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《Essential Macleod中文手册》 Fk*7;OuZl 1AfnzGvA 目 录 |[ k.ii6iO `nv~NLkl ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 (X1e5j>Ru 第1章 介绍 ..........................................................1 0gy/:T 第2章 软件安装 ..................................................... 3 m^f0V2M_ 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 xH(lm2kvT 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 D4-ifsP 第5章 软件结构 ............................................................... 21 wb5baY9 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 q`H_M{26!y 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 G"U9E5O 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 2U\u4NO{ 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 A8fOQ 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 so)[59M7
第11章 表格窗口 ................................................................. 116 >WQMqQ^t@ 第12章 优化和综合 ..................................................................120 (*nT(Adk 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 6YLj^w] % 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 \fyRsa) 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 3kIN~/<R+7 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 >:S?Mnv6 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 _jI,)sr4ic 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 ^HThN 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 [.8BTj1% 第20章 运行表单 .................................................................... 251 EC6DW= 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 ]kG"ubHV?h 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 +xSHL|:b 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 m!4ndO;0vh 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 djQH1^(IU 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 *:YiimOY" 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 Y. 5_6'Eo? 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 !M]uL&: 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 udF~5w
H 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 f/NH:1)y BNl5!X^{ HU}7zK2 z8~NZ;A ./k/KSR k\YG^I 内容简介 yw[g!W Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 t#/YN.@r 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 |zNX=mAV 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 c9'vDTE%~ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 V>%rv'G8 %~JJ. & 目录 +L|?~p`V Preface 1 WZejp}x 内容简介 2 Gg3,:A_ w 目录 i n Fg~< $d 1 引言 1 dA`IEQJL 2 光学薄膜基础 2 yZ(zdM\/sL 2.1 一般规则 2 -M~:lK]n 2.2 正交入射规则 3 .fFCC`&T 2.3 斜入射规则 6 eRstD>r 2.4 精确计算 7 Uq,^Wy 2.5 相干性 8 Mzw<{*:r 2.6 参考文献 10 R'`qKc 3 Essential Macleod的快速预览 10 ks qQM 4 Essential Macleod的特点 32 C8:f_mJU 4.1 容量和局限性 33 '8.r-`l( 4.2 程序在哪里? 33 +nhLIO{{L 4.3 数据文件 35 o>i4CCU+ 4.4 设计规则 35 q&-`,8# 4.5 材料数据库和资料库 37 k&q;JyUi 4.5.1材料损失 38 K5VWt)Z# 4.5.1材料数据库和导入材料 39 7P5)Z-K[ 4.5.2 材料库 41 L>&t|T2 4.5.3导出材料数据 43 \0I_< 4.6 常用单位 43 FZ<gpIv!NS 4.7 插值和外推法 46 [{,T.;'<j 4.8 材料数据的平滑 50 4Zddw0|2 4.9 更多光学常数模型 54 82qoGSD. 4.10 文档的一般编辑规则 55 fS:&Ak
