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《Essential Macleod中文手册》 Xu'u"amt $GYy[-.` 目 录 F\XzP\ N),Zb^~nw ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 !|`YNsR 第1章 介绍 ..........................................................1 E-Mp|y /V 第2章 软件安装 ..................................................... 3 \Q3m?)X=Gd 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 >#V8l@IH 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 Kj-`ru 第5章 软件结构 ............................................................... 21 <(
MBs$b 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 [szwPNQ_ 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 !E*-\}[ 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 +\{!jB*g 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 hZ%Ie%~n 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 K|s+5>]W/[ 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 i=SX_#b^ 第12章 优化和综合 ..................................................................120 2 1;n0E 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 )kd PAw 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 H!xBFiOH$n 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 &QE* V 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 %fxGdzu7. 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 #7g~Um%p 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 %i^%D 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 $x 2t0@ 第20章 运行表单 .................................................................... 251 F 6SIhf.; 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 [,fMh $t 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 5[;^Em)C 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 K7y}R%QF 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 {^N=hI 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 #ocT4 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 ,@2O_O`: 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 cW3;5 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 O,DA{> *m 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 QXF>xZ~ zg^5cHP\ ^91k@MC @@! R
Iq!
D@0eYX4s .&L#%C 内容简介 AA@J~qd
u Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 D@f%&|IZ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 M.t5,NJ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 6)H70VPJ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 txliZ|.O )ll}hGS 目录 @jjp\ ~ Preface 1 6 C 内容简介 2 n2TvPt\ 目录 i []u!piW 1 引言 1 C~:aol i; 2 光学薄膜基础 2 BV7GzJ2([{ 2.1 一般规则 2 V&qXsyg 2.2 正交入射规则 3 ?X=9@ m 2.3 斜入射规则 6 (?~F}u
v 2.4 精确计算 7 X3q'x}{ 2.5 相干性 8 gBrIqM i5 2.6 参考文献 10 %Uuhi&PA-l 3 Essential Macleod的快速预览 10 jd~r~.y 4 Essential Macleod的特点 32 w8>p[F5`O 4.1 容量和局限性 33 .'SM|r$ 4.2 程序在哪里? 33 &
