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《Essential Macleod中文手册》 Y !e j4j %r( 目 录 uMl.}t2uYu UR|UGldt_T ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 \I J\ 第1章 介绍 ..........................................................1 W]kh?+SZ 第2章 软件安装 ..................................................... 3 8&g|iG 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 07WZ w1(; 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 h|h-< G?> 第5章 软件结构 ............................................................... 21 X;Tayb 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 +b_g,RNs! 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 iM;7V*u 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 ?4%'6R 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 ?;!d5Xuu 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 ~^*IP1.3 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 nQ4 s 第12章 优化和综合 ..................................................................120 P6,~0v(S 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 //63?s+ 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 x&qC~F*QR% 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 Fy!uxT-\ 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 Mf)0Y~_:R# 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 U$o\?4 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 t]?u<KD< 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 ft oz0Vb 第20章 运行表单 .................................................................... 251 Lc ,te1 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 >vE1,JD)w 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 bl. y4 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 8&FnXhZg4 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 rW$ )f 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 CAg\-*P| 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 =ML6"jr 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 sM)qzO2wh 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 b#%s! 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 ({=:
N v'Y)~Kv@! Bbuy
y HMsTm}d D<9FSxl6 ax{+7 k 内容简介 49b#$Xq Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 My'u('Q% 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 .>z)6S_G 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 =!{7ZSu\ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 o.yuz+ <4,hrx&. 目录 M&P?/Zi=L Preface 1 k(|D0%#b7 内容简介 2 t,$4J6 目录 i Y<%)Im6v/ 1 引言 1 p9w<|ZQ]: 2 光学薄膜基础 2 J6Uo+0S 2.1 一般规则 2 h$[}lZDg 2.2 正交入射规则 3 g{K*EL< 2.3 斜入射规则 6 (jYHaTL6Y' 2.4 精确计算 7
}C1&}hZ 2.5 相干性 8 Zcq'u
