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《Essential Macleod中文手册》 Q7jb'y$ozO #_^Lb]jkM 目 录 U@uGNMKR -z)n?(pftm ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 '!!CeDy 第1章 介绍 ..........................................................1 3u*4o=4e 第2章 软件安装 ..................................................... 3 5YeM%%-S 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 |EX(8y 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 #P0&ewy 第5章 软件结构 ............................................................... 21 Krqtf 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 ~j}cyHg 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 g| I6'K!< 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 5B3G
@KR 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 N"Zt47( 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 4%>$-($ 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 Q ayPo]O 第12章 优化和综合 ..................................................................120 $P/~rZ@M@ 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 N4F.Y"R$( 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 f!Y?S 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 9PXFRxGA 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 0zmE>/O+ 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 ;-~B)M_S` 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 w0rRSD4S8B 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 8lvV4yb 第20章 运行表单 .................................................................... 251 RzE_K'M 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 vWzm@ 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 G|!Tj X7s 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 /R]U}o^/(% 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 %Nlt H/I 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 ^c"jH'#.L 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 $p#Bi-& 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 bzBEX mC 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 Y!-M_v / 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 ;=)k<6 Gp?a(-K5 mqD}BOif \A 2r] 4gI/!,J(b 6m*QX+ 内容简介 y-'$(x Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 81? hY4 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 JVvs-bK5 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 q9KHmhUD 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 nv*FT BKCA< 目录 36}?dRw#p Preface 1 4Tb
#fH% 内容简介 2 )B"jF>9)[ 目录 i oK6tTK 1 引言 1 hZ?Rof 2 光学薄膜基础 2 6iVxc|Ia 2.1 一般规则 2 SoW9p^HJ 2.2 正交入射规则 3 %
L$bf# 2.3 斜入射规则 6 Q 3hKk$Y 2.4 精确计算 7 }eCw6 2.5 相干性 8 ysQ_[
]/ 2.6 参考文献 10 j/323Za+ 3 Essential Macleod的快速预览 10 sEp"D+f 4 Essential Macleod的特点 32 Q|S.R1L^ 4.1 容量和局限性 33 2e+UM$ 4.2 程序在哪里? 33 2J7:\pR^ 4.3 数据文件 35 jwc)Lj} 4.4 设计规则 35 1F5XvQl 4.5 材料数据库和资料库 37 |7'df &CA 4.5.1材料损失 38 YqhAZp< 4.5.1材料数据库和导入材料 39 mitHT :%r2 4.5.2 材料库 41 T,,WoPU8t 4.5.3导出材料数据 43 ^cOUQ33 4.6 常用单位 43 1-8mFIK 4.7 插值和外推法 46 b6c Bg 4.8 材料数据的平滑 50 27eooY1 4.9 更多光学常数模型 54 a@_4PWzF: 4.10 文档的一般编辑规则 55 e(]!GA 4.11 撤销和重做 56 pNG:0 4.12 设计文档 57 kvL=>
A 4.10.1 公式 58 @E&J_un 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 G,&<<2{(f; 4.10.3 沉积密度 59 5Yg'BkEr 4.10.4 平行和楔形介质 60 ((YMVe 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 H4WP~(__ 4.10.4 性能 61 ,;EIh} 4.10.5 保存设计和性能 64 (!ux+K 4.10.6 默认设计 64 b o6d)Q 4.11 图表 64 h{)kQLuzT 4.11.1 合并曲线图 67 v> LIvi|] 4.11.2 自适应绘制 68 CuaVb1r 4.11.3 动态绘图 68 H*d9l2,KZS 4.11.4 3D绘图 69 jZu[n)u'C 4.12 导入和导出 73 m(r,Acy6 4.12.1 剪贴板 73 %|s; C 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 HZ aV7dOZ8 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 rMdt:` 4.13 背景 77 >nJ\BPx 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 hr#M-K 4.15 生成Rugate 84 ]0Y4U7W 4.16 参考文献 91 ax"+0L{ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 iFd+2S% 5.1 Jobs 92 /K+r?