8e~< 4.3 数据文件 35 N=|w]t0*yc 4.4 设计规则 35 %(n4`@ 4.5 材料数据库和资料库 37 K34y3i_ 4.5.1材料损失 38 R{4O*i8# 4.5.1材料数据库和导入材料 39 +DVU"d 4.5.2 材料库 41 :y]l`Mo - 4.5.3导出材料数据 43 jp2l}C 4.6 常用单位 43 DGp'Xx_8 4.7 插值和外推法 46 ah~7T~ 4.8 材料数据的平滑 50 "< [D1E\ 4.9 更多光学常数模型 54 "bC8/^ 4.10 文档的一般编辑规则 55 O^
f[ugs 4.11 撤销和重做 56 2)mKcUL- 4.12 设计文档 57 $yOfqr 4.10.1 公式 58 N7Dm,Q ] 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ^W'\8L 4.10.3 沉积密度 59 oz@yF)/Sm 4.10.4 平行和楔形介质 60 QK//bV) 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 &oNy~l
o 4.10.4 性能 61 /I: d<A 4.10.5 保存设计和性能 64 +dR$;!WB3 4.10.6 默认设计 64 v!40>[?|p 4.11 图表 64 ptrLnJ|% 4.11.1 合并曲线图 67 ]`+>{Sx 1 4.11.2 自适应绘制 68 @{~x:P5g 4.11.3 动态绘图 68 3wa }p^ 4.11.4 3D绘图 69 tpA7"JD 4.12 导入和导出 73 )|\72Z~eq 4.12.1 剪贴板 73 %!x\|@C 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 TB1 1crE 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 < R0c=BZ> 4.13 背景 77 H.Pts>3r( 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 6`F_js.a 4.15 生成Rugate 84 dZv-lMYBE 4.16 参考文献 91 XKMJsEPsW 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 5Ss=z 5.1 Jobs 92 Qp%kX@Z' 5.2 创建一个新Job(工作) 93 5GC{)#4 5.3 输入材料 94 RM QlciG 5.4 设计数据文件夹 95 5jkW@ 5.5 默认设计 95 ]vhh* 6 细化和合成 97 qH"e:
wgL 6.1 优化介绍 97 k1B7uA'h"G 6.2 细化 (Refinement) 98 F y^!*M- 6.3 合成 (Synthesis) 100 BQt!L1)) 6.4 目标和评价函数 101 Kkdd }j 6.4.1 目标输入 102 yQ6{-:`) 6.4.2 目标 103 tNfku 6.4.3 特殊的评价函数 104 HL*jRl 6.5 层锁定和连接 104 f`H}Y!W( 6.6 细化技术 104 P2 f~sx9 6.6.1 单纯形 105 hA)3Ah* 6.6.1.1 单纯形参数 106 eH79,!=2 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 eDIjcZ 6.6.2.1 Optimac参数 108 Nqewtn9n 6.6.3 模拟退火算法 109
_^dWJ0 6.6.3.1 模拟退火参数 109 V=.lpj9m 6.6.4 共轭梯度 111 En-eG37l 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 rzY7f: ' 6.6.5 拟牛顿法 112 N!r@M." 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 KZ;U6TBiB 6.6.6 针合成 113 CKrh14ul 6.6.6.1 针合成参数 114 I6h{S}2 6.6.7 差分进化 114 lvcX}{>\ 6.6.8非局部细化 115 D)f hk!< 6.6.8.1非局部细化参数 115 z2S53^C* 6.7 我应该使用哪种技术? 116 8_m dh + 6.7.1 细化 116 \S1WF?<, 6.7.2 合成 117 Fg`r:,(a 6.8 参考文献 117
{.;MsE 7 导纳图及其他工具 118 R&=Y7MfZ 7.1 简介 118 cA AJ7? 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 .kvuI6H 7.2.1 四分之一波长规则 119 6^}GXfJAc 7.2.2 导纳图 120 k
h#|`E#, 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 h"M}Iz~|V? 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 _8DY9GaE 7.5 斜入射导纳图 141 [m!$01= 7.6 对称周期 141 e2k!5OS 7.7 参考文献 142 rJKX4,M 8 典型的镀膜实例 143 4?1Ac7bE 8.1 单层抗反射薄膜 145 23&;28)8 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 :n{rVn}G 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 NNb17=q_v 8.4 W-膜层 148 hjaI&?w 8.5 V-膜层 149 a{el1_DIGK 8.6 V-膜层高折射基底 150 rh/3N8[6 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 OJQ7nChMm 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 A&)P_B1| 8.9 四层抗反射薄膜 153 #li;L 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 dV.)