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《Essential Macleod中文手册》 ZID- ~
6 hO"!q;<eS 目 录 (OiV IH O>L,G)g ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 f&<+45JI 第1章 介绍 ..........................................................1 'KH+e#?Ar 第2章 软件安装 ..................................................... 3 (WHgB0{ 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 -,yp?< 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 d*8*9CpO: 第5章 软件结构 ............................................................... 21 5aaM;45C 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 (.UU40:t 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 {0,b[ 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 30vxOkS 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 l`"?KD 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 /?;'y,(Q 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 .jJD$FC 第12章 优化和综合 ..................................................................120 -riX=K>$ 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 C>|.0:[% 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 s4fO4.bn m 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 ~cc }yDe 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 /4T6Z[=s 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 (
v*xW. 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 /ZyMD(_J 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 Ao\P|K9MyL 第20章 运行表单 .................................................................... 251 wN.S] 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 u\ _yjv# 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 LK DfV 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 X):7#x@uy 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 >ZJ]yhbhK 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 Hs)Cf)8u 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 Nvd(?+c 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 w=#'8ZuU 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 'LMj.#A<g 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 P")I)>Q6 vv.E6D^x( sT;wHtU G QYR`;> iyn9[>je U)G.Bst 内容简介 y"yo\IDW Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 OKh0m_ )7 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 !JXiTI! 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 (tYZq86` 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 1
tOslP@ qFWN._R 目录 <8}FsRr;J Preface 1 B>nj{W<o 内容简介 2 t,r]22I,` 目录 i D^4nT,&8 1 引言 1 36Lkcda[ 2 光学薄膜基础 2 bL
