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测量系统 J #5o _Pm}]Y:_ 应用示例简述 L*Cf&c`8r u $^`hzfI 1. 系统说明 dQ"W~ig u 9TlXn 光源 `)P_X4e]` — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) fN>|X\- 元件 )x s, — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 L-T Ve 探测器 O/~^}8TLL — 干涉条纹 =&xoyF 建模/设计 `a9>4 — 光线追迹:初始系统概览 vG} oo — 几何场追迹加(GFT+): cC]1D*Bn 计算干涉条纹。 WHT%m|yn 分析对齐误差的影响。 2$UR"P +5\\wGo< 2. 系统说明 W.<<azi eF\C?4 参考光路 fL:Fn"Nv  6S&YL 3. 建模/设计结果 VG7#6)sQoK |
Ylk`< N$b;8F 4. 总结 m@?e
<$ |g!#
\ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 F4{<;4N0 p$<qT^]& 1. 仿真 TD9`SSpP
以光线追迹对干涉仪的仿真。 z#/*LP#oY 2. 计算 |0mI3r 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 )T_#X! 3. 研究 1=.?KAXR 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ,:{+
H *RM'0[1F4 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 3!W&J u&bU !ZI 应用示例详细内容 +.cv,1Vx 系统参数 {D#`+uw 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 xb\:H@92 _%B`Y ?I` 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 bS<p dOX_ \:7EKzQ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 +3CMfYsr8 eW%jDsC 2. 说明:光源 ^Quy64M qiN'Tuw9 D$;/
l}s? 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 _{%H*PxTn= 因此,相干长度大于1m K(2s% 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 @d|9(,Q 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 IgL8u 9~yuyv4$
dPId=
w) yW 3h_08 3. 说明:光源 Is[0ri ,~#hHhR_ (Bz(KyD[ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 =KLYR UW 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 XLT<,B}e 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 I5]zOKlVR 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 S y~ 1U 4. 说明:光学元件 KMZ`Wn= FReK clNP9{ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ?|\Lm3%J 位相延迟平板材料为N-BK7。 b8&9pLl 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 dQ]j
r. 透镜材料为N-BK7。 7Z_iQ1 其中心厚度与位相平板厚度相等。 O/Vue 3Daq5(fLP ?$Pj[O^hl 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 6%-2G@6d Ai;Pht9qi 75y#^pD?c 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 {YFru6$ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 1Jt%I'C? KMV!Hqkk 6. 分光器的设置 ?AE%N.rnsi F<[8!^l(z jk@]d5 mD!imq%= 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 m\yO/9{h1 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 z5I<,[` 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 OuoZd!"qf U!4 ^; 7. 合束器的设置 .;'xm_Gw< ZfU_4Pl-> Zh@\+1] PLD!BD 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 CJ_B. 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 N@}U ;x} >qCT#TY 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 SDkN @OpcS>:R dU,/!|.K 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 l< Y x 应用示例详细内容 n2E2V<# 仿真&结果 \xt!b^d0 {q^KlSjm 1. 结果:利用光线追迹分析 (\j<`"n vd~O:=)4 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 !E%!, 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 Xp'KQ1w) j[9B,C4 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 2rxdRg'YLQ sb1/4u/W ;.Kzc3yz} 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 2.6,c$2tB 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 U+KbvkX wj 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 M`(xAVl *jYwcW"R{z 3. 对准误差的影响:元件倾斜
6?6
u R~`Y6>o~9: 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 [f'7/w+ 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 1g;3MSn~ 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 E$cr3 t7Xy ;RU)Q)a) 4. 对准误差的影响:元件平移 Z"n]y4h }5~;jN=k 元件移动影响的研究,如球面透镜。 ,GK>|gNsb 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 G
5)?! 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 vjHbg#0 % \R~Lf+q \1tce`+ 5. 总结 ;,viE~n 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 :7R\"@V4 zmdOL9"a
4. 仿真 +G?3j ,a\ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 .N%$I6w cJt#8P
5. 计算 h.67]U7m 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 G^+0</Q L9x,G! 6. 研究 `q F:rQ 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 (F
@IUbnl V@$B>HeK 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 }Iu 6]?|' ;G w5gK^ 扩展阅读 O".#B rP*?a~< 1. 扩展阅读 5f1yszd 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 giI9-C #oHHKl=M 开始视频 1f}Dza9 - 光路图介绍 m^TkFt<BM - 参数运行介绍 aUd633 - 参数优化介绍 Ngg (<ZN 其他测量系统示例: z8gp<5= - 迈克尔逊干涉仪 g
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