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《Essential Macleod中文手册》 XZf$K _F&M =wJX0A| 目 录 *a)n62 {:s f7 ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 ZcsZ$qt^ 第1章 介绍 ..........................................................1 UG^q9 :t 第2章 软件安装 ..................................................... 3 $qiya[&G4 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 Sz~OX6L 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 :s,Z<^5a)g 第5章 软件结构 ............................................................... 21 [^)g%|W 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 (:_$5&i7 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 1 zZlC#V 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 ks tIgcI
第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 0b>h$OU/ 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 x2EUr,7 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 H\
% 7% 第12章 优化和综合 ..................................................................120 siaG'%@*r 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 wY#E?, 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 29rX%09T] 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 K'bP@y_cq 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 oDR%\VY6T 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 W!X@ 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 dM5-; 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 \m,PA'nd/ 第20章 运行表单 .................................................................... 251 0[`^\Mv4y 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 .>S!ji 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 KXy6Eno 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 97]E1j] 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 +0&/g&a\R 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 NUZl`fu1Z4 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 p ?!/+ 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 zda 3
,U2o 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 3mgD(,(^ 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 P?\6@_ Z h\o.&6sd XUYtEf I0-MRU~[K WY/}1X9.% DF= *_,2/ 内容简介 >j/w@Fj Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 paK2xX8E 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ]`K2N 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 X,
n:,' 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 khe}*y N['.BN 目录 fex@,I&
Preface 1 kj_c%T
]/ 内容简介 2 <YY 14p 目录 i u_enqC3 1 引言 1 SU0
hma8 2 光学薄膜基础 2 2ESo2 2.1 一般规则 2 (HVGlw'` 2.2 正交入射规则 3 EwN}l 2.3 斜入射规则 6 ueudRb 2.4 精确计算 7 ;TYBx24vD' 2.5 相干性 8 l**X^+=$ 2.6 参考文献 10 z_HdISy0 3 Essential Macleod的快速预览 10 UNYqft4 4 Essential Macleod的特点 32 Hka2 4.1 容量和局限性 33 mt
