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《Essential Macleod中文手册》 0@}:`OynX R"O,2+@<. 目 录 rTA#4.*& BVxk}#d ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 cwI3ANV 第1章 介绍 ..........................................................1 S1_):JvV 第2章 软件安装 ..................................................... 3 1 o\COnt 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 _16r8r$V 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 U{8x.CJ] 第5章 软件结构 ............................................................... 21 +qM2&M 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 V6r*fEhrT_ 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 O|0,=
5 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 6G>loNM^ 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 l#3jJn 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 ;% l0Ml> 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 ;1Q@d 第12章 优化和综合 ..................................................................120 zB#.EW 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 C&RZdh,$ 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 W$Z8AZ{E 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 ryt`yO 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 Md>9Daa~ 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 LTnbBh*mc 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 )W!\D/C+ 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 J?qikE& 第20章 运行表单 .................................................................... 251 hU5_ dV 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 [yDOvQ[ 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 ]oyWJ#8 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 nF=[m; ~ 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 E#c9n%E\sz 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 iq3TP5%i 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 $x(p:+TI\4 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 6MelN^\[7 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 B8?j"AF 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 Z>ztFU zl)r3#6hW Ksvk5r&y rnM C[
(xMq(g i6xzHfaYG 内容简介 So}pA2[0 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 \};
4rm}V 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 e@g=wN"@ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 :<,tGYg/! 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 zTfl#% 6Q}>=R^h 目录 ->J5|c# Preface 1 IgKrcpK#}? 内容简介 2 K,H xe;- 目录 i +D M,+{} 1 引言 1 ez[$;> 2 光学薄膜基础 2 C0H@ 2.1 一般规则 2 <E7y:%L[Go 2.2 正交入射规则 3 MO
*7:hI 2.3 斜入射规则 6 7}vx]p2 2.4 精确计算 7 ^2"w5F 2.5 相干性 8 E{[>j'dwc 2.6 参考文献 10 ]NY^0SqM
3 Essential Macleod的快速预览 10 o>yo9n%t 4 Essential Macleod的特点 32 X^d}eWP`I 4.1 容量和局限性 33 "QM2YJ55m` 4.2 程序在哪里? 33 /1?{,Das= 4.3 数据文件 35 G+K`FUNA 4.4 设计规则 35 oX?~ 4.5 材料数据库和资料库 37 `6{4?v 4.5.1材料损失 38 *N%)+-
4.5.1材料数据库和导入材料 39 [m9=e-KS$Q 4.5.2 材料库 41 2\G[U#~bi 4.5.3导出材料数据 43 L}>ts(!q& 4.6 常用单位 43 fP{IW`t}] 4.7 插值和外推法 46 &8hW~G>(m 4.8 材料数据的平滑 50 p
I@!2c:} 4.9 更多光学常数模型 54 3+V.9TL'a 4.10 文档的一般编辑规则 55 u\=yY. 4.11 撤销和重做 56 *ub"!}$st 4.12 设计文档 57 8!7`F.BX 4.10.1 公式 58 mxTuwx
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 X9#i!_* 4.10.3 沉积密度 59 6v&@Rlg 4.10.4 平行和楔形介质 60 57:27d0y 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 |7b@w;q,D 4.10.4 性能 61 ePTN^#|W 4.10.5 保存设计和性能 64 d>x(Bj6 4.10.6 默认设计 64 ^fvx2< 4.11 图表 64 -m Sf`1l0 4.11.1 合并曲线图 67 6KKQ)DNu_ 4.11.2 自适应绘制 68 +}NQ|y V 4.11.3 动态绘图 68 ?# )\SQ 4.11.4 3D绘图 69 BV]$=
e' 4.12 导入和导出 73 j Ysg'Rl 4.12.1 剪贴板 73 3s Mmg` 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 %DhLU~VX 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 PfJfa/#pA 4.13 背景 77 p