xZ5C7t 2.1 一般规则 2 TVcA%]y{; 2.2 正交入射规则 3 \2kLj2! 2.3 斜入射规则 6 !'H$08Ql} 2.4 精确计算 7 AJ%E.+@=r 2.5 相干性 8 /K|(O^nw 2.6 参考文献 10 p{5m5x 3 Essential Macleod的快速预览 10 qHZDo[ 4 Essential Macleod的特点 32 PcC@}3 4.1 容量和局限性 33 0Agse) 4.2 程序在哪里? 33 "r46Rfa 4.3 数据文件 35 ]mMJ6n 4.4 设计规则 35 JwbZ`Z*w 4.5 材料数据库和资料库 37 j Mn,N9Mf 4.5.1材料损失 38 SAdT#0J 4.5.1材料数据库和导入材料 39 zjA]Tr 4.5.2 材料库 41 N" L&Z4Z 4.5.3导出材料数据 43 ~yJ 2@2I 4.6 常用单位 43 {A/^;X{N^ 4.7 插值和外推法 46 n725hY6}<l 4.8 材料数据的平滑 50 qm$(_]R~` 4.9 更多光学常数模型 54 zx%WV@O9 4.10 文档的一般编辑规则 55 Rq}lW.<r 4.11 撤销和重做 56 N[@H107` 4.12 设计文档 57 0Ncpi=6 4.10.1 公式 58 -8^qtB 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Qn8xe, 4.10.3 沉积密度 59 [uU!\xe 4.10.4 平行和楔形介质 60 AtJ{d^ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 d~~kJKK 4.10.4 性能 61 KFbB}oId 4.10.5 保存设计和性能 64 =|-=4.b+| 4.10.6 默认设计 64 At\(/Zy 4.11 图表 64 k^Qf | 4.11.1 合并曲线图 67 s21}
a,eB 4.11.2 自适应绘制 68 6 ]x?2P% 4.11.3 动态绘图 68 U1r]e%df) 4.11.4 3D绘图 69 jTR?!Mt0 4.12 导入和导出 73 74M 9z 4.12.1 剪贴板 73 jM\{*!7b 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Sy VGm@ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 :C>7HEh-2_ 4.13 背景 77 T`!R
ki%~ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 1*=ev,Z 4.15 生成Rugate 84 sm-[=d%@L 4.16 参考文献 91 JVuju$k 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 &MSU<S?1 5.1 Jobs 92 hiS|&5# 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ;Xt<\^e 5.3 输入材料 94 8NHm#Z3Ol 5.4 设计数据文件夹 95 Z8v 8@Y 5.5 默认设计 95 ) bFl- 6 细化和合成 97 2#7|zhgb 6.1 优化介绍 97 Dylm=ZZa 6.2 细化 (Refinement) 98 X6cn8ak3 6.3 合成 (Synthesis) 100 w&?XsO@0W 6.4 目标和评价函数 101 y`va6 %u{ 6.4.1 目标输入 102 w5 . ^meU 6.4.2 目标 103 6=;:[ 6.4.3 特殊的评价函数 104 W,@F!8 6.5 层锁定和连接 104 x{:U$[_ 6.6 细化技术 104 :gV~L3YW5 6.6.1 单纯形 105 S=k!8]/d| 6.6.1.1 单纯形参数 106 X d+H()nR 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 B!/kC)bF: 6.6.2.1 Optimac参数 108 6nk}k]Ji 6.6.3 模拟退火算法 109 Q|)>9m!tt 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ? uYO]!VC 6.6.4 共轭梯度 111 NwF"Zh5eMW 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 6RbDc* 6.6.5 拟牛顿法 112 W+i^tmj 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 3wv@wqx 6.6.6 针合成 113 ]pvHsiI: 6.6.6.1 针合成参数 114 zjUQ] 6.6.7 差分进化 114 \na$Sb+ 6.6.8非局部细化 115 ;$iT]S 6.6.8.1非局部细化参数 115 sg,\!' 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Ln#o:" E 6.7.1 细化 116 5}G_2<G 6.7.2 合成 117 Tm`@5 6.8 参考文献 117 TAUl{??, 7 导纳图及其他工具 118 +DRt2a# 7.1 简介 118 fJ/INL 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 t5E$u(&+'B 7.2.1 四分之一波长规则 119 <Z-Pc?F&(k 7.2.2 导纳图 120 ^dpM2$J 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 :z8/iD y 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 %$ya>0?mq 7.5 斜入射导纳图 141 _5 Lcr) 7.6 对称周期 141