.sucT 4.2 程序在哪里? 33 I,tud!p` 4.3 数据文件 35 ^!d3=}:0 4.4 设计规则 35 kmW4:EA% 4.5 材料数据库和资料库 37 s<Ziegmw|g 4.5.1材料损失 38 Ac@VGT:9 4.5.1材料数据库和导入材料 39 7dWS 4.5.2 材料库 41 K0~rN.C!0 4.5.3导出材料数据 43 Tk}]Gev 4.6 常用单位 43 A^g(k5M* 4.7 插值和外推法 46 TOt dUO 4.8 材料数据的平滑 50 V0@=^Bls 4.9 更多光学常数模型 54 L0,'mS 4.10 文档的一般编辑规则 55 l#o
~W` 4.11 撤销和重做 56 b}`TLn 4.12 设计文档 57 7#XzrT] 4.10.1 公式 58 dd;~K&_Q/i 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 1zv'.uu., 4.10.3 沉积密度 59 4RO}<$Nx} 4.10.4 平行和楔形介质 60 ]^E?;1$f? 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ye&;(30Oq 4.10.4 性能 61 lxx2H1([ 4.10.5 保存设计和性能 64 0J9x9j`&j 4.10.6 默认设计 64 MtdG>TzUn 4.11 图表 64 1}x%%RD_ 4.11.1 合并曲线图 67 N8jIMb'< 4.11.2 自适应绘制 68 (QEG4&9 4.11.3 动态绘图 68 js(pC@<q5 4.11.4 3D绘图 69 %b$>qW\*& 4.12 导入和导出 73 [txE .7p 4.12.1 剪贴板 73 t.<i:#rj>l 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 X?O[r3< 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Wr
4,YQM 4.13 背景 77 l?e.9o2- 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 dO'(2J8 4.15 生成Rugate 84 D.:Zx 4.16 参考文献 91 ?<!| 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 y29m/i: 5.1 Jobs 92 #a#F,ZT 5.2 创建一个新Job(工作) 93 {7[Ox<Ho 5.3 输入材料 94 x2xRBkRg= 5.4 设计数据文件夹 95 5pX6t 5.5 默认设计 95 _BufO7`. 6 细化和合成 97 &C}*w2]0S 6.1 优化介绍 97 4#D,?eA7 6.2 细化 (Refinement) 98 /ZX}Nc g 6.3 合成 (Synthesis) 100 81F9uM0 6.4 目标和评价函数 101 Yy8g(bU 6.4.1 目标输入 102 Rq -ZL{LR7 6.4.2 目标 103 VbYdZCC 6.4.3 特殊的评价函数 104
mh%VrAq 6.5 层锁定和连接 104 6tZI["\ 6.6 细化技术 104 $4\j]RE! 6.6.1 单纯形 105 0GL M(JmK 6.6.1.1 单纯形参数 106 + {]j]OP 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 @7}W=HB 6.6.2.1 Optimac参数 108 h[ ZN+M 6.6.3 模拟退火算法 109 ?6!LL5a. 6.6.3.1 模拟退火参数 109 e-;}366} 6.6.4 共轭梯度 111
7GGUV 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 4+n\k 6.6.5 拟牛顿法 112 42{~Lhxt 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 btB%[] 6.6.6 针合成 113 hH.G#-JO 6.6.6.1 针合成参数 114 x`s>*^ 6.6.7 差分进化 114 6)J#OKZ 6.6.8非局部细化 115 u*R_\*j@ 6.6.8.1非局部细化参数 115 MV"=19] 6.7 我应该使用哪种技术? 116 >_}
I.\X 6.7.1 细化 116 tPvpJX6kP 6.7.2 合成 117 NK+o1 6.8 参考文献 117 9WHddDA 7 导纳图及其他工具 118 }H4RR}g 7.1 简介 118 7)m9"InDI 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 al0L&z\ 7.2.1 四分之一波长规则 119 d9ihhqq3} 7.2.2 导纳图 120 M5B# TAybC 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 reVgqYp{{- 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ~[: 2I 7.5 斜入射导纳图 141 /reX{Y 7.6 对称周期 141 sLFl!jX 7.7 参考文献 142 '-6~tWC~7 8 典型的镀膜实例 143 Vl]>u+YqE 8.1 单层抗反射薄膜 145 y(Td/rY. 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 6*?F @D2& 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 6~{C.No} 8.4 W-膜层 148
