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《Essential Macleod中文手册》 60.[t9pk6 5#N"WHz! 目 录 ?[a7l:3-[ `!5tH?bX
ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 _#y(w% 第1章 介绍 ..........................................................1 FB?q/ _ 第2章 软件安装 ..................................................... 3 G!>
iqG 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 BWqik_ 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 1"~O"m sb 第5章 软件结构 ............................................................... 21 ZQgxrZx3 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 QSl:=Q' 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 24.7S LXO 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 `2Z4#$. 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 fF9;lWt 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 kHz+ZY<? 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 c1Fru 第12章 优化和综合 ..................................................................120 GA%"w=M\ 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 >Rz#g*@E 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 Wfi:wCqZG 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 E#&c]9QM75 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 _7t|0aNo\ 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 '>S8t/ 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 Q
KDb 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 "`8H:y 第20章 运行表单 .................................................................... 251 cN[q)ts 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 r7wx?{~ 28 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 Sl+jduc 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 ;OT#V,}r 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297
?fqkM 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 !)l%EJngL 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 t2!$IHE: 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 +0JH"L5! 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 Rd@n?qB 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316
5K_N C4X{Ps\ GFy0R"&d[ 1,*Z_ F=y dmTW]P2 2+r )VF: 内容简介 B[U.CAUn Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ,sRrV $," 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 $
uIwRG
< 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 n79DS(t 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 L2V
$%*6 1_dMe%53 目录 h#6 jUQ Preface 1 d9Ow 2KrC 内容简介 2 a_}BTkfHa 目录 i GQ8Dj!8 1 引言 1 41+E U Mc 2 光学薄膜基础 2 D+vl%(g 2.1 一般规则 2 vY+_tpuEH 2.2 正交入射规则 3 "8j;k5< 2.3 斜入射规则 6 /9vMGef@ 2.4 精确计算 7 8d*<Aki?; 2.5 相干性 8 ?#{2?%_ 2.6 参考文献 10 T\b";+!W 3 Essential Macleod的快速预览 10 ]@j"0F/` 4 Essential Macleod的特点 32 /w0v5X7 4.1 容量和局限性 33 hvv>UC/ 4.2 程序在哪里? 33 0z<]\a4 4.3 数据文件 35 +ouy]b0`t 4.4 设计规则 35 M0" g/W 4.5 材料数据库和资料库 37 7`'fUhB! 4.5.1材料损失 38 *"9)a6T