i \SRDP 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 iU4Z9z! 4.15 生成Rugate 84 DcEGIaW 4.16 参考文献 91 zc!q a"4yM 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 >; k~B 5.1 Jobs 92 d6~d)E 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ybpU?n 5.3 输入材料 94 HkyN$1s 5.4 设计数据文件夹 95 z=DK(b;$z 5.5 默认设计 95 /
2h6 6 细化和合成 97 $ZnVs@:S 6.1 优化介绍 97 opqf)C 6.2 细化 (Refinement) 98 qQCds}<w 6.3 合成 (Synthesis) 100 qEnmms 1 6.4 目标和评价函数 101 -d6PXf5 6.4.1 目标输入 102 }Z% j=c"d 6.4.2 目标 103 E# *`u 6.4.3 特殊的评价函数 104 &_$xMM,X 6.5 层锁定和连接 104 avxI%% | 6.6 细化技术 104 :/i13FQ 6.6.1 单纯形 105 4
zipgw 6.6.1.1 单纯形参数 106 RH&}'4JE: 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 9v76A~~ 6.6.2.1 Optimac参数 108 c_syJ< 6.6.3 模拟退火算法 109 "S3U]zw0_ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 BHZSc(-o 6.6.4 共轭梯度 111 seNH/pRb 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 A]m_&A# 6.6.5 拟牛顿法 112 p&3~n:
Fo 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 j9 &0/
~/ 6.6.6 针合成 113 ,pVq/1 6.6.6.1 针合成参数 114 #oEq)Vq>g| 6.6.7 差分进化 114 aN~x3G 6.6.8非局部细化 115 n16TQe"8 6.6.8.1非局部细化参数 115 i|G /x 6.7 我应该使用哪种技术? 116 jx8hh}C 6.7.1 细化 116 \`WAG>'l5 6.7.2 合成 117 1DM$FG_Z- 6.8 参考文献 117 <W88;d33r= 7 导纳图及其他工具 118 u&$1XZ!es 7.1 简介 118 n_-k <3 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
-(|}:J 7.2.1 四分之一波长规则 119 scR+F'M 7.2.2 导纳图 120 t}Kzh` 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 dhI+_z 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 8'Q1'yc 7.5 斜入射导纳图 141 L&qY709 7.6 对称周期 141 5C"A*Fg?; 7.7 参考文献 142 S-G#+Ue2 8 典型的镀膜实例 143 fFd"21> 8.1 单层抗反射薄膜 145 xwu,<M
v` 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 *G;D u`; 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 \t]aBT, 8.4 W-膜层 148 p0j-$*F 8.5 V-膜层 149 _ +A$6l 8.6 V-膜层高折射基底 150 g<N3 L [ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 f{f|frs 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ^HNccr 8.9 四层抗反射薄膜 153 vX"jL 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 v$bR&bCT 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 _@ @"' 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 \DRYqLT` 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Gm'Ch}E 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 _CXXgF[OCA 8.15十五层宽带抗反射膜 159 s&Qil07Vl 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 K2t|d[r 8.17 1/4波长堆栈 162 /R)(u@jk 8.18 陷波滤波器 163 p?eQN
Y 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 S:xG:[N@ 8.20 褶皱 165 5 }F6s 8.21 消偏振分光器1 169 PVUNi: h 8.22 消偏振分光器2 171 QzA/HP a 8.23 消偏振立体分光器 172 h*?/[XY 8.24 消偏振截止滤光片 173 K9f7,/ 8.25 立体偏振分束器1 174 >rzpYc'~w 8.26 立方偏振分束器2 177 5}_DyoV 8.27 相位延迟器 178 ^tFgkzXm 8.28 红外截止器 179 <D{_q.`vA 8.29 21层长波带通滤波器 180 ]e]l08 8.30 49层长波带通滤波器 181 vxx7aPjC 8.31 55层短波带通滤波器 182 Y4n;[nHQ( 8.32 47 红外截止器 183 pM7xnL4 8.33 宽带通滤波器 184 U0%m*i 8.34 诱导透射滤波器 186 `(?x@Y>.Ht 8.35 诱导透射滤波器2 188 t"Djh^=y 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 RVb}R<yU+ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 bLi>jE.%. 8.35 增益平坦滤波器 193 9{V54ue; 8.38 啁啾反射镜 1 196 ](H
vx 8.39 啁啾反射镜2 198 BFyVq 8.40 啁啾反射镜3 199 @ 6{U*vs 8.41 带保护层的铝膜层 200 D^W?~7e^r 8.42 增加铝反射率膜 201 ;R.l?Bg 8.43 参考文献 202 aj*%$!SU+ 9 多层膜 204 B#;yko 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 bAqaf#}e 9.2 内部透过率 204 rC!~4xj- 9.3 内部透射率数据 205 SgocHpyg 9.4 实例 206 (~FLG I 9.5 实例2 210 r)SwV!b 9.6 圆锥和带宽计算 212 =1Mh%/y 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 9K