]kf 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Gt\lFQ
5.3 输入材料 94 =2`[& 5.4 设计数据文件夹 95 Gw}%{=D9 5.5 默认设计 95 G!Op~p@Jm 6 细化和合成 97 .M qP_Z', 6.1 优化介绍 97 GSoX<*i 6.2 细化 (Refinement) 98 UE8kpa)cQ 6.3 合成 (Synthesis) 100 %v=*Wb\3| 6.4 目标和评价函数 101 QVv#fy1"6 6.4.1 目标输入 102 hCi 60%g/n 6.4.2 目标 103 4V{:uuI;f 6.4.3 特殊的评价函数 104 ${<%" hR$ 6.5 层锁定和连接 104 qrb[-|ie& 6.6 细化技术 104 ;@mS^ik")$ 6.6.1 单纯形 105 j
b!x: 6.6.1.1 单纯形参数 106 T`9lV2x*P 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 +jAGGv^) 6.6.2.1 Optimac参数 108 _'#n6^Us< 6.6.3 模拟退火算法 109 KN^=i5K+Y 6.6.3.1 模拟退火参数 109 T.])diuvj- 6.6.4 共轭梯度 111 [zH:1Zhl& 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 NN%*b yK 6.6.5 拟牛顿法 112 zG }@0 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 e6`Jbu+J<f 6.6.6 针合成 113 =J18eH!] 6.6.6.1 针合成参数 114 E@z<:pG{ 6.6.7 差分进化 114 5Y.)("1f}f 6.6.8非局部细化 115 +! ]zA4x 6.6.8.1非局部细化参数 115 J!AgBF N4 6.7 我应该使用哪种技术? 116 :,3C 0T3r 6.7.1 细化 116 3$jT*OyG# 6.7.2 合成 117 Q0)#8Rcm 6.8 参考文献 117 xzdf^Ce 7 导纳图及其他工具 118 G'nmllB`] 7.1 简介 118 q}b
dxa 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 -Fi`Z$ 7.2.1 四分之一波长规则 119 |.(dq^ 7.2.2 导纳图 120 ;o
6lf_ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ;(b9#b. 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 1gE [v 7.5 斜入射导纳图 141 zUt'QH7E. 7.6 对称周期 141 ]MqMQLG0t 7.7 参考文献 142 9Uh"iMB 8 典型的镀膜实例 143 Wjo[ENHM 8.1 单层抗反射薄膜 145 ntu5{L'8 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 5us:adm[pD 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 %@<8<6&q 8.4 W-膜层 148 VRVO-Sk 8.5 V-膜层 149 |O{m2Fi 8.6 V-膜层高折射基底 150 5^}\4.eXo 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 I
)~GZ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 lz/8 8.9 四层抗反射薄膜 153 N,<uf@LQ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 h!M 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 T"(&b~m2b4 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 1m'k|Ka 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 aFl;BhM 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 L\37xJo 8.15十五层宽带抗反射膜 159 '<gI8W</ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 k)i3
8.17 1/4波长堆栈 162
kq?Ms|h 8.18 陷波滤波器 163 ^dI424 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ?3/qz(bM 8.20 褶皱 165 n|6Ic,:[ 8.21 消偏振分光器1 169 ;