]; 4.11 撤销和重做 56 JCzeXNY 4.12 设计文档 57 #PW9:_BE 4.10.1 公式 58 c(m<h+2VL 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 !bx;Ta. 4.10.3 沉积密度 59 kGS;sB 4.10.4 平行和楔形介质 60 =tn)}Y.<e 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 syj0.JD 4.10.4 性能 61 o5O#vW2Il& 4.10.5 保存设计和性能 64 \gGW8Q; 4.10.6 默认设计 64 7\[@m3s 4.11 图表 64 ;_I8^? d 4.11.1 合并曲线图 67 2'\H\| 4.11.2 自适应绘制 68 <C iSK! 4.11.3 动态绘图 68 8)3*6+D 4.11.4 3D绘图 69 uc\Kg1{ 4.12 导入和导出 73 hJ? O],4J 4.12.1 剪贴板 73 XS{Qnx_# 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ~2N"#b&J 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 1Z2HUzqh. 4.13 背景 77 ({)+3]x 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 9uO 2Mm 4.15 生成Rugate 84 |O+H[;TB6 4.16 参考文献 91 'n]w"]| 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 >J?fl8 5.1 Jobs 92 ]Sz:|%JP1 5.2 创建一个新Job(工作) 93 YnMvl 5.3 输入材料 94 "|
g>'wM* 5.4 设计数据文件夹 95 (gU!=F?#m 5.5 默认设计 95 NB#OCH1/9 6 细化和合成 97 g2ixx+`?|: 6.1 优化介绍 97 k5e;fA/w 6.2 细化 (Refinement) 98 hEH?[>9 6.3 合成 (Synthesis) 100 c_pr 6.4 目标和评价函数 101 5m 4P\y^a 6.4.1 目标输入 102 {duz\k2 6.4.2 目标 103 3M7/?TMw{6 6.4.3 特殊的评价函数 104 i)#dWFDTv 6.5 层锁定和连接 104 n'LrQU 6.6 细化技术 104 q:0N<$63 6.6.1 单纯形 105 >T-u~i$s
6.6.1.1 单纯形参数 106 @n /nH?L 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 $( kF# 6.6.2.1 Optimac参数 108 q3N
jky1w 6.6.3 模拟退火算法 109 P|E| $)m 6.6.3.1 模拟退火参数 109 "Gzz4D 6.6.4 共轭梯度 111 v{N`.~,^ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 2MIi=c:oqK 6.6.5 拟牛顿法 112 Gj?t_Zln 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 7Q9 w?y~c 6.6.6 针合成 113 7S:\"A7 6.6.6.1 针合成参数 114 P3=G1=47U 6.6.7 差分进化 114 Iyn(?w 6.6.8非局部细化 115
ltSU fI 6.6.8.1非局部细化参数 115 !>o7a}? 6.7 我应该使用哪种技术? 116 pYEMmZ?L 6.7.1 细化 116 /Cr%{'Pzk 6.7.2 合成 117 AV]2euyn 6.8 参考文献 117 2@],ZLa 7 导纳图及其他工具 118 ec;o\erPG 7.1 简介 118 WE#^a6 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 pah'>dAL 7.2.1 四分之一波长规则 119 z&\a:fJ& 7.2.2 导纳图 120 `/+>a8 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 v ;{#Q&( 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 [|$h*YK 7.5 斜入射导纳图 141 ]s'as9s9 7.6 对称周期 141 Bkc4TO 7.7 参考文献 142 N>`Aw^ _@& 8 典型的镀膜实例 143 9W5lSX#^; 8.1 单层抗反射薄膜 145 <'Eme 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 T?0eVvM 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 "HIRTE;& 8.4 W-膜层 148 ^{`exCwMx 8.5 V-膜层 149 ?l{nk5,?