)jj0^f1!j 8.5 V-膜层 149 oU|c.mYe 8.6 V-膜层高折射基底 150 GILfbNcd 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 e!`i3KYn" 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 `/g
UV 8.9 四层抗反射薄膜 153 t)
+310w 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Cw%{G'O 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Ru XC(qcq 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 g0
[w-?f 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 _@g;8CA 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 @o^Ww 8.15十五层宽带抗反射膜 159 )Z$!PqRw@u 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 l0]
EX>"E 8.17 1/4波长堆栈 162 Q\)F;: | 8.18 陷波滤波器 163 ,Q,^3*HX9} 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 BY*Q_Et 8.20 褶皱 165 598i^z{~0% 8.21 消偏振分光器1 169 Jwp7gYZ 8.22 消偏振分光器2 171 !BI;C(,RL 8.23 消偏振立体分光器 172 l,:F 8.24 消偏振截止滤光片 173 Qd6F H2Pl 8.25 立体偏振分束器1 174 ]k(]qZ 8.26 立方偏振分束器2 177 z2c6T.1M 8.27 相位延迟器 178 AS,%RN^. 8.28 红外截止器 179 P4?glh q# 8.29 21层长波带通滤波器 180 }Lv;! 8.30 49层长波带通滤波器 181 8Y3I0S 8.31 55层短波带通滤波器 182 F/Pep?' 8.32 47 红外截止器 183 :EH=_" 8.33 宽带通滤波器 184 t
Pf40`@ 8.34 诱导透射滤波器 186 6RM/GM 8.35 诱导透射滤波器2 188 HThcn1u~^b 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 7KPwQ?SjT 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 G`zm@QL 8.35 增益平坦滤波器 193 G
j1_!.T 8.38 啁啾反射镜 1 196 C>~TI,5a3 8.39 啁啾反射镜2 198 OTp]Xe/ 8.40 啁啾反射镜3 199 *kVV+H<X|b 8.41 带保护层的铝膜层 200 AEuG v}# 8.42 增加铝反射率膜 201 q =Il|Nb> 8.43 参考文献 202 S$k&vc(0 9 多层膜 204 RyN s6 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 fatf*}eln 9.2 内部透过率 204 `kr?j:g 9.3 内部透射率数据 205 &?vgP!d&M 9.4 实例 206 Q^I\cAIB 9.5 实例2 210 L(o15 9.6 圆锥和带宽计算 212
9akH 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 m3ff;, 10 光学薄膜的颜色 216 <1pEwI~ 10.1 导言 216 J=L5=G7( 10.2 色彩 216 5?L<N:;J_ 10.3 主波长和纯度 220 7Qsgys#/= 10.4 色相和纯度 221 )jC%a6G! 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 *qMY22X 10.6 色差 226 zT[!o
j7 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 mqJ_W[y7 10.8 颜色渲染指数 234 Gc!x|V;T 10.9 色差计算 235 v3qA":(w+( 10.10 参考文献 236 80;(Gt@<" 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 c)tfAD(N8x 11.1 短脉冲 238 \?N2=jsu$ 11.2 群速度 239 XUw/2"D'? 11.3 群速度色散 241 T)})
pt!V 11.4 啁啾(chirped) 245 Fx+*S3==%e 11.5 光学薄膜—相变 245 fT{Yg /j 11.6 群延迟和延迟色散 246 EzIGz[ 11.7 色度色散 246 l(q ,<[O 11.8 色散补偿 249 C-[1iW' 11.9 空间光线偏移 256 qw8Rlws% 11.10 参考文献 258 $g7<Y*t[ 12 公差与误差 260 M[uA@ 12.1 蒙特卡罗模型 260 v}x&?fU ` 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 :yjFQ9^?& 12.2.1 误差工具 267 bTu9;( 12.2.2 灵敏度工具 271 >*n0n!vF 12.2.2.1 独立灵敏度 271 @o6L6Y0Naa 12.2.2.2 灵敏度分布 275 gdoLyxQ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 *:NQ&y*uj 12.3 参考文献 276
jSA jcLR 13 Runsheet 与Simulator 277 )Wox Mmz 13.1 原理介绍 277 U?=Dg1 13.2 截止滤光片设计 277 _~
&iq1 14 光学常数提取 289 X$pJ