8_{e3s 8.22 消偏振分光器2 171 3BzNi' 8.23 消偏振立体分光器 172 mWv3!i;G<s 8.24 消偏振截止滤光片 173 zZ:>do\2 8.25 立体偏振分束器1 174 ?Lx24*5% 8.26 立方偏振分束器2 177 kF3k7,.8& 8.27 相位延迟器 178 e-~N" 8.28 红外截止器 179 imVo<Je7z( 8.29 21层长波带通滤波器 180 _1!7V3|^ 8.30 49层长波带通滤波器 181 |+{)_? 8.31 55层短波带通滤波器 182 FW;m\vu 8.32 47 红外截止器 183 R$EW4]j 8.33 宽带通滤波器 184 jxP;>K7O 8.34 诱导透射滤波器 186 zp6C3RG( 8.35 诱导透射滤波器2 188 0!D4pvlt 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 3_C|z,\: 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ]v?@g:iE 8.35 增益平坦滤波器 193 seba9y 8.38 啁啾反射镜 1 196 50"pbzW 8.39 啁啾反射镜2 198 ?(xnSW@r 8.40 啁啾反射镜3 199 *tGY6=7O 8.41 带保护层的铝膜层 200 +[Dx?XM 8.42 增加铝反射率膜 201 0q^>ZF-@ 8.43 参考文献 202 Eu0akqZ 9 多层膜 204 XUrXnz|> 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ,1hxw<sNR 9.2 内部透过率 204 !'Ak&j1:` 9.3 内部透射率数据 205 c& <Fr[AK 9.4 实例 206 GmK^}=frj 9.5 实例2 210 |O3q@ 9.6 圆锥和带宽计算 212 } FE>|1 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Pi=+/} 10 光学薄膜的颜色 216 "RedK '7g 10.1 导言 216 K:J3Z5" 10.2 色彩 216 -<6\1J 10.3 主波长和纯度 220 zh%#Y_[R 10.4 色相和纯度 221 {GvJZ!,RCg 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 :{{F *FM; 10.6 色差 226 \TIT:1 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 CJtcn_.F 10.8 颜色渲染指数 234 A4Ru g\p] 10.9 色差计算 235 a,Sw4yJ!Q 10.10 参考文献 236 W'els)WJ|x 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ht|z<XJ 11.1 短脉冲 238 57aXQ8u{ 11.2 群速度 239 88Ey12$ 11.3 群速度色散 241 ~Cbc<[} 11.4 啁啾(chirped) 245 Q[Z8ok 11.5 光学薄膜—相变 245 +\x,HsUc" 11.6 群延迟和延迟色散 246 PYiU_ 11.7 色度色散 246 60P<4 11.8 色散补偿 249 RPwbTAl} 11.9 空间光线偏移 256 {]*c29b> 11.10 参考文献 258 phQUD 12 公差与误差 260 Y1L[;)H n 12.1 蒙特卡罗模型 260 !1rlN8w(qr 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 9 *xR6 12.2.1 误差工具 267 'SO %)B 12.2.2 灵敏度工具 271 Y5f1lUT 12.2.2.1 独立灵敏度 271 B`YTl~4 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ^/)^7\@ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ~Io7] 12.3 参考文献 276 Ki4r<>\l{H 13 Runsheet 与Simulator 277 ()2I# 13.1 原理介绍 277 Amp#GR1CA 13.2 截止滤光片设计 277 v5/~-uRL% 14 光学常数提取 289 u6?Q3
bvI 14.1 介绍 289 |<HPn4
,X 14.2 电介质薄膜 289 tG:25 T0 14.3 n 和k 的提取工具 295 u&^b~#T 14.4 基底的参数提取 302 oOnop-z7 14.5 金属的参数提取 306 C](f>)Dz
/ 14.6 不正确的模型 306 F7
