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《Essential Macleod中文手册》 p`XI (NI ~I2IgEj>] 目 录 |1;0q<Ka O8n\>p kI ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 1\_4# @') 第1章 介绍 ..........................................................1 i7*4hYY 第2章 软件安装 ..................................................... 3 m<r.sq&; 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 Z'!jZF~4p 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17
aS:17+! 第5章 软件结构 ............................................................... 21 >|H=25N>; 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 }1epn#O_4 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 =7#)8p[ 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 R '"J{oR 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 |PTL!>ym2 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111
03_tt7 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 L,Uqt, 第12章 优化和综合 ..................................................................120 9/q4]%` 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 A*E$_N 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 Jg|/*Or 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 q'{E $V)E 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 0=7C-A1(D 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 ;nSaZ$`5 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 .(nq"&u-* 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 d\xh>o 第20章 运行表单 .................................................................... 251 @ttcFX1:W 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 sd.:PE < 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 JFl@{6c 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 c\"oj&>A 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 zgqe@;{ 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 t~Ds) 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 980[]&( 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 2"JIlS;J}7 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 b8Y1 .y"# 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 lbTz !dSY?1>U< vpTS>!i ]D%D:>9|/ Y
KeOH bWG}>{fj 内容简介 |OuZaCJG Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 N2xgyKy~ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 `{8Sr) 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 FpCj$y~3 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ;]+kC =-`X61];M 目录 @N"h,(^ Preface 1 +
ECV|mkk 内容简介 2 _sJp"4? 目录 i Y Q3%vH5#y 1 引言 1 ] QtG gWtC 2 光学薄膜基础 2 wzT+V, 2.1 一般规则 2 C&K%Q3V 2.2 正交入射规则 3 }a|SgI 2.3 斜入射规则 6 ZXe[>H 2.4 精确计算 7 H\8.T:> 2.5 相干性 8 U/wY;7{)# 2.6 参考文献 10 !5Z?D8dcx 3 Essential Macleod的快速预览 10 1K4LEga` 4 Essential Macleod的特点 32 V=QvwQlZ 4.1 容量和局限性 33 u;J9aKD 4.2 程序在哪里? 33 &3S;5{7_e 4.3 数据文件 35 ;m@>v?zE 4.4 设计规则 35 oI/@w 4.5 材料数据库和资料库 37 ;@
%~eIlu 4.5.1材料损失 38 31<hn+pE& 4.5.1材料数据库和导入材料 39 R qOEQ*k 4.5.2 材料库 41 yV=hi?f-[V 4.5.3导出材料数据 43 !fyE
Hk 4.6 常用单位 43 ;x|4Tm 4.7 插值和外推法 46 W^P%k:anK 4.8 材料数据的平滑 50 ZLxe$.V_ 4.9 更多光学常数模型 54 :G$NQ*(z 4.10 文档的一般编辑规则 55 %t:1)]2 4.11 撤销和重做 56 j#<#o:If 4.12 设计文档 57 K\,&wU 4.10.1 公式 58 ] l}8 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 wF$8#= 4.10.3 沉积密度 59 NJLU+byU 4.10.4 平行和楔形介质 60 qA
Jgz7=c 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 E':y3T@." 4.10.4 性能 61 h:Npi
`y 4.10.5 保存设计和性能 64 =HYMX"s 4.10.6 默认设计 64 Op\l 4.11 图表 64 5-5qm[.; 4.11.1 合并曲线图 67 FV! 4.11.2 自适应绘制 68 FzFY2h;n]B 4.11.3 动态绘图 68 &.K=,+0_R/ 4.11.4 3D绘图 69 *.n9D 4.12 导入和导出 73 HaJD2wvr 4.12.1 剪贴板 73 UOT~L4G 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 / QSK$ZDC 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 1!0BE8s"@ 4.13 背景 77 c]t=# 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 aG`G$3 _wx 4.15 生成Rugate 84 oRmN|d ~4 4.16 参考文献 91 X 4;+` 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 +.b~2K1 5.1 Jobs 92 adHHnH`, 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ^h4Q2Mv o 5.3 输入材料 94 [{f{E 5.4 设计数据文件夹 95 i,$*+2Z 5.5 默认设计 95 f)?s.DvUB 6 细化和合成 97 "((6)U# 6.1 优化介绍 97 D.)R8X 6.2 细化 (Refinement) 98 ~^KemwogPN 6.3 合成 (Synthesis) 100 /J wQ5 6.4 目标和评价函数 101 [;h@q} 6.4.1 目标输入 102 y[.0L!C { 6.4.2 目标 103
*:_xy{m\ 6.4.3 特殊的评价函数 104 %(,JBa:G 6.5 层锁定和连接 104 hXmW,+1 6.6 细化技术 104 ;UArDw H 6.6.1 单纯形 105 \62|w HX 6.6.1.1 单纯形参数 106 UXR$ 7<D+ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 0waQw7
E 6.6.2.1 Optimac参数 108 Qm^N}>e 6.6.3 模拟退火算法 109 zT0FTAl^ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Vdh5s 292h 6.6.4 共轭梯度 111 Ag#p ) 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 drNfFx2 6.6.5 拟牛顿法 112 .