t+ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 :QhEu%e 4.5.2 材料库 41 6w`}+3 4.5.3导出材料数据 43 $d"f/bRWy 4.6 常用单位 43 vM>`CZ 4.7 插值和外推法 46 Lq8Z!AIw> 4.8 材料数据的平滑 50 `b'|FKc] 4.9 更多光学常数模型 54 d_?Zr`: 4.10 文档的一般编辑规则 55 & b^*N5<Z 4.11 撤销和重做 56 '>lPq tdZ 4.12 设计文档 57 p/^\(/\]) 4.10.1 公式 58 D 5wR?O 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 )V =K#MCK 4.10.3 沉积密度 59 C9;X6 4.10.4 平行和楔形介质 60 -L'`d 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Z=5}17kA 4.10.4 性能 61 #*aGzF 4.10.5 保存设计和性能 64 (R|FQdH 4.10.6 默认设计 64 Gy Xs{* 4.11 图表 64 yp/V8C 4.11.1 合并曲线图 67 1#X=&N 4.11.2 自适应绘制 68 CCvBE, ux 4.11.3 动态绘图 68 k2,oyUT=S 4.11.4 3D绘图 69 ]TZWFL- 4.12 导入和导出 73 +AC-f2 4.12.1 剪贴板 73
F3r 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 [ BC%$Sj 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 |>fS"u 4.13 背景 77 3Os3=Ix 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 b)`#^uxxJ 4.15 生成Rugate 84 ALieUf 4.16 参考文献 91 W%<]_u[-} 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ;7=JU^@D@ 5.1 Jobs 92 H?bsK~ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 tJF~Xv2L! 5.3 输入材料 94 Z.OrHg1 5.4 设计数据文件夹 95 TdOWdPvYj 5.5 默认设计 95 d`][1rZk 6 细化和合成 97 +jZg%$Q!# 6.1 优化介绍 97 9^*YYK}% 6.2 细化 (Refinement) 98 d"`>&8* 6.3 合成 (Synthesis) 100 ~5dq5_ 6.4 目标和评价函数 101 }eRG$)' 6.4.1 目标输入 102 Vwg|? sG_ 6.4.2 目标 103 >(4S `}K 6.4.3 特殊的评价函数 104 p:>? 6.5 层锁定和连接 104 I=Dk'M 6.6 细化技术 104 W>s9Mp 6.6.1 单纯形 105 4O"kOEkKT> 6.6.1.1 单纯形参数 106 c5+lm}R ? 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 +dpj? 6.6.2.1 Optimac参数 108 ){|Lh( 6.6.3 模拟退火算法 109 #$rT 4Nc; 6.6.3.1 模拟退火参数 109 *H<g9<Dn 6.6.4 共轭梯度 111 KK3xz*W0 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 2*DS_=6o 6.6.5 拟牛顿法 112 gJ~*rWBK: 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ij5=f0^4. 6.6.6 针合成 113 ewPd hCK 6.6.6.1 针合成参数 114 L*oLKigT 6.6.7 差分进化 114 g;Q^_4@ 6.6.8非局部细化 115 _llaH 6.6.8.1非局部细化参数 115 2s ,n!u
Fd 6.7 我应该使用哪种技术? 116 k3h53QTmC 6.7.1 细化 116 Dk6\p~q 6.7.2 合成 117 0c6AQP"=V 6.8 参考文献 117 YHtI% 7 导纳图及其他工具 118 QjbPBk Q 7.1 简介 118 ##ea-"m8 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 CPE
F,,\ 7.2.1 四分之一波长规则 119 ghR]$SG 7.2.2 导纳图 120 QHz76i!=> 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 yj9gN}+ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 uKzz/Y{ 7.5 斜入射导纳图 141 ~7lvY+k)< 7.6 对称周期 141 5F?g6?j{ 7.7 参考文献 142 K1nwv" 8 典型的镀膜实例 143 S.>9tV2Ca 8.1 单层抗反射薄膜 145 6_><W"r:] 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 o*BI^4 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 y9 '3vZ 8.4 W-膜层 148 ADUI@#vk 8.5 V-膜层 149 %K,,Sl_ 8.6 V-膜层高折射基底 150 p{PYUW"?^ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 3!UP>,! 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 g o Z# 8.9 四层抗反射薄膜 153 B\w`)c 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 yKhzymS}T 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 y_r6T
