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测量系统 59A}}.@?m m(!FHPvN 应用示例简述 Il'fL'3 ~
7s!VR 1. 系统说明 SnfYT)Ph W!(zT6# 光源 M }D}K\) — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) niyV8v 元件 u#.2w)!D — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 u6agoK|^9 探测器
Otuf]B^s — 干涉条纹 eauF~md, 建模/设计 cwg"c4V — 光线追迹:初始系统概览 ~?BXti<! — 几何场追迹加(GFT+): wHy!CP% 计算干涉条纹。 HZge!Yp< 分析对齐误差的影响。 C'x&Py/# l_p2Riv 2. 系统说明 C6PdDRf 0l6.<-f{ 参考光路 7.oM J  "to;\9lP 3. 建模/设计结果 =^?/+p8k ?@86P|19 U xGApK=X 4. 总结 W<g1<z\f <5051UEu 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 })%{AfDRF ]f_p8?j" 1. 仿真 }GM'.yutX 以光线追迹对干涉仪的仿真。 tH4B:Bgj! 2. 计算 -9?]IIVb 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 R=?[Nz 3. 研究 }@)[5N#A| 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ;'1d1\wiDQ o8MZiU1Xf 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 i|kRK7[6B UiNP3TJ'L 应用示例详细内容 :`sUt1Fw. 系统参数 -{vD:Il=6 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 Y]a@j! (9)Q ' 'S 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 6S#Cl>v p#tI;"\y 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 i6Gu@( 8Q /-s6<e! 2. 说明:光源 cMIEtK` /dHF6yW xIn:ZKJ' 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 5)40/cBe 因此,相干长度大于1m pj(,Zd[47 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 `]aeI'[}R 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 (@YG~0 ;.C\Ss<>*
&^nGtW%a 9 /wG2vE8e 3. 说明:光源 :!QAC@
\M-OC5fQv l,).p 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 xSu > 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 v@pky0 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
lhJ'bYI 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ?7A>+EY 4. 说明:光学元件 Hr C+Yjp ^zr`;cJ+c dr"1s-D4IQ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 |j|rS5 位相延迟平板材料为N-BK7。 D_MmW 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 '%;m?t%q 透镜材料为N-BK7。 naNghGQ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 HOi`$vX}N gM]:Ma +[ZY:ZQ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 $~kA
B8z TqQ[_RKg2 /{2,zW 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 |y*c9 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 \<K5ZIWV 8EYkQ 6. 分光器的设置 ^rz_f{c]- N>E_%]C h gDzK{6Z} p4QU9DF 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 {{1G`;|v9 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 ?A0)L27UE& 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 8XaQAy%d] _v:SP
L U 7. 合束器的设置 $Kd>:f=A u@^LW<eD ;@J}}h'y BLFdHB.$T 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 tX[WH\(xI 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
#Q5o)x MOC/KNb 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 R-14=|7a- &j6erwaT /V By^ L: 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 1mJHued=6 应用示例详细内容 d5 -qZ{W 仿真&结果 WzWXE( @]0%L0u 1. 结果:利用光线追迹分析 M\=2uKG# |?9HU~B 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 ?cZlN! 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 @nf`Gw ; DwF hK* 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 qP;OaM
CX 2qp#N% JS77M-Ac 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 Wl4%GB 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 h];I{crh 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
8Y?;x} !'Kjx 3. 对准误差的影响:元件倾斜 >dT*rH 3w ce(#2o&` 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 N g,j# 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 M=Wz 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 %)n=x
ne adw2x pj 4. 对准误差的影响:元件平移 $!DpjN 11lsf/IP 元件移动影响的研究,如球面透镜。 Pc9H0\+Xk 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 _f{{( 7 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 PW4q~rc=: W9)&!&<o ~s{$WL& 5. 总结 f 1d?.) 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 KmF]\:sMD EQ ttoOO 4. 仿真 W8<%[-r 以光线追迹对干涉仪的仿真。 _G0x3 c%&>p|| 5. 计算 w>YDNOk 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 [
3HfQ 7d vnupLh 6. 研究 yHGADH0B 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
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6f ;=N#`l 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 ;PH~<T n*$ g]G$ 扩展阅读 2?x4vI
np; a9 G8q>h]O 1. 扩展阅读 /E>e"tvss 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 6nQq *](iS 开始视频 he4(hX^ - 光路图介绍 *8Z32c+C - 参数运行介绍 M_8{]uo - 参数优化介绍 g5yJfRLxp 其他测量系统示例: a
=QCp4^ - 迈克尔逊干涉仪 #*}+J3/
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