Zemax光学设计从入门到精通	《杂散光抑制与评估技术》	Zemax光学设计实践基础(陈家璧)	光学设计与光学元件
讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商	先进光刻机曝光系统光学设计	CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape	计算光学带来的成像革命(第2季)

发帖回复

1315阅读
0回复

[产品]MTF计算 [复制链接]

上一主题下一主题

离线infotek

科学家

发帖: 7377

光币: 31026

光券: 0

只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2023-03-28

FRED可以计算一个给定系统的MTF，本教程解释了如何来实现这个功能。

建立系统

这篇文章中我们所使用的系统是一个简单的透镜，将光聚集到附着在几何面的分析面上。透镜是一个简单的双凸BK7单透镜，参数为r1=60 mm, r2=-300 mm, ct=4 mm, x semi-aperture=10, y semi-aperture=10，该透镜的像平面位于近轴焦点处。

光线聚焦的几何面是一个简单的表面，它的位置规范与透镜的第二个面是一致的，并且在Z轴方向移动94.591622 mm。

光源是一个44*44格的相干光，类型是single direction(plane wave)单一方向的平面波，波长为0.55 μm，功率为一个单位。

分析

这个系统的点扩散函数：
  •    Log (Normal PSF)
•    λ = 0.55 mm
•    0.32 waves 3rd order spherical
•    EPD = 10 mm
•    f/# = 9.68
点扩散函数如下图：

系统的点扩散函数是：
•     Log (Normal PSF)
•     λ = 0.55 mm
•     1 wave 3rd order spherical
•     EPD = 13.31 mm
•     f/# = 7.27
点扩散函数如下图：

演算

为了充分采样透镜的空间频率直到截止频率，分析面的最小半宽需满足以下要求：

在这个等式中变量定义如下：
•     Nx == number of pixels in the analysis plane for the irradiance spread function (PSF)（分析面的像素数用于照度分布函数）
•     w == half width of the analysis plane for the irradiance spread function (PSF)（分析面的半宽度用于照度分析函数）
•     Δx == pixel size in lens units（透镜的像素大小单位）= 2w/Nx
•     Nf == number of pixels in the transform grid（在转换网格中的像素数）;
•    the transform grid must have 2n x 2n pixels（转换网格一定要有2n x 2n个像素） (i.e. ...16, 32 , 64, 128, 256, 512, ...)
•   FRED automatically sizes the transform grid so that it is 2n x 2n. Its size is the smallest grid for which Nf is greater than or equal to Nx（FRED自动规定转换网格的尺寸保证它的大小为2n x 2n。它的大小是最小的网格，Nf应大于等于Nx）
•    if Nx = 127, then FRED makes Nf = 128（如果Nx=127，FRED就将Nf 设置为128）
•    if Nx = 128, then FRED makes Nf = 128
•    if Nx = 129, then FRED makes Nf = 256
•    Δf == pixel size in 1/lens units （1个透镜单元的像素大小）= 1/(Nf*Dx)
•     λ == wavelength in lens units（透镜单元的波长）
•     F == focal length（焦距）
•     D == entrance pupil diameter（入瞳直径）

比较

在下图中：
透镜EPD=10mm
截止频率=184lp/mm
图像平面网格=128*128像素，在X和Y方向上的全宽度为0.348mm*0.348mm。

在下面的图表中：
透镜EPD=13.31 mm
截止频率=250 lp/mm
图像平面网格=128*128像素，在X和Y方向上的全宽度为0.256mm*0.256mm

杂散光对评价函数的影响

增加第一表面的BTDF函数，TIS=0.27，表面粗糙度为：90埃

则可以看到表面粗糙对MTF的影响：

分享到

发帖回复

返回列表


	http://www.opticsky.cn 访问内容超出本站范围，不能确定是否安全


	关闭您还没有登录，快捷通道只有在登录后才能使用。立即登录还没有帐号？赶紧注册一个


	关闭选中1篇全选

帖子

[产品]MTF计算 [复制链接]