XnGL 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 p5BcDYOw` 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 _(
Cp 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 55KL^+-~ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 /T'nY{ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 tqC#_[~7 8.17 1/4波长堆栈 162 Y)RikF > 8.18 陷波滤波器 163 +:Zi(SuS] 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 l'f!za0 8.20 褶皱 165 py4_hj\v 8.21 消偏振分光器1 169 tTamFL6 8.22 消偏振分光器2 171 !A0bbJ 8.23 消偏振立体分光器 172 Ww4G 8.24 消偏振截止滤光片 173 pU/.|Sh 8.25 立体偏振分束器1 174 Im#$iPIvT 8.26 立方偏振分束器2 177 "VCr^' 8.27 相位延迟器 178 Z:Am\7 I 8.28 红外截止器 179 <3CrCEPC 8.29 21层长波带通滤波器 180 vBXr[XoC 8.30 49层长波带通滤波器 181 _s,svQ8# 8.31 55层短波带通滤波器 182 PdnK@a 8.32 47 红外截止器 183 I{bi3y0 8.33 宽带通滤波器 184 Rgu^>
~ 8.34 诱导透射滤波器 186 =0Sa 8.35 诱导透射滤波器2 188 @]4 s&;
8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 w5\)di 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 np(<Ap r 8.35 增益平坦滤波器 193 )YnN9"8 8.38 啁啾反射镜 1 196 AG2jl/ 8.39 啁啾反射镜2 198 cxdM!L; ` 8.40 啁啾反射镜3 199 1jVcL)szU 8.41 带保护层的铝膜层 200 .m51/X&*n 8.42 增加铝反射率膜 201 H0 t1& : 8.43 参考文献 202 u>Hx#R<*% 9 多层膜 204 AR^Di`n! 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 [8#l~
|U 9.2 内部透过率 204 &9tsk#bA.g 9.3 内部透射率数据 205 H;ib3? 9.4 实例 206 SF7
Scd 9.5 实例2 210 hI0l2OE 9.6 圆锥和带宽计算 212 Cv33?l-8%_ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 } d6^ 10 光学薄膜的颜色 216 eNb =` 10.1 导言 216 |n8^Xsx4w 10.2 色彩 216 4LLCb7/5lP 10.3 主波长和纯度 220 O*7
pg 10.4 色相和纯度 221 ,fRb6s- 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 s]UeDZ<a 10.6 色差 226 jL&F7itP 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 l"CONzm!
10.8 颜色渲染指数 234 O8%/Id 10.9 色差计算 235 fJKOuFK 10.10 参考文献 236 .rHO7c,P~ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 k$c!J'qL& 11.1 短脉冲 238 _45"Z}Zx 11.2 群速度 239 VXp
X#O 11.3 群速度色散 241 Lq.k?!D3uh 11.4 啁啾(chirped) 245 PX]v"xf 11.5 光学薄膜—相变 245 2z:9^a/]Na 11.6 群延迟和延迟色散 246 PH.v3
3K 11.7 色度色散 246 }dCnFZ{K3 11.8 色散补偿 249 X*@Sj;|m 11.9 空间光线偏移 256 gqd#rjtfz 11.10 参考文献 258 T28#?Lp6] 12 公差与误差 260 RWYA` 12.1 蒙特卡罗模型 260 w'C(? ?mH 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 :M16ijkx 12.2.1 误差工具 267 b.(^CYYQ 12.2.2 灵敏度工具 271 I6+5 mv\ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 4[D@[kAs 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Yhfk{ CI 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 lf 3W:0K 12.3 参考文献 276 ^Ue>T8 13 Runsheet 与Simulator 277 %-D2I 13.1 原理介绍 277 R4?/7 13.2 截止滤光片设计 277 7-)KTBFL 14 光学常数提取 289 *
