 6T ,'Oz &&
E) 2. 说明:光源 $ J)2E g w@&(=C 6`U]%qx_I 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 #CTHCwYo 因此,相干长度大于1m MgUjB~)Y 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 rhA>;9\ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 Y<9]7R(\; _"c:Z !L
+o^sm '$ YB3?Ftgw 3. 说明:光源 Nvj0MD{ X _&|<(m&." N(=\S: 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 *ci%c^}V 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ^.~m4t`U 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 z{ MO~d9 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 $|pD}
4. 说明:光学元件 Q]<6i
Tmr%r'i3 hz*H,E!> 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 7o4B1YD 位相延迟平板材料为N-BK7。 t'im\_$F 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 _8'z"wF 透镜材料为N-BK7。 FvT;8ik:3 其中心厚度与位相平板厚度相等。 &JHqUVs^ >[a&,gS 68,(+vkB 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ]0@
06G(y Bl!R
bh\ QDpzIjJj 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 J'#R9NO< 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 mqk tM6 GG$&=.$ 6. 分光器的设置 d
gRTV<vM =%ZR0cWPoI UcxMA%Pw7$ 5BsfbLKC 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 F
uJ=]T 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 unN=yeut 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 +#MQ8d wS}Rl}#Oh? 7. 合束器的设置 6
~d\+aV NQ qq\h c!HmZ]/ i$W
E1- 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 MR-cO Pn 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 "?SR+;Y:q jhkNi`E7 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 PuoN<9 # TSHH=`cx Jl|^ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 CyEEE2cV 应用示例详细内容 (X( c.Jj 仿真&结果 !:|[?M.` (3fU2{sm 1. 结果:利用光线追迹分析 7R5!(g
#23m_w^L 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 f+W8Gszi 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 A.@Af+ QLum=YB 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 '1te(+;e@ 7UA|G2Zr gt{$G|bi 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 }}MZgm~U) 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 JwMFu5 @ 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 Qb~&a1&s# IWD21lS 3. 对准误差的影响:元件倾斜 Y%A
KN -|x YT+?% 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 F\(7B# 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 ~s UWXw7~ 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 ;_<K>r* R4P$zB_<2 4. 对准误差的影响:元件平移 2=p"%YSn Th(F^W9 元件移动影响的研究,如球面透镜。 N>3X! K 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 5|Or,8r(C 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 6K
6uB
~ h<ULp&g .7Lv 5. 总结 J~URv)g 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Q($aN- JD1D( 4. 仿真 Yt%
E,U~g 以光线追迹对干涉仪的仿真。 *UlL\ ":upo/xN 5. 计算 </B5^} 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 #v QyECf ?=X_a{}/ 6. 研究 +HxL>\ 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 )TFBb\f>v 1=X"|`<! 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 %B{NH~ !NfN16 扩展阅读 qn4jy6 +m8gS;'R4 1. 扩展阅读 ;4 rTm@6 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 b!ea(D!: P Zc{wbjp& 开始视频 ]A2l%V_7 - 光路图介绍 Q4JvFy0' - 参数运行介绍 lC&B4zec - 参数优化介绍 s*0PJ\E2 其他测量系统示例: Cw_XLMY%V1 - 迈克尔逊干涉仪 >IzUn: 0F
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