p<*n6E 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Q<w rO 6.6.6 针合成 113 GyRU/0'BME 6.6.6.1 针合成参数 114 %h2U(=/: 6.6.7 差分进化 114 f* p=]]y 6.6.8非局部细化 115 )LKutN?tBy 6.6.8.1非局部细化参数 115 %dhnp9' 6.7 我应该使用哪种技术? 116 AdKv!Ta5b 6.7.1 细化 116 2PAotD4+I 6.7.2 合成 117 S^a")U4 6.8 参考文献 117 Aum&U){yY 7 导纳图及其他工具 118 [;83
IoU} 7.1 简介 118 #92MI#|n9 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 }9:d(B9; 7.2.1 四分之一波长规则 119 A@f`g[q 7.2.2 导纳图 120 tb"UGa 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 .ie \3q) 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 W7_X=>l 7.5 斜入射导纳图 141 HT[<~c 7.6 对称周期 141 OF2*zU7M 7.7 参考文献 142 <t.yn\G-w 8 典型的镀膜实例 143 ,4)zn6tC 8.1 单层抗反射薄膜 145 |9@?8\ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 <;=?~QK%- 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 8%U+y0j6b 8.4 W-膜层 148 Y'DI@ 8.5 V-膜层 149 >
CZ|Vx 8.6 V-膜层高折射基底 150 ?2E@)7 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 K.JKE"j)d 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 k-*H=km 8.9 四层抗反射薄膜 153 Vyf r>pgW1 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 q~T*R<S 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 K\,)9:`t 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 _RST[B.u6 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 1\$xq9 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 zw_Xh~4"b 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Cz#0Gh>1 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 \h!%U*!7{ 8.17 1/4波长堆栈 162 K_G(J> 8.18 陷波滤波器 163 dNU i|IYm$ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 6:fe.0H9 8.20 褶皱 165 3ktjMVy\ 8.21 消偏振分光器1 169 |'aGj 8.22 消偏振分光器2 171 N!
}p 8.23 消偏振立体分光器 172 AU OL?st 8.24 消偏振截止滤光片 173 9l]+rs+ 8.25 立体偏振分束器1 174 Rr{mD#+
8.26 立方偏振分束器2 177 -B* = V 8.27 相位延迟器 178 &'TZU"_ 8.28 红外截止器 179 ^mv F%"g 8.29 21层长波带通滤波器 180 '-N `u$3Y 8.30 49层长波带通滤波器 181 w/IYQC\v 8.31 55层短波带通滤波器 182 }~DlOvsq 8.32 47 红外截止器 183 Pv|g.hH9m 8.33 宽带通滤波器 184 &5h{XSv 8.34 诱导透射滤波器 186
a`
s2 z 8.35 诱导透射滤波器2 188 ^Vso`(Ss 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 G3
rTzMO 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 iVTC"v 8.35 增益平坦滤波器 193 NjrF":'Y 8.38 啁啾反射镜 1 196 |-a5|3 8.39 啁啾反射镜2 198 ="Zr. g~8 8.40 啁啾反射镜3 199 p.A_,iE 8.41 带保护层的铝膜层 200 Vzn0; 8.42 增加铝反射率膜 201 HkVnTC 8.43 参考文献 202 xQ+UZc 9 多层膜 204 ^~9fQJNs 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Z-z^0QO 9.2 内部透过率 204 @a$_F3W 9.3 内部透射率数据 205 w$[&ejFb 9.4 实例 206 YcOPqvQ 9.5 实例2 210 2FU+o\1% 9.6 圆锥和带宽计算 212 [%
\>FT[ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 RtO3!dGT. 10 光学薄膜的颜色 216 lR5[UKr 10.1 导言 216 3`.*~qW 10.2 色彩 216 c<bV3, 10.3 主波长和纯度 220 UTB]svC' 10.4 色相和纯度 221 (VV5SvdE 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 )eIC5>#. 10.6 色差 226 { RH&mu 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 DB%}@IW" 10.8 颜色渲染指数 234 v3O+ ;4 10.9 色差计算 235 ndg1E;> 10.10 参考文献 236 !xk`oW 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 FnxPM`Zx 11.1 短脉冲 238 '2Q[g0VR 11.2 群速度 239 /S2lA> 11.3 群速度色散 241 Pt5"q3ec{T 11.4 啁啾(chirped) 245 \]<eLw-v 11.5 光学薄膜—相变 245 2 tD{c^
