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测量系统 0X#+#[W }1Z6e[K? 应用示例简述 V,vc_d?,_o 4dD2{M 1. 系统说明 @+E7w6>% bM ^7g 光源 i&*<lff — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) cl_TF[n? 元件 >4M<W4
— 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 .zIgbv s 探测器 %0zS — 干涉条纹 6#vI;d[^ 建模/设计 A$:|Qd7F1 — 光线追迹:初始系统概览 sjn:O' — 几何场追迹加(GFT+): >8(jW 计算干涉条纹。 WGPD8. 分析对齐误差的影响。 LZa%
x 8O9Gs 2. 系统说明 tH,sql) R(`]n!V2 参考光路 iu|v9+  [4: Yi{> 3. 建模/设计结果 ]w-.|vx +|0 t
|Qr:!MA 4. 总结 c$A@T~$ *Dc@CmBr 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 j76%UG\Ga {mf.!Xev 1. 仿真 OJ>iq@> 以光线追迹对干涉仪的仿真。 <]'|$8&jY 2. 计算 MyFCJJ/ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ^vM_kArA 3. 研究 *6P'q4) 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 mrqaM2,(I Why"G1` 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 D J_DonO] 8)?_{ 应用示例详细内容 LQ>$>A( 系统参数 NNp}|a9 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 lQ$+JX;n(y `2e_ L 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 gyFr"9';c {=iyK/Uf 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 #9,=Owup
D2]ZMDL. 2. 说明:光源 ayeCi8 ?;RD u[eD =f `=@] 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 TzY*; 因此,相干长度大于1m WUY,. 8 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Qi^;1& 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 `I#`:hj
p[ Hr39o
{2EMz|&8 t)'dF*L 3. 说明:光源 x?=B\8m ONfyYM? 4m\([EO 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 Ro~fvL~Ps 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 #D0W7a 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 \HD-vINV; 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ])UwC-l 4. 说明:光学元件 @ t|3gF$X 0ERsMnU' 3Y(9\}E@` 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 X|Dpt2A= 位相延迟平板材料为N-BK7。 #fj[kq)&S 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 qy&\Xgn;GA 透镜材料为N-BK7。 z{/LX
\ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 Oq}ip wE4;Rk1 v8 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Ko+al {2 m_$JWv\|\ dE GX3 - 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 2NYi-@mr 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 xl9(ze Uuz?8/w}# 6. 分光器的设置 Q.1XP MX?}?"y pALJl[Cb Bz:&f46{ 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 #//
%&k 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 iJ4<f->t 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 *l{4lu \imp7}N 7. 合束器的设置 sS|<&3 u uSHCp
=1IEpxh% bOe<\Y$ 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 |,{+;: 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 T\fudmj& P8IRH#ED 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 7PA=)a\ L&QtHSzy "vsjen.K> 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 H>Ks6V)RL4 应用示例详细内容 AoIc9ElEX 仿真&结果 0JyqCbl pagC(F 1. 结果:利用光线追迹分析 @ct#s:t J+iX,X 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 [NjajA~z>F 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 tI'e ctn y}Cj#I+a 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 <\p&jk? 5c)wZ w0aHEvH/ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 "raj>2@ 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 TG?fUD V 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 0S_Ra+e )Yrr%f`\ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 oW8;^u [&Lxz~W][ 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 TtZrttCE6 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 Fos1WH?\ 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 z30= ay1 +yvBSpY 4. 对准误差的影响:元件平移 so'eZ"A: q4 $sc_0i 元件移动影响的研究,如球面透镜。 oR7 7` 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 |NXFla 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 m8p4U-*j |]I#CdO CO7CNN 5. 总结 uQ-WTz|* 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 fq{I$syY 6mX: =Q 4. 仿真 X+\0%| 以光线追迹对干涉仪的仿真。 UX?X]ZYVR 31H|?cg< 5. 计算 lf}?!*V`+ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ayHn_ 5t TLMZ `o 6. 研究 L{zamVQG 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 4U:DJ_GN dnk1Mu< 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 EccFx7h ?! !;XW 扩展阅读 G6f%/m` ^j1Gmv) 1. 扩展阅读 +38Lojb} 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 N IO; UqY J#&MqY 开始视频 x`wZtv\ - 光路图介绍 RiwEuY - 参数运行介绍 dV'6m@C - 参数优化介绍 F@oT7NB/n 其他测量系统示例: @:I\\S@bN - 迈克尔逊干涉仪 34HFrMi
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