-)aGL 14.1 介绍 289 <pCZ+Yv E" 14.2 电介质薄膜 289 sy;~(rpg 14.3 n 和k 的提取工具 295 |yr}g-m 14.4 基底的参数提取 302 >K3Lww)Ln 14.5 金属的参数提取 306 =x>KA*O1 14.6 不正确的模型 306 kq+L63fZ 14.7 参考文献 311 xQ4Q '9 15 反演工程 313 6Y=)12T 15.1 随机性和系统性 313 o/&Q^^Xj^~ 15.2 常见的系统性问题 314 Y&nY]VV 15.3 单层膜 314 WukD|BCC 15.4 多层膜 314 c;VW>&,B 15.5 含义 319 q4{ 6@q 15.6 反演工程实例 319 6B=J*8
Hs 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 cOSUe_S0w[ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 *5^h>Vk/ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ]'Bz%[C) 16.1 光学性质的热致偏移 329 M%m$5[;n 16.2 应力工具 335 k2~j:&p 16.3 均匀性误差 339 iVE+c"c!2& 16.3.1 圆锥工具 339 +NQw^!0qy 16.3.2 波前问题 341 rRxqV?>n! 16.4 参考文献 343 ,xGkE7=5 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ?(Nls.c 17.1 引言 345 /) N[tv2 17.2 操作数 345 >5\rU[H> 18 如何在Function中编写脚本 351
Re`= B 18.1 简介 351 ne%ckW?ks 18.2 什么是脚本? 351 qSON3Iid 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 x@yF|8 18.4 基础 352 I/ c*
? 18.4.1 Classes(类别) 352 Hly$ Wm 18.4.2 对象 352 ]O^!P,l)" 18.4.3 信息(Messages) 352
W<t,Ivg 18.4.4 属性 352 9i n& \ 18.4.5 方法 353 N
G4wtDa 18.4.6 变量声明 353 *x$\5;A 18.5 创建对象 354 E=7~\7TE 18.5.1 创建对象函数 355 "!2Fy-Y 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Xr-eDUEi 18.5.3 丢弃对象 356 KdUmetx1 18.5.4 总结 356 RDZl@ps8 18.6 脚本中的表格 357 dLLF#N 18.6.1 方法1 357 N/(&&\3 18.6.2 方法2 357 AkGCIn3 18.7 2D Plots in Scripts 358 E1=]m 18.8 3D Plots in Scripts 359 M^a QH/=:" 18.9 注释 360 w _n)*he)z 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 QHOem=B 18.11 一个更高级的脚本 362 P7Kp*He) 18.12 <esc>键 364 K*>lq|iu 18.13 包含文件 365 bEbnZ<kz* 18.14 脚本被优化调用 366 d+$a5 [^9 18.15 脚本中的对话框 368 $Ad 5hkz 18.15.1 介绍 368 7cH[}v`pn 18.15.2 消息框-MsgBox 368 &{99Owqg 18.15.3 输入框函数 370 ~nw]q<7r 18.15.4 自定义对话框 371 .Um.dXBYU 18.15.5 对话框编辑器 371 .7"
f~%&oP 18.15.6 控制对话框 377 z6\Y& { 18.15.7 更高级的对话框 380 C,.$g>)MZK 18.16 Types语句 384 k? X7h2 18.17 打开文件 385 ):1NeJOFF 18.18 Bags 387 ?Yxk1Y4ig) 18.13 进一步研究 388 -W2 !_ 19 vStack 389 1s .Ose 19.1 vStack基本原理 389 49cQA$Ad 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 s-[ _% 19.3 五棱镜 393 Z8Qmj5'[ 19.4 光束距离 396 Zj%l (OVq 19.5 误差 399 zmF_-Q`c 19.6 二向分色棱镜 399 !>TH#sU$ 19.7 偏振泄漏 404 Gz@'W%6yaV 19.8 波前误差—相位 405 5\lOZYHX 19.9 其它计算参数 405 zrri&QDF< 20 报表生成器 406 ^<Q+=\h 20.1 入门 406 (bY#!16C: 20.2 指令(Instructions) 406 I8rtta 20.3 页面布局指令 406 wS9EC}s:Q 20.4 常见的参数图和三维图 407 $ba3dqbCW 20.5 表格中的常见参数 408 B/7c`V 20.6 迭代指令 408 %Sf%XNtu 20.7 报表模版 408 A46Xei:Ow 20.8 开始设计一个报表模版 409 jw]~g+x#$ 21 一个新的project 413 \hoYQK j 21.1 创建一个新Job 414 1 :<f[l 21.2 默认设计 415 Ou>L|#=! 21.3 薄膜设计 416 eJlTCXeZ| 21.4 误差的灵敏度计算 420 8K=sx@l 21.5 显色指数计算 422 '#L.w6<B 21.6 电场分布 424 *DcJ). 后记 426 XDRw![H,~ 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! 6SJ
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