jU 2.6 参考文献 10 R2kR 3 Essential Macleod的快速预览 10 4DY\QvW5 4 Essential Macleod的特点 32 lUWX[, 4.1 容量和局限性 33 !yAlb#yu 4.2 程序在哪里? 33 ZdbZ^DUR<( 4.3 数据文件 35 YCvIB' 4.4 设计规则 35 tr 8a_CV 4.5 材料数据库和资料库 37 $j61IL3+ 4.5.1材料损失 38 2QwdDKMS_ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 JvFd2@ 4.5.2 材料库 41 hwkm'$} 4.5.3导出材料数据 43 k<p$BZ 4.6 常用单位 43 <SeK3@Gi 4.7 插值和外推法 46 L{H`
t{A 4.8 材料数据的平滑 50 HGqT"NJr 4.9 更多光学常数模型 54 1}1.5[4d 4.10 文档的一般编辑规则 55 ?@"F\Bv<h 4.11 撤销和重做 56 P]]re,&R 4.12 设计文档 57 ! d Ns3d 4.10.1 公式 58 E.V#Bk=
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 'p3JYRT$ 4.10.3 沉积密度 59 ciRn"X=l 4.10.4 平行和楔形介质 60 ,PH ;j_ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 S?pWxHR] 4.10.4 性能 61 '?]B ui 4.10.5 保存设计和性能 64 LIfQh 4.10.6 默认设计 64 'Fi\Qk'D@ 4.11 图表 64 $ M?VJ\8 4.11.1 合并曲线图 67 S<Z]gY @c 4.11.2 自适应绘制 68 ;hP43Bi 4.11.3 动态绘图 68 &h1.9AO 4.11.4 3D绘图 69 N!R>L{H> 4.12 导入和导出 73 w1q-bIU 4.12.1 剪贴板 73 W Z'UVUi8 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 VF8pH< 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 I8*_\Ez 4.13 背景 77 z ((Y \vP 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 , y%!s27 4.15 生成Rugate 84 8nzDLFxp_ 4.16 参考文献 91 hSQ*_# 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 -'SpSy'_ 5.1 Jobs 92 l":\@rm` 5.2 创建一个新Job(工作) 93 a2J01B 5.3 输入材料 94 {4B{~Qe; 5.4 设计数据文件夹 95 F@ Sw 5.5 默认设计 95 NDsF<2A4 6 细化和合成 97
bT(}=j 6.1 优化介绍 97 ^{f^%)X 6.2 细化 (Refinement) 98 p0c*)_a* 6.3 合成 (Synthesis) 100 4%k{vo5i 6.4 目标和评价函数 101 #0OW0:Q 6.4.1 目标输入 102 tzH~[n, 6.4.2 目标 103 l/WQqT 6.4.3 特殊的评价函数 104 Y3%_IwSJ| 6.5 层锁定和连接 104 Jz"Yb
6.6 细化技术 104 1 Hw %DJ 6.6.1 单纯形 105 0?@;zTE0 6.6.1.1 单纯形参数 106 B?bdHO:E~ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 D==C"}J 6.6.2.1 Optimac参数 108 lX g.` 6.6.3 模拟退火算法 109 -8Z;s8ACo 6.6.3.1 模拟退火参数 109 be^+X[ 6.6.4 共轭梯度 111 jU~q~e7Te 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 HLYog+? 6.6.5 拟牛顿法 112 ~`Uil= 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 _JEe] 6.6.6 针合成 113 P*=M?:Jb, 6.6.6.1 针合成参数 114 r}?uZ"]=? 6.6.7 差分进化 114 mKTE%lsH 6.6.8非局部细化 115 `i~kW 6.6.8.1非局部细化参数 115 'YFy6rds 6.7 我应该使用哪种技术? 116 6*W7I-A 6.7.1 细化 116 1}=@';cK* 6.7.2 合成 117 x:wv#Wh:l7 6.8 参考文献 117 ,)u1r3@I^ 7 导纳图及其他工具 118 ,,}&
Q%5 7.1 简介 118 0j\} @ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 W}6OMAbsE; 7.2.1 四分之一波长规则 119 j Wpm"C
7.2.2 导纳图 120 \mp2LICQg 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 3UR'*5|' 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 CdZS"I 7.5 斜入射导纳图 141 M9C
v00& 7.6 对称周期 141 JE~;gz] 7.7 参考文献 142 YY4XCkt 8 典型的镀膜实例 143 g"}j 8.1 单层抗反射薄膜 145 8'<RPU}M 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 7)-uYi]
dA 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 4:zyZu3fm 8.4 W-膜层 148 !-tP\%' 8.5 V-膜层 149 Zb&5)&'X 8.6 V-膜层高折射基底 150 /#Fz