-Y 8.6 V-膜层高折射基底 150 ;[DU%f 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 <'oQ \eB 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ^^$s%{ep" 8.9 四层抗反射薄膜 153 q<|AZ2Ai 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 mq.`X:e 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 bAqA1y3= 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 r l% 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Zu[su>\ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 </zEg3F\ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 \M^bD4';> 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Lk8ek}o' 8.17 1/4波长堆栈 162 (L&d!$,Dv 8.18 陷波滤波器 163 tyFzSrfc 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 J*M>6Q.) 8.20 褶皱 165 #;yZ 8.21 消偏振分光器1 169 1))8
A@, 8.22 消偏振分光器2 171 gwMNYMI 8.23 消偏振立体分光器 172
}my`K 8.24 消偏振截止滤光片 173 lL3U8}vn 8.25 立体偏振分束器1 174 ?:q*(EC< 8.26 立方偏振分束器2 177 q0vQa 8.27 相位延迟器 178 {EQOP] 8.28 红外截止器 179 CD~.z7,LC 8.29 21层长波带通滤波器 180 Vc Z3
X4/ 8.30 49层长波带通滤波器 181 T0)@pt7> 8.31 55层短波带通滤波器 182 )Aqtew+A& 8.32 47 红外截止器 183 kl:Bfs)b 8.33 宽带通滤波器 184 q 2E_A 8.34 诱导透射滤波器 186 li.;IWb0+) 8.35 诱导透射滤波器2 188 4tBYR9| 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
8d'0N 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 kxv1Hn"`{E 8.35 增益平坦滤波器 193 \4fQMG 8.38 啁啾反射镜 1 196 [4f{w%~^ 8.39 啁啾反射镜2 198 b>ySv 8.40 啁啾反射镜3 199 ^1];S^nD 8.41 带保护层的铝膜层 200 Gd85kY@w7 8.42 增加铝反射率膜 201 Q~Wqy~tS 8.43 参考文献 202 NzvXN1_% 9 多层膜 204
&6VnySE? 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ]/L0,^RI 9.2 内部透过率 204 6'f;-2 9.3 内部透射率数据 205 Q$"D]!G 9.4 实例 206 |sE'XT4ag 9.5 实例2 210 >hIu2jm 9.6 圆锥和带宽计算 212 ]Y&VT7+Z 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 9->if/r,o 10 光学薄膜的颜色 216 eHUOU>&P] 10.1 导言 216 r~['VhI!;E 10.2 色彩 216 @=u3ZVD 10.3 主波长和纯度 220 Ow,b^| 10.4 色相和纯度 221 E]r?{t`] 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 0"z9Q\{} 10.6 色差 226 F!K>K z 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 dPRra{ 10.8 颜色渲染指数 234 R4d=S4i 10.9 色差计算 235 BZ^}J!Q'* 10.10 参考文献 236 f|(M.U- 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 )V9bI( v 11.1 短脉冲 238 tZo} ;|~' 11.2 群速度 239 $ ocdI5 11.3 群速度色散 241 A3*!"3nU 11.4 啁啾(chirped) 245 alb.g>LNPP 11.5 光学薄膜—相变 245 [2cD:JL 11.6 群延迟和延迟色散 246 Flb&B1 11.7 色度色散 246 f*8DCh!r" 11.8 色散补偿 249 %&bY]w 11.9 空间光线偏移 256 HxI"
8A 11.10 参考文献 258 TD_Oo-+\ 12 公差与误差 260 OZ;*JR: 12.1 蒙特卡罗模型 260 cB&:z)i4 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 QS`] 12.2.1 误差工具 267 poFg1 12.2.2 灵敏度工具 271 apxph2yvS 12.2.2.1 独立灵敏度 271 9N3eN 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Rf1x`wml 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Xn
