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测量系统 \![ p-mW{ se=;vp]3a 应用示例简述 3?e~J"WXC5 qL4s@<|~ 1. 系统说明 FxmHy{JG xauMF~* 光源 _p^$.\k" — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) dngG= 元件 jss.j~8 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 Mj`g84 探测器 '0w</g — 干涉条纹 3~1Gts 建模/设计 8]D0) — 光线追迹:初始系统概览 ]=ADX} — 几何场追迹加(GFT+): /j-c29nz 计算干涉条纹。 >t{-_4Yv? 分析对齐误差的影响。 9oYE +xd@un[r< 2. 系统说明 ]>B4 Eq|5PE^7 参考光路 BbiyyRa  QP/ZD|/ t1 3. 建模/设计结果 cn: L]%< ZUkM8M$c 09qfnQG 4. 总结 BA[ uO3\4 &\%\"Zh 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 IhRdn1& 6-z(34&N 1. 仿真 g(9kc<`3'D 以光线追迹对干涉仪的仿真。 8@Bm2?$}g 2. 计算 "
sC]z} 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 C]Y%dQh+a 3. 研究 =R<92v 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 l(W?]{C[% C^;>HAK|F 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ut#pg+#Q TF9A4 应用示例详细内容 W,"Re,`H 系统参数 n
=WH=:& 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 tW
a'[2L 4jSYR#Hqp` 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 {1qr6P," Xmi~fie 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 XhA tf@n r@/@b{= 2. 说明:光源 hw.>HT|.N KaX*) P SU1N*k#-o 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 !FD d5CS 因此,相干长度大于1m cg o 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 8+J>jZ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 @meT8S9t 8t. QFze?
9ln=f= yM7Iq)o6u 3. 说明:光源 >c Lh$;l #4JLWg YWs?2I 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 H>W8F2VT 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 v K[%cA" 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 1=7ASS9 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 T9XUNR{& 4. 说明:光学元件 TEh.?
:w!hkUx# $wi4cHh 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 rwVp}H G
位相延迟平板材料为N-BK7。 M9afg$;.xe 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 JXMH7 透镜材料为N-BK7。 %B( rW?p& 其中心厚度与位相平板厚度相等。 ,wM4X']HR E3l*_b0 d#]hqy 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 =JW-EQ6[T d$n31F
)UM^#<- 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 \PUJD,9H 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 CGzu(@dd\ K,I 6. 分光器的设置 mL pM8~L yW(|auq R^$|D)( r uGeN 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 R"9wVM;*c 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 huS*1xl 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 D[ #V M:{Aq&. 7. 合束器的设置 ];4!0\M FOk;=+ as!a!1 !{(Bc8
hT 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 Z#L4n#TT 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 W.?/p~ 4k-Ak6s 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 i/%lB 9i}$245lB Pv/v=s>X 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 giX[2`^NG 应用示例详细内容 N{S) b 仿真&结果 GPK\nz} r+8D|stS 1. 结果:利用光线追迹分析 nAEyL+6U cO*g4VL"[ 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 sqtz^K ROM 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 n)98NSVDbT - ~|Gwr" 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 j}eb
_K+I ESIP+ *H/3xPh,* 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 G:":CX"O( 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 NFZ(*v1U 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 B(++*#T!^m ZQ_6I}i") 3. 对准误差的影响:元件倾斜 T5."3i Ly+UY.v" 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 R-S<7Q3E0= 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 p8_^6wfg 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 Qk:Lo*! [jzsB:;XB& 4. 对准误差的影响:元件平移 GQn:lu3j: PY.K_(D 元件移动影响的研究,如球面透镜。 dHXe2rTE;& 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 >ep<W<b 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 MhD' [3G{NC|' M}x%'=Pox 5. 总结 |(z{)yWbC[ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 GXVx/)H 78uImC*o 4. 仿真 4SJ aAeIZ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 QDg5B6>$ P3&s<mh 5. 计算 D4!;*2t 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 6iyl8uL0J -[L\:'Gp5 6. 研究 @%Ld\8vdfJ 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 iY,C0=n5Y G+8)a$?v 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 {r&mNbz #ODP+>-IjB 扩展阅读 {fR\yWkt? t<p#u=jOa 1. 扩展阅读 vPNbV 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 h9H z6
> @|anu&Hm 开始视频 T(D6'm:X - 光路图介绍 .[O{,r - 参数运行介绍 ZL6HD n! - 参数优化介绍 \%a0Lp{ I 其他测量系统示例: c`!e#w - 迈克尔逊干涉仪 x|~8?i$%
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