+X7< 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 J6rXbui$ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 x(}@se 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 b{(!Ls_ & 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 \d]&}`'4{f 8.15十五层宽带抗反射膜 159 <o^mQq& 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 :.DCRs$Q 8.17 1/4波长堆栈 162 **dGK_^T0 8.18 陷波滤波器 163 ib*$3Fn~ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 }0}J 8.20 褶皱 165 ,TeDJ\k 8.21 消偏振分光器1 169 J rYpZ.Nh 8.22 消偏振分光器2 171 ;(TBg-LEK 8.23 消偏振立体分光器 172 &h8+- 8.24 消偏振截止滤光片 173 =KMd! $J\ 8.25 立体偏振分束器1 174 |`E\$|\p 8.26 立方偏振分束器2 177
> ")%4@ 8.27 相位延迟器 178 0 l
G\QT 8.28 红外截止器 179 m-7^$ 8.29 21层长波带通滤波器 180 K;gm^ 8.30 49层长波带通滤波器 181 c|hKo[r) 8.31 55层短波带通滤波器 182 laKMQLtv 8.32 47 红外截止器 183 6EP5n 8.33 宽带通滤波器 184 KvkiwO( 8.34 诱导透射滤波器 186 nLJ]tpw^DH 8.35 诱导透射滤波器2 188 0'c<EJ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 H /*^$>0Uo 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 <),FI <~ 8.35 增益平坦滤波器 193 b>&kL 8.38 啁啾反射镜 1 196 {- 7T\mj 8.39 啁啾反射镜2 198
o_X"+ s 8.40 啁啾反射镜3 199 C(7LwV 8.41 带保护层的铝膜层 200 `{ou4H\ 8.42 增加铝反射率膜 201 O#CxS/M5 8.43 参考文献 202 ZsNUT4 9 多层膜 204 ,Es5PmV@$% 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 8 mV`|2> 9.2 内部透过率 204 YmNBtGhT 9.3 内部透射率数据 205 }eULcgRG 9.4 实例 206 FwmE1, 9.5 实例2 210 !N?|[n1 9.6 圆锥和带宽计算 212 .#lQZo6$\| 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 gj$gqO`B 10 光学薄膜的颜色 216 _+.z2} M 10.1 导言 216 *.ZV.( 10.2 色彩 216 &z&Jl#t-) 10.3 主波长和纯度 220 D{PO!WzW 10.4 色相和纯度 221 9Z6O{
> 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 c
R[DT04 10.6 色差 226 CIYTs,u# 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 8{epy 10.8 颜色渲染指数 234 {*yhiE , 10.9 色差计算 235 wNcf7/ky 10.10 参考文献 236 q}1AV7$Ai 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 .' 3;Z'%"g 11.1 短脉冲 238 V:2|l!l* 11.2 群速度 239 6*tI~ 11.3 群速度色散 241 U3ED3)
D 11.4 啁啾(chirped) 245 US@ak4Y6Z 11.5 光学薄膜—相变 245
QU8?/ 11.6 群延迟和延迟色散 246 CdC&y}u 11.7 色度色散 246 $*`fn{2 11.8 色散补偿 249 \; $j
"i& 11.9 空间光线偏移 256 Mpb|qGi! 11.10 参考文献 258 A
ElNf: 12 公差与误差 260 ^W3xw[{ 12.1 蒙特卡罗模型 260 eiJ $}\qJL 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 QVQe9{ "0 12.2.1 误差工具 267 L&. 9.Ll 12.2.2 灵敏度工具 271 7o'kdYJzo 12.2.2.1 独立灵敏度 271 87r#;ND 12.2.2.2 灵敏度分布 275 `:R8~>p 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 $
[0 12.3 参考文献 276 v>;6pcp[F 13 Runsheet 与Simulator 277 ko=vK%E[ 13.1 原理介绍 277 FJ}/g
? 13.2 截止滤光片设计 277 z;2kKQZm 14 光学常数提取 289 GbBcC#0 14.1 介绍 289 :