:Hq%y/ 7.7 参考文献 142 1vo3aF 8 典型的镀膜实例 143 %O9 Wm_% 8.1 单层抗反射薄膜 145 +1wEoU.l2 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 h^(U:M=A 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 e&x)g;bn 8.4 W-膜层 148 wxHd^b 8.5 V-膜层 149 #+o$Tg 8.6 V-膜层高折射基底 150 _AF$E"f@ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 gqv+|:# 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 vT#R>0@mi 8.9 四层抗反射薄膜 153 d9JAt-6z2 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 |y7TYjg6 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 #MYoy7= 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 1?QVtfwY 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Oey
Ph9^V 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Ct `)R 8.15十五层宽带抗反射膜 159 C1{Q 4(K% 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 h.?<(I 8.17 1/4波长堆栈 162 Zw)=Y.y! 8.18 陷波滤波器 163 cy@oAoBq 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 fa]8v6 8.20 褶皱 165 Dl.<(/ 8.21 消偏振分光器1 169 ~EmK;[Z 8.22 消偏振分光器2 171 oPs asa 8.23 消偏振立体分光器 172 <,DMD 8.24 消偏振截止滤光片 173 JPTLh{/ 8.25 立体偏振分束器1 174 D% *ww'mt0 8.26 立方偏振分束器2 177 _8$xsj4_ 8.27 相位延迟器 178 <&[`
+ 8.28 红外截止器 179 ]A[}:E 5} 8.29 21层长波带通滤波器 180 kmBA 8.30 49层长波带通滤波器 181 "d-vs t5 8.31 55层短波带通滤波器 182 NdJ]\>5oN, 8.32 47 红外截止器 183 n5"i'o{w 8.33 宽带通滤波器 184 |d&Kr0QIV 8.34 诱导透射滤波器 186 gIweL{Pc 8.35 诱导透射滤波器2 188 $~q{MX&J 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 *As"U99( 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 vV"YgN: 8.35 增益平坦滤波器 193 +9LzDH 8.38 啁啾反射镜 1 196 E<LH-_$ 8.39 啁啾反射镜2 198 +mG"m hF 8.40 啁啾反射镜3 199 .&5 3sJ0{ 8.41 带保护层的铝膜层 200 J_+2]X7n 8.42 增加铝反射率膜 201 kK6t|Yn& 8.43 参考文献 202 {6LS$3}VM 9 多层膜 204 lrPIXIM 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 q !}~c 9.2 内部透过率 204 L|{v kkBo 9.3 内部透射率数据 205 I5j|\ /Ht 9.4 实例 206 6GAEQ] 9.5 实例2 210 }`Wo(E}O 9.6 圆锥和带宽计算 212 TyO]|Q5 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 D
Q4O 10 光学薄膜的颜色 216 SIM>Lz 10.1 导言 216 F +5
5p8 10.2 色彩 216
*pO`sC> 10.3 主波长和纯度 220 <bJ|WS| 10.4 色相和纯度 221 PQi(Oc 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ~d<&OL 10.6 色差 226 k0FAI0~( 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 n2o)K;wW+ 10.8 颜色渲染指数 234 B{`K?e0 10.9 色差计算 235 -m,Y6 10.10 参考文献 236 B !x6N" 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 wtL=^ 11.1 短脉冲 238 owa&HW/_ 11.2 群速度 239 g9Dynm5 11.3 群速度色散 241 1e9~):C~W 11.4 啁啾(chirped) 245 (3K,f4S@ 11.5 光学薄膜—相变 245 ~mHrgxQ- 11.6 群延迟和延迟色散 246 q(46v`u 11.7 色度色散 246 wk?i\vm 11.8 色散补偿 249 |d\1xTBLp 11.9 空间光线偏移 256 Nj?Q{ztS 11.10 参考文献 258 wKcuIc$ 12 公差与误差 260 lRS'M,/ 12.1 蒙特卡罗模型 260 lt'N{LFvc 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 m+dQBsz\ 12.2.1 误差工具 267 //3fgoly 12.2.2 灵敏度工具 271 @G>eCj 12.2.2.1 独立灵敏度 271 5%K|dYv^^ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 d=\TC'd"{ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Z6So5r%wZ 12.3 参考文献 276 CZ^
,bad 13 Runsheet 与Simulator 277 `uDOIl 13.1 原理介绍 277 B$OV^iwxK 13.2 截止滤光片设计 277 <v\$r2C* 14 光学常数提取 289 0}`
