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《Essential Macleod中文手册》 8A4TAT4, y5%5O xB 目 录 yHOqzq56 dEET}s\ ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 |^!Vo&T 第1章 介绍 ..........................................................1 d?}hCo=/Xq 第2章 软件安装 ..................................................... 3 zq=&4afOE 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 e5L1er;6 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 A^L?_\e6 第5章 软件结构 ............................................................... 21 T 9MzUV& 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 8_X.c 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 cNeiD@t3V& 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 )Y[/! 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 rkIMM, 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 ,!H\^Vfl 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 453
}S 第12章 优化和综合 ..................................................................120 eI?HwP{m 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 ?FDJqJM 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 ?RJdn]`4j 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 oX{@'B 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 ^XNw$@&', 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 4+I 3+a" 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 kwc*is 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 QA,*:qx 第20章 运行表单 .................................................................... 251 ]CIe~q 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 C (U 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 ``6{T1fQS 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 4znH$M>bU 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 PY\W 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 Q[jI=$Q) 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 BjB&[5?z 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 bw020@O* 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 y:C)%cv}* 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 bl`D+/V 1]Lhk?4t uct=i1+ fE Yfe'#MKfL /Bh> Ej{+U 内容简介 ]d^k4 d Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 !*5_pGe 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 W
w^7^q& 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 2+o! o 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 drbe#FObX 8<Xq=*J+ 目录 z>7=k`x`: Preface 1 ]I8]mUiUH 内容简介 2 WqR7uiCi 目录 i *.:! Ax 1 引言 1