v<|y F 14.2 电介质薄膜 289 P9SyQbcK 14.3 n 和k 的提取工具 295 [Xg?sdQCI 14.4 基底的参数提取 302 D-69/3 PvP 14.5 金属的参数提取 306 [8l8m6 14.6 不正确的模型 306 = 0Z}s 14.7 参考文献 311 yI)~- E. 15 反演工程 313 QUH USDT 15.1 随机性和系统性 313 I[c/)
N 15.2 常见的系统性问题 314 EO:i+e]= 15.3 单层膜 314 [qI, $ + 15.4 多层膜 314 gG&2fV}l6 15.5 含义 319 n]r7} 2hM 15.6 反演工程实例 319 "tn]s>iAd= 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 3.xsCcmP 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ?2E@)7 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 K.JKE"j)d 16.1 光学性质的热致偏移 329 k-*H=km 16.2 应力工具 335 \L<Hy)l 16.3 均匀性误差 339 a>ZV'~zTf 16.3.1 圆锥工具 339 #JWW ;M6F 16.3.2 波前问题 341 1I<fp $h 16.4 参考文献 343 l _dWS9 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 W{*U#:Jx1 17.1 引言 345 UQ}[2x(Kb 17.2 操作数 345 xKv\z1ra 18 如何在Function中编写脚本 351 T9}G:6 18.1 简介 351 sV%<U-X 18.2 什么是脚本? 351 |p-, B>p! 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 +>M^p2l*& 18.4 基础 352 [?Cv^t${+ 18.4.1 Classes(类别) 352 %7xx"$P:R 18.4.2 对象 352 2ed$5.D 18.4.3 信息(Messages) 352 AD_")_B|i 18.4.4 属性 352 nxS|] 18.4.5 方法 353 N>/!e787OU 18.4.6 变量声明 353 I~-W4{ 18.5 创建对象 354 sC(IeGbX 18.5.1 创建对象函数 355 K7 -AVMY 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 |Rd?s0u 18.5.3 丢弃对象 356 ; $i{>mDT 18.5.4 总结 356 qRZv[T%*Q 18.6 脚本中的表格 357 -Wd2FD^x 18.6.1 方法1 357 .D!0$W mOZ 18.6.2 方法2 357 nQy.?*X 18.7 2D Plots in Scripts 358 sf<S#;aYqn 18.8 3D Plots in Scripts 359 !ow:P8K? 18.9 注释 360 K`{P/w 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 z"Miy 18.11 一个更高级的脚本 362 HIsIW%B 18.12 <esc>键 364 jhgS@g=@ZC 18.13 包含文件 365 MxQhkY-= 18.14 脚本被优化调用 366 HkVnTC 18.15 脚本中的对话框 368 xQ+UZc 18.15.1 介绍 368 WXV (R,*Tc 18.15.2 消息框-MsgBox 368 7 XE&[o 18.15.3 输入框函数 370 SR!EQ< 18.15.4 自定义对话框 371 z$4g9 18.15.5 对话框编辑器 371 /99S<U2ej 18.15.6 控制对话框 377 BZ*',\o 18.15.7 更高级的对话框 380 !}[}YY?',i 18.16 Types语句 384 =(2y$,6g? 18.17 打开文件 385 (H5nz': 18.18 Bags 387 X'Q?Mh 18.13 进一步研究 388 "\cDSiD 19 vStack 389 c!*yxzs\ 19.1 vStack基本原理 389 KSDz3qe 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 p!B&&)&db 19.3 五棱镜 393 ]9qY(m 19.4 光束距离 396 +O"!* 19.5 误差 399 6B`XHdCq 19.6 二向分色棱镜 399 'K&^y%~py, 19.7 偏振泄漏 404 >9dzl# 19.8 波前误差—相位 405 DcYL8u 19.9 其它计算参数 405 >M~1{ 20 报表生成器 406 J=7.-R|t 20.1 入门 406 <` [o|>A Z 20.2 指令(Instructions) 406 !ij
R 20.3 页面布局指令 406 -w' 20.4 常见的参数图和三维图 407 0,~||H{ 20.5 表格中的常见参数 408 /5:2g#S4 20.6 迭代指令 408 IUf&*'_ 20.7 报表模版 408 3r^Ls[ey 20.8 开始设计一个报表模版 409 /JsA[}.6 21 一个新的project 413 3 @a hN2 21.1 创建一个新Job 414 QiH>!Ssw 21.2 默认设计 415 ,+2!&"zD 21.3 薄膜设计 416 cD.afy 21.4 误差的灵敏度计算 420 corNw+|/w 21.5 显色指数计算 422 I;1W6uD= 21.6 电场分布 424 !]f80z 后记 426 zVt1Ta:j 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! 5"sd
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