-<( 14.1 介绍 289 CG35\b;Q 14.2 电介质薄膜 289 H7drDw 14.3 n 和k 的提取工具 295 S]}}r) 14.4 基底的参数提取 302 <RbsQ^U 14.5 金属的参数提取 306 TQ~a5q 14.6 不正确的模型 306 ES(qu]CjI 14.7 参考文献 311 I~HA
ad,k 15 反演工程 313 E&"V~ 15.1 随机性和系统性 313 gLFSZ 15.2 常见的系统性问题 314 j:8Pcx 15.3 单层膜 314 ([SJ6ff]& 15.4 多层膜 314 P~&J@8)c 15.5 含义 319 trA ^JY 15.6 反演工程实例 319 oFzmH!&ED 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ?{L'd 15.6.2 反演工程提取折射率 327 2H] 7 =j 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ,l,q;]C% 16.1 光学性质的热致偏移 329 EKuLt*a/ 16.2 应力工具 335 ym` 4v5w 16.3 均匀性误差 339 qx0F*EH| 16.3.1 圆锥工具 339 SpIiMu( 16.3.2 波前问题 341 AYsHA w 16.4 参考文献 343 g^#,!e 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 #N"QTD|i 17.1 引言 345 O"X7 DgbC 17.2 操作数 345 pFBK'NE 18 如何在Function中编写脚本 351 "2tKh!?Q 18.1 简介 351 D)[( 18.2 什么是脚本? 351 C0^r]^$Z 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 R9K~b^` 18.4 基础 352 }dU!PZ9N) 18.4.1 Classes(类别) 352 '!MKZKer 18.4.2 对象 352 tp"eXA0n 18.4.3 信息(Messages) 352
b`GKGqb J 18.4.4 属性 352 05jjLM'e 18.4.5 方法 353 `4Fw,:+e 18.4.6 变量声明 353 kf95 )iLo 18.5 创建对象 354 #7YJ87<E 18.5.1 创建对象函数 355
# xX 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Uu Zjf9} 18.5.3 丢弃对象 356 xNRMI!yv
18.5.4 总结 356 #B!M,TWf9s 18.6 脚本中的表格 357 B<G,{k 18.6.1 方法1 357 p%#'`*<a_ 18.6.2 方法2 357 UQP>yuSx 18.7 2D Plots in Scripts 358 xbCQ^W2YU| 18.8 3D Plots in Scripts 359 YPKB4p# 18.9 注释 360 rodqa 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 MlbcJo3 18.11 一个更高级的脚本 362 sQ[N3 18.12 <esc>键 364 Le/}xST@ 18.13 包含文件 365 iMV=R2t 2 18.14 脚本被优化调用 366 ?1LRR
;-x 18.15 脚本中的对话框 368 00r7trZW^ 18.15.1 介绍 368 AW!A+?F6 18.15.2 消息框-MsgBox 368 [e{W:7uFV 18.15.3 输入框函数 370 4#t-?5" 18.15.4 自定义对话框 371 {lppv(U 18.15.5 对话框编辑器 371 <33,0."K 18.15.6 控制对话框 377 .F$cR^i5u 18.15.7 更高级的对话框 380 0x^lHBYc 18.16 Types语句 384 yGV>22vv
M 18.17 打开文件 385 f)r6F JLU 18.18 Bags 387 L7.SH#m 18.13 进一步研究 388 R.
vVl+ 19 vStack 389 xm=$D6O: 19.1 vStack基本原理 389 V:+z 3)qF 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 8NJT:6Q7l 19.3 五棱镜 393 Zdfh*MHMg 19.4 光束距离 396 "-rqL 19.5 误差 399 g^\!> i 19.6 二向分色棱镜 399 %E [HMq<H 19.7 偏振泄漏 404 Zzb?Nbf 19.8 波前误差—相位 405 Nn U`u.$D 19.9 其它计算参数 405 DhsvN&yNM 20 报表生成器 406 &$l#0?Kc^ 20.1 入门 406 F'B0\v= 20.2 指令(Instructions) 406 _]eyt_ 20.3 页面布局指令 406 O,NVhU7, 20.4 常见的参数图和三维图 407 C\dk}A 20.5 表格中的常见参数 408 cz|?j 20.6 迭代指令 408 UG}2q:ST 20.7 报表模版 408 1i)3!fH0:
20.8 开始设计一个报表模版 409 ~sq@^<M)s 21 一个新的project 413 f=S2O_Ee 21.1 创建一个新Job 414 H4sc7- 21.2 默认设计 415 "I9 r>= 21.3 薄膜设计 416 [%~yY& 21.4 误差的灵敏度计算 420 @S>;t)\J 21.5 显色指数计算 422 3iL\<^d*ht 21.6 电场分布 424 x]3[0K5; 后记 426 P|C5k5 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! =+q\Jh
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