F`9Y 10 光学薄膜的颜色 216 1p9+c~4l: 10.1 导言 216 |);-{=.OdQ 10.2 色彩 216 p6'wg#15 10.3 主波长和纯度 220 p%6j2;D 10.4 色相和纯度 221 Z*(lg$A9M 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 &D 4Ci_6k 10.6 色差 226 &Kgl\;} 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 >HXmpu.O 10.8 颜色渲染指数 234 `Dco!ih 10.9 色差计算 235 i%)Nn^a;T 10.10 参考文献 236 "?Cx4<nsM 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 "m:4e`_dz 11.1 短脉冲 238 JH0L^p 11.2 群速度 239 ;eRYgC 11.3 群速度色散 241 uR7\uvibUO 11.4 啁啾(chirped) 245 *0`oFTJ 11.5 光学薄膜—相变 245 ,@Izx 11.6 群延迟和延迟色散 246 Ih.6"ISK} 11.7 色度色散 246 a jCx"J 11.8 色散补偿 249 ;9hi2_luV 11.9 空间光线偏移 256 C%csQ m 11.10 参考文献 258 DEw_dOJ( 12 公差与误差 260 +L86w7 12.1 蒙特卡罗模型 260 eY1$smh t 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ^^I3%6UY 12.2.1 误差工具 267 iZ3%'~K<3J 12.2.2 灵敏度工具 271 bvMa|;f1 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ;ip"V 0` 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ![BQ;X 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 2I#4jy/g 12.3 参考文献 276 *SX'Or, 13 Runsheet 与Simulator 277 v@0lTl_ 13.1 原理介绍 277 w8Mi:;6 13.2 截止滤光片设计 277 I~$LIdzw 14 光学常数提取 289 t4H@ZvAH0 14.1 介绍 289 YpT x1c- 14.2 电介质薄膜 289 Tej-mr3P 14.3 n 和k 的提取工具 295 lFNf/j^Z 14.4 基底的参数提取 302 :_q 14.5 金属的参数提取 306 DVNGV 14.6 不正确的模型 306 .f V-puE 14.7 参考文献 311 jy] hP?QG 15 反演工程 313 @JWoF^U 15.1 随机性和系统性 313 D %`64R 15.2 常见的系统性问题 314 L$GhM!c 15.3 单层膜 314 $GyO+xF 15.4 多层膜 314 T7AFL= 15.5 含义 319 e4V4%Qw 15.6 反演工程实例 319 Ne<"o]_M 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 QJ`#&QRp 15.6.2 反演工程提取折射率 327 an 3"y6.8 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 e'oM%G[ 16.1 光学性质的热致偏移 329 ai(<"|( 16.2 应力工具 335 {g2cm'hD 16.3 均匀性误差 339 }*~EA=YN; 16.3.1 圆锥工具 339 U-ILzK 16.3.2 波前问题 341 bUC-} 16.4 参考文献 343 \]U@=w 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 u,
%mVd 17.1 引言 345 ~a[]4\m; 17.2 操作数 345 JrTSu`S(' 18 如何在Function中编写脚本 351 n<p`OKIV3 18.1 简介 351 Tw{H+B"uVz 18.2 什么是脚本? 351 I)E+ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ${#5$U+kI 18.4 基础 352 EdA_Hf 18.4.1 Classes(类别) 352 jGzs; bE 18.4.2 对象 352 AF1";duA 18.4.3 信息(Messages) 352 ,|_ewye 18.4.4 属性 352 {4 !%'~ 18.4.5 方法 353 H(ht{.sjI 18.4.6 变量声明 353 sQ/7Mc 18.5 创建对象 354 Ru
Q\H0pr 18.5.1 创建对象函数 355 0Ng6Xg(QHc 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 `e0U-W]kF 18.5.3 丢弃对象 356 aC>r5b#: 18.5.4 总结 356 X6~y+R 18.6 脚本中的表格 357 ]<q{0. 18.6.1 方法1 357 @5H1Ni5/o@ 18.6.2 方法2 357 Z&=K+P 18.7 2D Plots in Scripts 358 YNbs*i& 18.8 3D Plots in Scripts 359 hi>Ii2T 18.9 注释 360 a\\B88iRRZ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 sJX/YGHt 18.11 一个更高级的脚本 362 j?1\E9&4-Q 18.12 <esc>键 364 Tk9*@kqv 18.13 包含文件 365 %*<k5#Yq 18.14 脚本被优化调用 366 :tM|$TZ 18.15 脚本中的对话框 368 7Nc@7_=
18.15.1 介绍 368 Q;{yIa$ $ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 N~ljU;wo-9 18.15.3 输入框函数 370 ?6B)Ek,'X? 18.15.4 自定义对话框 371 n<Z;Xh~F 18.15.5 对话框编辑器 371 Mk=
tS+ 18.15.6 控制对话框 377 y-}lz#N 18.15.7 更高级的对话框 380 gLQWL}0O 18.16 Types语句 384 K;G1cFFyG 18.17 打开文件 385 ;C-5R U
V 18.18 Bags 387 3=)/-l 18.13 进一步研究 388 673v 19 vStack 389 %96JH
YcX 19.1 vStack基本原理 389 <\?ySto 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ~R/7J{Sg 19.3 五棱镜 393 WUAjb,eo 19.4 光束距离 396 o(>!T=f 19.5 误差 399 '/SMqmi 19.6 二向分色棱镜 399 #O^H?3Q3 19.7 偏振泄漏 404 *(L4rK\2 19.8 波前误差—相位 405 b,7:=-D 19.9 其它计算参数 405 GY<Y, 20 报表生成器 406 y<k-dbr 20.1 入门 406 =ALy.^J= 20.2 指令(Instructions) 406 eg)=^b 20.3 页面布局指令 406 C;wN>HE 20.4 常见的参数图和三维图 407 JJ,Fh
. 20.5 表格中的常见参数 408 .%3bXK+F 20.6 迭代指令 408 ~.AUy%$_g+ 20.7 报表模版 408 Y:G6Nd
VFM 20.8 开始设计一个报表模版 409 d7^:z%Eb| 21 一个新的project 413 { LJwW*? 21.1 创建一个新Job 414 ):&A\nb 21.2 默认设计 415 )qD%5} t 21.3 薄膜设计 416 #@Zz
Bf 21.4 误差的灵敏度计算 420 17H_>a\` 21.5 显色指数计算 422 tHXt*tzq 21.6 电场分布 424 X6!u(plVQ 后记 426 !y'LKze+G 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! B c*Rn3i@
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