5#* 14.7 参考文献 311 k@\ iGqo 15 反演工程 313 C\\~E9+ 15.1 随机性和系统性 313 Nc1"g1JR 15.2 常见的系统性问题 314 EtJHR 15.3 单层膜 314 P !AEf#1 15.4 多层膜 314 LVX[uWEM 15.5 含义 319 ^tqzq0 15.6 反演工程实例 319 Olt`:;j- 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 bG 7O 15.6.2 反演工程提取折射率 327 >d*iD 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 nx@=>E+a 16.1 光学性质的热致偏移 329 l2`s! ,<>O 16.2 应力工具 335 G(Lzf( 16.3 均匀性误差 339 gRrL[z 16.3.1 圆锥工具 339 l-fi%Z7C 16.3.2 波前问题 341 IW>T}@
| 16.4 参考文献 343 "&%I)e^ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ^.1)};i 17.1 引言 345 uya.sF0]9B 17.2 操作数 345 00'%EYO 18 如何在Function中编写脚本 351 ?@BTGUK"C 18.1 简介 351 KmMzH`t}` 18.2 什么是脚本? 351 BD68$y 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 VE#Wb7 18.4 基础 352 rk&IlAE 18.4.1 Classes(类别) 352 Mxe}B' 18.4.2 对象 352 j:<n+:HC 18.4.3 信息(Messages) 352 )n+Lo&C< 18.4.4 属性 352 8hXl%{6d3 18.4.5 方法 353 M2d$4-< 18.4.6 变量声明 353 C+'/>=>a. 18.5 创建对象 354 a,xycX:U 18.5.1 创建对象函数 355 PjZvQ\Z 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 6tB+J F 18.5.3 丢弃对象 356 $g/SWq 18.5.4 总结 356 Q(@U2a8 18.6 脚本中的表格 357 N2B|SO'' 18.6.1 方法1 357 T~--92[ 18.6.2 方法2 357 L\Aq6q@c 18.7 2D Plots in Scripts 358 Y?S!8-z 18.8 3D Plots in Scripts 359 `2' #!- 18.9 注释 360 BZ:H`M`n 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ->sm+H-* 18.11 一个更高级的脚本 362 XDsx3Ws 18.12 <esc>键 364 Lilr0|U+ 18.13 包含文件 365 LISM ngQ. 18.14 脚本被优化调用 366 ?$vCW|f 18.15 脚本中的对话框 368 Xp >7iX!: 18.15.1 介绍 368 B$-R-S6 18.15.2 消息框-MsgBox 368 G.rrv 18.15.3 输入框函数 370 5Eg1Q
YVt 18.15.4 自定义对话框 371 mX_a^_[G 18.15.5 对话框编辑器 371 os,* 3WO 18.15.6 控制对话框 377 >XK
PTC5H 18.15.7 更高级的对话框 380 "*m_> IU 18.16 Types语句 384 m4aB*6<lq 18.17 打开文件 385 u2[iM d 18.18 Bags 387 /h+8A', 18.13 进一步研究 388 OTy.VT| 19 vStack 389 NYE`Kin- 19.1 vStack基本原理 389 s8wmCzB~ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Q?e*4ba 19.3 五棱镜 393 !>v2i" 19.4 光束距离 396 ^=T$&gD 19.5 误差 399 gGr^@=;YC 19.6 二向分色棱镜 399 wLmhy, 19.7 偏振泄漏 404 Nd`%5%':: 19.8 波前误差—相位 405 )T';qm0w 19.9 其它计算参数 405 E^QlJ8 20 报表生成器 406 ,u!*2cWN 20.1 入门 406 [baiH|5> 20.2 指令(Instructions) 406 |?rNy=P, 20.3 页面布局指令 406 >_e]C}QUr 20.4 常见的参数图和三维图 407 {)"iiJ 20.5 表格中的常见参数 408 /s?r`' j[ 20.6 迭代指令 408 hn^<;av= 20.7 报表模版 408 #1`-*.u 20.8 开始设计一个报表模版 409 E5)b 21 一个新的project 413 9S-Z&2L 21.1 创建一个新Job 414 v\!Be[ ? 21.2 默认设计 415 \]%6|V 21.3 薄膜设计 416 9F4Dm*_< 21.4 误差的灵敏度计算 420 whpfJNz 21.5 显色指数计算 422 3 DD ML, 21.6 电场分布 424 hJn%mdx~w| 后记 426 z8QAo\_I( 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! ?3%`bY+3;
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