}\>+H 2 光学薄膜基础 2 sbgJw 2.1 一般规则 2 ]W+)ee|D 2.2 正交入射规则 3 El {r$-} 2.3 斜入射规则 6 >n1h^AW 2.4 精确计算 7 Shs')Zsbv 2.5 相干性 8 @`5QG2 2.6 参考文献 10 VZHr-z$6n 3 Essential Macleod的快速预览 10 g%ZdIKj! 4 Essential Macleod的特点 32 ?vMK'" 4.1 容量和局限性 33 "oHp.$+K 4.2 程序在哪里? 33 /9P^{OZ;y 4.3 数据文件 35 ::v;)VdX+* 4.4 设计规则 35 ^)Smv\Md 4.5 材料数据库和资料库 37 !;TR2Zcn 4.5.1材料损失 38 x!OWJ/O 4.5.1材料数据库和导入材料 39 JR])xPI` 4.5.2 材料库 41 ~KJ,SLzhx9 4.5.3导出材料数据 43 *3!(*F@M, 4.6 常用单位 43 vf6`s\6 4.7 插值和外推法 46 KuIkul9^% 4.8 材料数据的平滑 50 E=}6X9X 4.9 更多光学常数模型 54 $|rCrak; 4.10 文档的一般编辑规则 55 =n)JJS94 4.11 撤销和重做 56 tsck|;v 4.12 设计文档 57 I; ^xAd3G 4.10.1 公式 58 =sxkr ih 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 UP}feN 4.10.3 沉积密度 59 B^H4Q
4- 4.10.4 平行和楔形介质 60 :sU!PF[< 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 fDL3:%D 4.10.4 性能 61 9*BoYFw92* 4.10.5 保存设计和性能 64 jMTRcj];( 4.10.6 默认设计 64 o1
jk= 4.11 图表 64 b*cW<vX}~ 4.11.1 合并曲线图 67 lB=(8. 4.11.2 自适应绘制 68 KrJ 5"1= 4.11.3 动态绘图 68 |Uc<;> l 4.11.4 3D绘图 69 zB;'_[8M 4.12 导入和导出 73 EV:_Kx8f P 4.12.1 剪贴板 73 :x8Jy4L 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 O'"YJ, 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 r;c' NqP 4.13 背景 77 Y=AH%Gy9) 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 I).=v{@9V< 4.15 生成Rugate 84 &/ \O2Aw8 4.16 参考文献 91 s[Y)d>~\$= 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ,jAx%]@,I 5.1 Jobs 92 VEL:JsY 5.2 创建一个新Job(工作) 93 >_rzT9gX& 5.3 输入材料 94 f1)HHUB 5.4 设计数据文件夹 95 5T~3$kuO 5.5 默认设计 95 d1UVvyH 6 细化和合成 97 ) ~ l\ 6.1 优化介绍 97 d-9uv|SJ 6.2 细化 (Refinement) 98 KDux$V4 6.3 合成 (Synthesis) 100 eKL]E! 6.4 目标和评价函数 101 O]c=Yyl 6.4.1 目标输入 102 `6|i&w:b 6.4.2 目标 103 D."cQ<sxpN 6.4.3 特殊的评价函数 104 ^`l"'6 6.5 层锁定和连接 104 ev~dsk6k 6.6 细化技术 104 (J6"
; 6.6.1 单纯形 105 f 1sy9nQs 6.6.1.1 单纯形参数 106 l0qdk#v 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 6Hc H'nmeN 6.6.2.1 Optimac参数 108 KC&H* 6.6.3 模拟退火算法 109 <f7?PAd 6.6.3.1 模拟退火参数 109 \;nD)<)J 6.6.4 共轭梯度 111 s/r5,IFR 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 }wvwZ`5t 6.6.5 拟牛顿法 112 2z'+1+B' 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 a Q.Iq 6.6.6 针合成 113 aO~si= 6.6.6.1 针合成参数 114 8
m%>:}o 6.6.7 差分进化 114 43vGgGW 6.6.8非局部细化 115 Xjs21-t% 6.6.8.1非局部细化参数 115 QH@Q\
@, 6.7 我应该使用哪种技术? 116 KC@k9e 6.7.1 细化 116 k! J4Z${k 6.7.2 合成 117 lcu( "^{3 6.8 参考文献 117 <dju6k7uz 7 导纳图及其他工具 118 XkM s 7.1 简介 118 _myg._[ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 KzEuPJ? 7.2.1 四分之一波长规则 119 +)/Rql(lY 7.2.2 导纳图 120 ovhC42i 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 zvek2\*rO 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
`_NnQ% 7.5 斜入射导纳图 141 /#S4espE 7.6 对称周期 141 nz,Mqol 7.7 参考文献 142 ig2{lEkF 8 典型的镀膜实例 143 .V5q$5j 8.1 单层抗反射薄膜 145 V_)5Af3wY 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 N?MJ#lC
F 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 OaD