:M{F$ 14.1 介绍 289 2Gdd*=4z 14.2 电介质薄膜 289 m_l[MG\ 14.3 n 和k 的提取工具 295 TU7'J 14.4 基底的参数提取 302 ?rup/4| 14.5 金属的参数提取 306 WT}H>T 14.6 不正确的模型 306 ukY"+& 14.7 参考文献 311 ; Hd7*`$ 15 反演工程 313 9I/N4sou 15.1 随机性和系统性 313 F3N6{ysK# 15.2 常见的系统性问题 314 ]d%8k}U 15.3 单层膜 314 VQ{fne< 15.4 多层膜 314 ,{q;;b9 15.5 含义 319 |a%Tp3Q~ 15.6 反演工程实例 319 l0hlM# 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 A= {UL 15.6.2 反演工程提取折射率 327 O<e{ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Jq^T1_iqn 16.1 光学性质的热致偏移 329 xp9pl[l 16.2 应力工具 335 %!L9)(}" 16.3 均匀性误差 339 }#E[vRf 16.3.1 圆锥工具 339 KK%M~Y+tU' 16.3.2 波前问题 341 X~i<g?] 16.4 参考文献 343
*cnNuT 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 [66!bM& 17.1 引言 345 {
buy"X4 17.2 操作数 345 ~3S~\0&| 18 如何在Function中编写脚本 351 Q1l '7N 18.1 简介 351 _\HQvH 18.2 什么是脚本? 351 PJ'E/C)i 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 &(mR>
mT 18.4 基础 352 K}U-w:{ 18.4.1 Classes(类别) 352 /[>sf[X\I9 18.4.2 对象 352 ~F?u)~QZ# 18.4.3 信息(Messages) 352
6B
?twh) 18.4.4 属性 352 =iD3Yt 18.4.5 方法 353 wg]LVW} 18.4.6 变量声明 353 c:u5\&~{ 18.5 创建对象 354 Y7[jqb1D 18.5.1 创建对象函数 355 ]}(H0?OQR 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 (NnH:J` 18.5.3 丢弃对象 356 ]P2"[y 18.5.4 总结 356 ^Js9 s8?$ 18.6 脚本中的表格 357 Bng@-#`/ 18.6.1 方法1 357 r{%qf; 18.6.2 方法2 357 E1U",CMU 18.7 2D Plots in Scripts 358 R+,u^;\ 18.8 3D Plots in Scripts 359 G<^{&E+= 18.9 注释 360 X/M4!L}\ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 AlW66YAuQ 18.11 一个更高级的脚本 362 H ?y,ie#u 18.12 <esc>键 364 r_;Nt 18.13 包含文件 365 Km6YP!i 18.14 脚本被优化调用 366 g!z&~Z: 18.15 脚本中的对话框 368 oD1/{dRzj 18.15.1 介绍 368 `P;s8~ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 _aMPa+D=P 18.15.3 输入框函数 370 JO"<{ngsQ 18.15.4 自定义对话框 371 B[?CbU 18.15.5 对话框编辑器 371 \<6CZ 18.15.6 控制对话框 377 x*&|0n.D 18.15.7 更高级的对话框 380
{ Z5nGG 18.16 Types语句 384 RTJ3qhY 18.17 打开文件 385 c>~*/%+ 18.18 Bags 387 :7?FF'u 18.13 进一步研究 388 %lGfAYEM= 19 vStack 389 WPG(@zD 19.1 vStack基本原理 389 =-lb)Z"d 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 @Sbe^x 19.3 五棱镜 393 tlp@?(u 19.4 光束距离 396 6,9>g0y'NG 19.5 误差 399 ^7KH _t8 19.6 二向分色棱镜 399 l9u!aD 19.7 偏振泄漏 404 >:!X.TG$ 19.8 波前误差—相位 405 z4]api(xZ 19.9 其它计算参数 405 fG(SNNl+D 20 报表生成器 406 q,eVjtF 20.1 入门 406 zXxT%ZcCj 20.2 指令(Instructions) 406 B[-v[K2 20.3 页面布局指令 406 z}ddqZ27G$ 20.4 常见的参数图和三维图 407 SHo$9+ 20.5 表格中的常见参数 408 7 uKY24 20.6 迭代指令 408 >!1. 20.7 报表模版 408 xzZ38xIhV 20.8 开始设计一个报表模版 409 Q &K 21 一个新的project 413
|CZ@te)> 21.1 创建一个新Job 414 A_5P/ARmI 21.2 默认设计 415 w{@ o^rs 21.3 薄膜设计 416 "z=SO1 21.4 误差的灵敏度计算 420 2M'[,Xe 21.5 显色指数计算 422 &&:YVd
21.6 电场分布 424 D"?fn<2 后记 426 Pjjewy1}^ 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! i||]V*5n
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