K 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 UlNx5l+k 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 .DrGr:UW 8.9 四层抗反射薄膜 153 8x~'fzf;Sq 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 $cSmub ZK 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Xd 5 vNmQn 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Q8h0:Q 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 TxA%{0 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 /#Gm`BT 8.15十五层宽带抗反射膜 159 )B$Uo,1 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Pl/B#Sbf' 8.17 1/4波长堆栈 162 |U:VkiKt 8.18 陷波滤波器 163 "wi}/,) 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 9O4\DRe5c 8.20 褶皱 165 #Fkn-/nL 8.21 消偏振分光器1 169 'hNRIM1 8.22 消偏振分光器2 171 rnSrkn"j{ 8.23 消偏振立体分光器 172 ZCAg)/ 8.24 消偏振截止滤光片 173 x'iBEm 8.25 立体偏振分束器1 174 cgV5{|P 8.26 立方偏振分束器2 177 U-.A+#<IT9 8.27 相位延迟器 178 Q $^)z_jai 8.28 红外截止器 179 4p6\8eytq. 8.29 21层长波带通滤波器 180 =38c}( 8.30 49层长波带通滤波器 181 kN g{ 8.31 55层短波带通滤波器 182 @v~<E?Un 8.32 47 红外截止器 183 =a$7^d 8.33 宽带通滤波器 184 v"x'rx# 8.34 诱导透射滤波器 186 1$n!Lj=5 8.35 诱导透射滤波器2 188 !*!i&0QC~R 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 *|B5,Ey 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 j
V'~> 8.35 增益平坦滤波器 193 D6fGr$(N% 8.38 啁啾反射镜 1 196 ]N^>>k 8.39 啁啾反射镜2 198 mV;)V8' 8.40 啁啾反射镜3 199 ' JAcN@q~z 8.41 带保护层的铝膜层 200 Z}`A'#! 8.42 增加铝反射率膜 201 =<.h.n 8.43 参考文献 202 SU7 erCHX 9 多层膜 204 s*tzU.E( 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 j&l2n2z 9.2 内部透过率 204 }>yQ!3/i 9.3 内部透射率数据 205 ;mauA#vd 9.4 实例 206 7Um3myXU 9.5 实例2 210 ;\54(x}|K 9.6 圆锥和带宽计算 212 S{S.H?{F
9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 #gSIa6z1W 10 光学薄膜的颜色 216 3e?a$~9 10.1 导言 216 83pXj=k< 10.2 色彩 216 A3A"^f$$ 10.3 主波长和纯度 220 ?'mi6jFFh 10.4 色相和纯度 221 /g\m7m)u 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 0czEA 10.6 色差 226 w=x
[=O 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 P"s7}cl 10.8 颜色渲染指数 234 28,g 'k! 10.9 色差计算 235 ."h>I @MH 10.10 参考文献 236 P~@.(hed 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ,3bAlc8D7 11.1 短脉冲 238 \w=*:Z 11.2 群速度 239 [J6q(}f 11.3 群速度色散 241 9;L50q>s 11.4 啁啾(chirped) 245 osPrr QoH 11.5 光学薄膜—相变 245 %&&;06GU} 11.6 群延迟和延迟色散 246 psM&r 11.7 色度色散 246 7NP
Ny 11.8 色散补偿 249 te
b/ 11.9 空间光线偏移 256 F2C v,&' 11.10 参考文献 258 .ZVo0 12 公差与误差 260 ;hkzL_' E) 12.1 蒙特卡罗模型 260 j9O"!9$vQ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 4^{~MgQWK+ 12.2.1 误差工具 267 Vbp`Rm1? 12.2.2 灵敏度工具 271 8+8P{_ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ;oJCV"y6$ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 u= ydX 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 f1RX`rXf 12.3 参考文献 276 9RnXp&w 13 Runsheet 与Simulator 277 +*Pj,+;W 13.1 原理介绍 277 3sz?49tX 13.2 截止滤光片设计 277 . *c%A^> 14 光学常数提取 289 11BfJvs: 14.1 介绍 289 "dFuQB 14.2 电介质薄膜 289 !~a1xI~s 14.3 n 和k 的提取工具 295 wKj0vMW 14.4 基底的参数提取 302 f4lC*nCN 14.5 金属的参数提取 306 b:YyzOqEu 14.6 不正确的模型 306 ]V.0%Ccw;. 14.7 参考文献 311 >@i{8AD 15 反演工程 313 "V:E BR 15.1 随机性和系统性 313 hgI;^ia