Alrm 8.4 W-膜层 148 D8r>a"gx 8.5 V-膜层 149 -mev%lV 8.6 V-膜层高折射基底 150 W0+gfg 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 5~ _eN 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 C m,*bgX 8.9 四层抗反射薄膜 153 *r)zBr 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 wMlf3Uz 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 (SgEt 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 (cOND/S 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Bo\a 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 wx]+*Lzz 8.15十五层宽带抗反射膜 159 sDaT[).Hm 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 u)q2YLK8 8.17 1/4波长堆栈 162 t*Z .e.q+ 8.18 陷波滤波器 163 .4S^nP 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 }};j2 8.20 褶皱 165 w0a+8gexi 8.21 消偏振分光器1 169 SY!`a:It 8.22 消偏振分光器2 171 {
4_I7r 8.23 消偏振立体分光器 172 _~X8/p/Qh 8.24 消偏振截止滤光片 173 LG/=+[\{E 8.25 立体偏振分束器1 174 c]AKeq] 8.26 立方偏振分束器2 177 dXA{+<!! 8.27 相位延迟器 178 `l[6rf_. 8.28 红外截止器 179 U~u6}s]: 8.29 21层长波带通滤波器 180 aH5t.x79b 8.30 49层长波带通滤波器 181 hYP6z^ 8.31 55层短波带通滤波器 182 >cwJl@wx- 8.32 47 红外截止器 183 ue6/EN;} 8.33 宽带通滤波器 184 ;#5-.z 8.34 诱导透射滤波器 186 &X#x9|=&O 8.35 诱导透射滤波器2 188 ;Zx K3/(7 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 (c|$+B^* 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 'NQMZfz 8.35 增益平坦滤波器 193 7
SjF9x 8.38 啁啾反射镜 1 196 OBKC$e6I 8.39 啁啾反射镜2 198 t7C!}'g&' 8.40 啁啾反射镜3 199 C|.$L<` 8.41 带保护层的铝膜层 200 /I`cS%U 8.42 增加铝反射率膜 201 r)9i1rI+ 8.43 参考文献 202 K,lK\^y 9 多层膜 204
m+72C]9 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ~_dBND? 9.2 内部透过率 204 8
7|8eU2:k 9.3 内部透射率数据 205 z{D$~ ob 9.4 实例 206 Q8}TNJsU 9.5 实例2 210 SxLHFN] 9.6 圆锥和带宽计算 212 BRo
R"#' 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 fw(j6:p 10 光学薄膜的颜色 216 W G3mQ\k 10.1 导言 216 YobC'c\~9 10.2 色彩 216 0]:*v? 10.3 主波长和纯度 220 F'?5V0\he 10.4 色相和纯度 221 |k7ts&2 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 3%vx'1h[ 10.6 色差 226 0M/\bEG(_ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Pjj;.c 7_j 10.8 颜色渲染指数 234 JhMrm% 10.9 色差计算 235 ySr091Q 10.10 参考文献 236 0btmao- 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 oSu|Yn 11.1 短脉冲 238 32iWYN 11.2 群速度 239 xvdnEaWe$ 11.3 群速度色散 241 By"^ Z`EP4 11.4 啁啾(chirped) 245 z/P^-N> 11.5 光学薄膜—相变 245 ' F 6au[ 11.6 群延迟和延迟色散 246 $dVgFot 11.7 色度色散 246 j-I6QUd 11.8 色散补偿 249 xdbu|fC 11.9 空间光线偏移 256 %CsTB0Y7n, 11.10 参考文献 258 N)
V7yo? 12 公差与误差 260 2t]! {L 12.1 蒙特卡罗模型 260 \DcC1W 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 K;ry4/Vap 12.2.1 误差工具 267 nI|Lx`*v 12.2.2 灵敏度工具 271 X('Q;^` 12.2.2.1 独立灵敏度 271 -?%{A%' 12.2.2.2 灵敏度分布 275 YV ZSKU 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 P60]ps!M 12.3 参考文献 276 8&2gM 13 Runsheet 与Simulator 277 L3G)?rPFC# 13.1 原理介绍 277 !cFE^VM_; 13.2 截止滤光片设计 277 x