9< 11.6 群延迟和延迟色散 246 J>Pc@,y 11.7 色度色散 246 niC ;WK 11.8 色散补偿 249 f#mNx 11.9 空间光线偏移 256 7>.d*?eao\ 11.10 参考文献 258 ^/]w}C#:d 12 公差与误差 260 2iM]t&^<+ 12.1 蒙特卡罗模型 260 ,+2!&"zD 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 &pHSX 12.2.1 误差工具 267 corNw+|/w 12.2.2 灵敏度工具 271 I;1W6uD= 12.2.2.1 独立灵敏度 271 e~oh%l^C72 12.2.2.2 灵敏度分布 275 zVt1Ta:j 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 &3gC&b^i 12.3 参考文献 276 )XCG4-1 13 Runsheet 与Simulator 277
#zmt x0 13.1 原理介绍 277 GmhfBW? 13.2 截止滤光片设计 277 Y"H'BT!b} 14 光学常数提取 289 o8 _)) 14.1 介绍 289 n( RQre 14.2 电介质薄膜 289 3JYhF)G 14.3 n 和k 的提取工具 295 CWBlDz 14.4 基底的参数提取 302 Gh%R4)} 14.5 金属的参数提取 306 Ec/&?|$ 14.6 不正确的模型 306 4y*"w*L 14.7 参考文献 311 F$/7X~* 15 反演工程 313 M$u.lI 15.1 随机性和系统性 313 W&~\@j]!D 15.2 常见的系统性问题 314 i~3\jD=< 15.3 单层膜 314 K_!R 15.4 多层膜 314 b~$8<\ 15.5 含义 319 @7HHi~1JK 15.6 反演工程实例 319 A_eO 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
5ENU}0W 15.6.2 反演工程提取折射率 327 h;Hg/jv 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 +Y?)? 16.1 光学性质的热致偏移 329 p!>5}f6 16.2 应力工具 335 :6gRoMb] 16.3 均匀性误差 339 7Pe<0K)s( 16.3.1 圆锥工具 339 V15/~ 16.3.2 波前问题 341 ;!S i_b2 16.4 参考文献 343 E"%dO 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 9dVHh?E 17.1 引言 345 Sw.k,p*r 17.2 操作数 345 mzf~qV^T 18 如何在Function中编写脚本 351 &w!(.uDO 18.1 简介 351 _Z>ny& 18.2 什么是脚本? 351 +~K)
~ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ,ZI#p6 18.4 基础 352 'yo-`nNFD 18.4.1 Classes(类别) 352 buldA5*!o 18.4.2 对象 352 `+h+X9 18.4.3 信息(Messages) 352 3xk-D &" 18.4.4 属性 352 G%A!yV 18.4.5 方法 353 frokl5L@ 18.4.6 变量声明 353 (`&SV$m 18.5 创建对象 354 |(<A)C 18.5.1 创建对象函数 355 D&o~4Qvc] 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 HvR5-?qQ 18.5.3 丢弃对象 356 ?o1QjDG 18.5.4 总结 356 Avww@$ 18.6 脚本中的表格 357 Cxd^i 18.6.1 方法1 357 uZM%F) 18.6.2 方法2 357 <a&w$Zc/ 18.7 2D Plots in Scripts 358 5O(U1
* 18.8 3D Plots in Scripts 359 C{:U<q 18.9 注释 360 llN/ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 7{tU'`P> 18.11 一个更高级的脚本 362 n-9a0_{k 18.12 <esc>键 364 ekW#| 18.13 包含文件 365 O7]kcA 18.14 脚本被优化调用 366 mlYkn 18.15 脚本中的对话框 368 -d9L 18.15.1 介绍 368 }uwZS=pw 18.15.2 消息框-MsgBox 368 X$Shi
*U[ 18.15.3 输入框函数 370 75pn1*"gQ 18.15.4 自定义对话框 371 EQe$~}[ 18.15.5 对话框编辑器 371 ]VR79l 18.15.6 控制对话框 377 "574%\#4z 18.15.7 更高级的对话框 380 K]1|#`n 18.16 Types语句 384 p//mVH% 18.17 打开文件 385 !LQzf(s; 18.18 Bags 387 )(OGo`4Qz 18.13 进一步研究 388 HZ2f|Y|T 19 vStack 389 "Lyb4# M 19.1 vStack基本原理 389 v.ow`MO=; 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ]s0GAp" 19.3 五棱镜 393 A{dqB 19.4 光束距离 396 `z`=!1 19.5 误差 399 K8/jfm 19.6 二向分色棱镜 399 'C=(?H)M 19.7 偏振泄漏 404 Scug
wSB 19.8 波前误差—相位 405 X(O:y^sX} 19.9 其它计算参数 405 Ng1bjq}E2 20 报表生成器 406 B8unF=u 20.1 入门 406 7^V`B^Vu 20.2 指令(Instructions) 406 La28%10 20.3 页面布局指令 406 +f$
{r7 20.4 常见的参数图和三维图 407 2Jky,YLcb 20.5 表格中的常见参数 408 pHowioFx 20.6 迭代指令 408 iMv):1p>8 20.7 报表模版 408 7xM4=\~OG 20.8 开始设计一个报表模版 409 1Q=L/keP 21 一个新的project 413 &lID6{7 9Z 21.1 创建一个新Job 414 XI:+EeM? 21.2 默认设计 415 WZn"I&Z 21.3 薄膜设计 416 DxD\o+:r 21.4 误差的灵敏度计算 420 39m8iI%w[
21.5 显色指数计算 422 ^?_MIS`4N 21.6 电场分布 424 7yJE+o' 后记 426 S(Z\h_m( 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! M;W&#Fz%
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