15.2 常见的系统性问题 314 I>%@[h,+ 15.3 单层膜 314 tN&_f==e 15.4 多层膜 314 FW,@.CX 15.5 含义 319
ehr,+GX 15.6 反演工程实例 319 z]0UW\S/ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 A"no!AN 15.6.2 反演工程提取折射率 327 [LrA_N 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 &46Ro|XE` 16.1 光学性质的热致偏移 329 3`>nQ4zC 16.2 应力工具 335 WG(%Pkowv 16.3 均匀性误差 339 @Yzc?+x 16.3.1 圆锥工具 339 "&N1$$ 16.3.2 波前问题 341 QP1bm]QYA 16.4 参考文献 343 07qL@![! 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 :P:OQ[$ 17.1 引言 345 ^laf!kIP 17.2 操作数 345 -A;4"" 18 如何在Function中编写脚本 351 N
Uq'96{Y 18.1 简介 351 7 J+cs^2 18.2 什么是脚本? 351 Y|y X]\, 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 D$PR<>=y 18.4 基础 352 )Qixde>]p 18.4.1 Classes(类别) 352 =3<@{^Eg 18.4.2 对象 352 g9oYK 18.4.3 信息(Messages) 352 Yn1CU 18.4.4 属性 352 K!onV3mR 18.4.5 方法 353 r-IG.ym3 18.4.6 变量声明 353 d}_%xkC 18.5 创建对象 354 ?j-;;NNf 18.5.1 创建对象函数 355 (H-Y-Lk+ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 =VM4Q+'K 18.5.3 丢弃对象 356 3FpS o+ 18.5.4 总结 356 [m{uJdj\ 18.6 脚本中的表格 357 XY1b_uY 18.6.1 方法1 357 wC4:OJ[d 18.6.2 方法2 357 Tv`-h 18.7 2D Plots in Scripts 358 i0e aBG]I 18.8 3D Plots in Scripts 359 { 0vHgi 18.9 注释 360 (b4;c=<[{ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 7l|D!`BS 18.11 一个更高级的脚本 362 >5+]~[S 18.12 <esc>键 364 U2)y fhI 18.13 包含文件 365 $jtXNE? 18.14 脚本被优化调用 366 "8YXFg 18.15 脚本中的对话框 368 bRb+3au_x
18.15.1 介绍 368
cnwpd%]o 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ECF \/12 18.15.3 输入框函数 370 >Vvjs 18.15.4 自定义对话框 371 XVNJ3/ 18.15.5 对话框编辑器 371 SFRQpQ06 18.15.6 控制对话框 377 *>f-UNV 18.15.7 更高级的对话框 380 KD)+&69 18.16 Types语句 384 gBCO>nJws 18.17 打开文件 385 +ZxG<1& 18.18 Bags 387 {9yW8&m 18.13 进一步研究 388 !mLD`62. 19 vStack 389 m_n*_tX 19.1 vStack基本原理 389 @Nk]f 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 [r"`rBw 19.3 五棱镜 393 h.D*Y3=< 19.4 光束距离 396 X9xXL%Q 19.5 误差 399 Q'n]+%YN 19.6 二向分色棱镜 399 T6=q[LpsKN 19.7 偏振泄漏 404 1=.+!Tg 19.8 波前误差—相位 405 A/+bwCDP 19.9 其它计算参数 405 @5y ~A}Vd 20 报表生成器 406 G,6Zy-Y9 20.1 入门 406 KsMC+:`F 20.2 指令(Instructions) 406 >84:1` 20.3 页面布局指令 406 i9%cpPrg8 20.4 常见的参数图和三维图 407 gkN
)`/`* 20.5 表格中的常见参数 408 _Bhm\|t 20.6 迭代指令 408 j/+e5.EX/ 20.7 报表模版 408 aur4Ky> : 20.8 开始设计一个报表模版 409 aE'nW@YL. 21 一个新的project 413 6xsB#v* 21.1 创建一个新Job 414 %x G3z7; 21.2 默认设计 415 y@?t[A#v 21.3 薄膜设计 416 d#*n@@V4 21.4 误差的灵敏度计算 420 KqH_?r` 21.5 显色指数计算 422 RN"O/b}qQ 21.6 电场分布 424 4`Z8EV 后记 426 y Ddi+ 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! ]@D#<[5\
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