;AZu^'R 12.3 参考文献 276 )`D:F>p* 13 Runsheet 与Simulator 277 R G`1en 13.1 原理介绍 277 .N(p=9 13.2 截止滤光片设计 277 jz0T_\8D` 14 光学常数提取 289 #_ lDss 14.1 介绍 289 zx7{U8*`< 14.2 电介质薄膜 289 ml$o5&sN 14.3 n 和k 的提取工具 295 T[A69O]v 14.4 基底的参数提取 302 F6dP,( 14.5 金属的参数提取 306 [ikOb8 G# 14.6 不正确的模型 306 jZ;
=so 14.7 参考文献 311 qIqM{#' ^ 15 反演工程 313 40
0#v|b 15.1 随机性和系统性 313 Na Cy@ 15.2 常见的系统性问题 314 `P ,d$H " 15.3 单层膜 314 xN%K^Tree 15.4 多层膜 314 CJI~_3+K 15.5 含义 319 xkR0 15.6 反演工程实例 319 v*yuE5{ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 4E?Oky#}- 15.6.2 反演工程提取折射率 327 wlmRe`R 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 pb=h/8R 16.1 光学性质的热致偏移 329 POR\e|hRT] 16.2 应力工具 335 */DO ex"y 16.3 均匀性误差 339 gPc=2 16.3.1 圆锥工具 339 7=, ; h 16.3.2 波前问题 341 c[Zje7 @ 16.4 参考文献 343 -|\ZrE_h 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 2GStN74X r 17.1 引言 345 7"xd1l?zz 17.2 操作数 345 >yh2Lri 18 如何在Function中编写脚本 351 b<u3 hln%, 18.1 简介 351 WOf 4o 18.2 什么是脚本? 351 7v_8_K 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 GvlS% 18.4 基础 352 jlg(drTo 18.4.1 Classes(类别) 352 2dgd~
18.4.2 对象 352 gltBC${7wZ 18.4.3 信息(Messages) 352 y18Y:)DkL 18.4.4 属性 352 dnuu&Rv 18.4.5 方法 353 W`*r>`krVJ 18.4.6 变量声明 353 s&J]zb` 18.5 创建对象 354 &
"B=/-( 18.5.1 创建对象函数 355 7vj2
`+r. 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 9Lfv^V0 18.5.3 丢弃对象 356 Fea(zJ_ 18.5.4 总结 356 FNId; 18.6 脚本中的表格 357 mlS$>O_aX 18.6.1 方法1 357 Q)z8PQl O 18.6.2 方法2 357 PE 5G 18.7 2D Plots in Scripts 358 eKqk= ( 18.8 3D Plots in Scripts 359 5i{j' {_(8 18.9 注释 360 cPc</[x[W 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ?@
$r 18.11 一个更高级的脚本 362 8SS|a 18.12 <esc>键 364 Q.c\/& 18.13 包含文件 365 0'o:#- 18.14 脚本被优化调用 366 7i1q wRv 18.15 脚本中的对话框 368 -`TEVS?`l 18.15.1 介绍 368 $]2vvr 18.15.2 消息框-MsgBox 368 r-/`"j{O! 18.15.3 输入框函数 370 W'u># 18.15.4 自定义对话框 371 MR.'t9m2L 18.15.5 对话框编辑器 371 *siFj
CN< 18.15.6 控制对话框 377 5d!-G$@ 18.15.7 更高级的对话框 380 S?BG_J6A7 18.16 Types语句 384 1 I",L&S1 18.17 打开文件 385 &Z|P2 dI 18.18 Bags 387 s=/v';5J2! 18.13 进一步研究 388 |)/aGZ+ 19 vStack 389 =rX>1 19.1 vStack基本原理 389 H~z`]5CN 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 0Pi:N{x8 19.3 五棱镜 393 3%=~)7cF 19.4 光束距离 396 {U !g.rh 19.5 误差 399 Tc3yS(aq 19.6 二向分色棱镜 399 WvZ8/T'x 19.7 偏振泄漏 404 k~FRD?[u 19.8 波前误差—相位 405 ?p8_AL'RS 19.9 其它计算参数 405 "i W"NFO 20 报表生成器 406 ,UdVNA 20.1 入门 406 G?Hdq; 20.2 指令(Instructions) 406 .y:U&Rw4 20.3 页面布局指令 406 x`)&J
B 20.4 常见的参数图和三维图 407 OprkR 20.5 表格中的常见参数 408 G[q$QB+ 20.6 迭代指令 408 5bpEYW+ 20.7 报表模版 408 BsYa3d=} 20.8 开始设计一个报表模版 409
ls)%c 21 一个新的project 413 c6]D-YNFG 21.1 创建一个新Job 414 2*#|Nj=^ 21.2 默认设计 415 1|-Dj| 21.3 薄膜设计 416 wZZ t 21.4 误差的灵敏度计算 420 Hc(OI|z~ 21.5 显色指数计算 422 o J;$sj 21.6 电场分布 424 %z4Nl$\ 后记 426 x0:m-C 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! WaR`Kp+>
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