w?9W4< 14 光学常数提取 289 _!CvtUU0Vv 14.1 介绍 289 qG2\`+v 14.2 电介质薄膜 289 .2(@jx,[ 14.3 n 和k 的提取工具 295 VtPoc(o4] 14.4 基底的参数提取 302 #:ED 0</ 14.5 金属的参数提取 306 =DF@kR[CH" 14.6 不正确的模型 306 AVevYbucB 14.7 参考文献 311 2)I'5?I 15 反演工程 313 7z P 15.1 随机性和系统性 313 *> &N
t 15.2 常见的系统性问题 314 9^Vx*KVrU 15.3 单层膜 314 rfZj8R& 15.4 多层膜 314 S}xDB 15.5 含义 319 1Z$99 15.6 反演工程实例 319 EH!EyNNb 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 C)3$";$5) 15.6.2 反演工程提取折射率 327 2h? r![ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 g9lg 16.1 光学性质的热致偏移 329 |z<wPJ,;2 16.2 应力工具 335 ^)0{42!] 16.3 均匀性误差 339 2G:{ FY 16.3.1 圆锥工具 339 xz+`]Q 16.3.2 波前问题 341 q@RY.&mgW 16.4 参考文献 343 Bdk{.oh6 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 TeN1\rA, 17.1 引言 345 yg[Oy#^ 17.2 操作数 345 yV]-Oa$*s0 18 如何在Function中编写脚本 351 Uf]Pd)D 18.1 简介 351 2S10j%EeI 18.2 什么是脚本? 351 }yC,uEV 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 B43#9CK`o 18.4 基础 352 %Ty
{1'o 18.4.1 Classes(类别) 352 d[Fr 18.4.2 对象 352 Xde=}9 18.4.3 信息(Messages) 352 !#|fuOWe 18.4.4 属性 352 MIyLQ 18.4.5 方法 353 gZ=9Y:$ 18.4.6 变量声明 353 {ZIFj.2 18.5 创建对象 354 buM>^A" 18.5.1 创建对象函数 355 ;0X|*w1JO 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 9q@YE_ji 18.5.3 丢弃对象 356 v=Bh
A9[ 18.5.4 总结 356 L!8?2 \5 18.6 脚本中的表格 357 I(kIHjV| 18.6.1 方法1 357 !
{o+B^^ 18.6.2 方法2 357 h}:5hi Jw 18.7 2D Plots in Scripts 358 ?yM/j7Xn 18.8 3D Plots in Scripts 359 b
yreleWo 18.9 注释 360 u(G;57ms 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ;51!aC 18.11 一个更高级的脚本 362 eEZlVHM;O 18.12 <esc>键 364 Q@.9wEAJ 18.13 包含文件 365 {8p?we3l1 18.14 脚本被优化调用 366 m=l3O:~J 18.15 脚本中的对话框 368
! +VN 18.15.1 介绍 368 X1z0'gvh 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ,'{B+CHoS 18.15.3 输入框函数 370 Eq.zCD8A 18.15.4 自定义对话框 371 %>:)4A 18.15.5 对话框编辑器 371 2uR4~XjF 18.15.6 控制对话框 377 )xy{[ K|M( 18.15.7 更高级的对话框 380 cz~11j# 18.16 Types语句 384 L$?~TY 18.17 打开文件 385 [Ik
B/Xbw| 18.18 Bags 387 UHl/AM>! 18.13 进一步研究 388 Oy`\8*Uy__ 19 vStack 389 5Fm?,^ 19.1 vStack基本原理 389 {rJF)\2 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 nPX'E`ut-V 19.3 五棱镜 393 x3F L/^S 19.4 光束距离 396 1ZW'PXUZ 19.5 误差 399 CbaAnm1 19.6 二向分色棱镜 399 w3|.4hS 19.7 偏振泄漏 404 q'-l;V| 19.8 波前误差—相位 405 MZMv.OeYt, 19.9 其它计算参数 405 en6AAr:U} 20 报表生成器 406 krY.Cc] 20.1 入门 406 =` >Nfa+, 20.2 指令(Instructions) 406 7n/I'r 20.3 页面布局指令 406 /*2W?ZM~H 20.4 常见的参数图和三维图 407 Y$5v3E\uc 20.5 表格中的常见参数 408 &`y_R' 20.6 迭代指令 408 ),FN29mZu 20.7 报表模版 408 A/6nVn 20.8 开始设计一个报表模版 409 n/Z =q?_ 21 一个新的project 413 @?AE75E{ 21.1 创建一个新Job 414 D(?#oCCA 21.2 默认设计 415 R2f,a*> 21.3 薄膜设计 416 s"!}=kX 21.4 误差的灵敏度计算 420 BnY|t2r 21.5 显色指数计算 422 \Le#+P 21.6 电场分布 424 \>k#]4@rp 后记 426 5fv6RQD 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! WZ-{K"56
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