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《Essential Macleod中文手册》 +?[,y PQ`p:=~>:i 目 录 yJx{6 oyGO!j ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 v$R+5_@[l 第1章 介绍 ..........................................................1 ,~
D_T 第2章 软件安装 ..................................................... 3 y$VYWcFE 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 I$K? ,
第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 r)P^CZm 第5章 软件结构 ............................................................... 21
>:whNp 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 Yx21~:9} 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 ), >jBYMJ 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 J`U\3:b`SP 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 D ];%Ey 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 ?)$+W+vK 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 lW^bn(_gQ 第12章 优化和综合 ..................................................................120 j rX.e 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 re9*q
第14章 多层膜 ........................................................................... 167 j?&Rf,,% 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 `6KTQk' 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 4\)"Ih 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 u~#QvA~] 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 fk%yi[ 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 hlPZTr=a 第20章 运行表单 .................................................................... 251 ].f28bY 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 usb.cE3z 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 q2* G86 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 =VMV^[&> 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 l0Myem
v?z 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 3V]B|^S 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 ,f`435R 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 t?NB#/#%x 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 _qg)^M 6 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 vkdU6CZO R u^v!l`!7 Hl"qLrb4 (fmcWHs tGGv 2TCEy ^h+,Kn0@ 内容简介 6LUO Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 wB6ILTu1 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 BU[.P] 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 uT8@p8 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 x{Y}1+Y4 F|K=]. 目录 Z:3N*YkL Preface 1 *I;,|Jj k 内容简介 2 Bl5*sfjG 目录 i Lpw9hj| 1 引言 1 H"|xG;cf 2 光学薄膜基础 2 K31G>k@ 2.1 一般规则 2 }mRus<Ax 2.2 正交入射规则 3
kt8P\/~*i 2.3 斜入射规则 6 NET?Ep 2.4 精确计算 7 !w['@x. 2.5 相干性 8 IYm~pXg^0 2.6 参考文献 10 /.<tC( 3 Essential Macleod的快速预览 10 c"OBm# 4 Essential Macleod的特点 32 4`F(RweGx 4.1 容量和局限性 33 `Tt}:9/3 4.2 程序在哪里? 33 `}:q@:% 4.3 数据文件 35 uU v yZ 4.4 设计规则 35 BKDs3?& 4.5 材料数据库和资料库 37 $:M *$r^u 4.5.1材料损失 38 :[:5^R 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ea3;1-b: 4.5.2 材料库 41 uGm~ Oo 4.5.3导出材料数据 43 J(*qOGBD 4.6 常用单位 43 a.+2h%b 4.7 插值和外推法 46 -<kl d+ 4.8 材料数据的平滑 50
'Eds0"3 4.9 更多光学常数模型 54 7.fpGzUM 4.10 文档的一般编辑规则 55 4`lt 4L 4.11 撤销和重做 56 * z|i{=W
F 4.12 设计文档 57 5b
X*8H
D 4.10.1 公式 58 Bw-<xwD 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 y+f@8] 4.10.3 沉积密度 59 <ijf':X=* 4.10.4 平行和楔形介质 60 KK;3<kX 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 :0,q>w 4.10.4 性能 61 }qy,/<R 4.10.5 保存设计和性能 64 CZB!vh0 4.10.6 默认设计 64 mm-!UsT 4.11 图表 64 :5!>h8p; 4.11.1 合并曲线图 67 `ER">@& 4.11.2 自适应绘制 68 ~=h M y`Ml 4.11.3 动态绘图 68 =}N&c4I[j 4.11.4 3D绘图 69 VU+` yQp 4.12 导入和导出 73 } ).rD 4.12.1 剪贴板 73 ^'EeJN 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ^lVZW8 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 1e`/N+6u 4.13 背景 77 Q!DH8'|4?L 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 s%h|>l[lKT 4.15 生成Rugate 84 5/j7 C> 4.16 参考文献 91 D=}UKd 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 q)%F#g 5.1 Jobs 92 U M$\{$ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 lz>YjK: 5.3 输入材料 94 o>rsk
6lNi 5.4 设计数据文件夹 95 i^j1i 5.5 默认设计 95 A4RA5N/} 6 细化和合成 97 OiI[w8 6.1 优化介绍 97 06@^knm 6.2 细化 (Refinement) 98 _`yd"0Ux 6.3 合成 (Synthesis) 100 }{>)2S 6.4 目标和评价函数 101 \7W>3 6.4.1 目标输入 102 z3!j>X_w 6.4.2 目标 103 +a$'<GvP 6.4.3 特殊的评价函数 104 5\RTy}w3x 6.5 层锁定和连接 104 #clOpyT* 6.6 细化技术 104 N@D]Q&;+(T 6.6.1 单纯形 105 \lj.vzD-A 6.6.1.1 单纯形参数 106 Xup rl2+ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 VOc_7q_= 6.6.2.1 Optimac参数 108 O;RsYs9 6.6.3 模拟退火算法 109 C9^[A4O@X! 6.6.3.1 模拟退火参数 109 7_Yxz$m 6.6.4 共轭梯度 111 L ]HtmI 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 , &>LBdG` 6.6.5 拟牛顿法 112 GE;S5X]X 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 9>gxJ7pY 6.6.6 针合成 113 O$QtZE61 6.6.6.1 针合成参数 114 NQQ+l0txI 6.6.7 差分进化 114 z~[:@mGl 6.6.8非局部细化 115 W;~ f865 6.6.8.1非局部细化参数 115 &L3OP@; 6.7 我应该使用哪种技术? 116 X}T/6zk 6.7.1 细化 116 E`#m0Q(8 6.7.2 合成 117 I'pOB 6.8 参考文献 117 <A{|=2< 7 导纳图及其他工具 118 A*d Pw. 7.1 简介 118 >b2j j+8 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ;pk4Voo$ 7.2.1 四分之一波长规则 119 T(LqR?xOo 7.2.2 导纳图 120 }^|g|xl! 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 USF9sF0l 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 '@4Myg* b 7.5 斜入射导纳图 141 y $,K^f 7.6 对称周期 141 0#\K9|. 7.7 参考文献 142 K%NNw7\A 8 典型的镀膜实例 143 Z>=IP-,> 8.1 单层抗反射薄膜 145 #2*l"3.$.R 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ODvlix 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 L=`QF'Im 8.4 W-膜层 148 b1rW0}A 8.5 V-膜层 149 HEqTlnxUu 8.6 V-膜层高折射基底 150 O&DkB*- 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 WiDl[l"{9 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 m|K"I3W$ 8.9 四层抗反射薄膜 153 "*08?KA 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 _ ~q!<-Z 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 )OjTn" 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ?D 8<}~Do 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 JmMB=}
< 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 t:MeSO 8.15十五层宽带抗反射膜 159 %:yp>nm 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 w'Y(doY, 8.17 1/4波长堆栈 162 ~_l@
_P5yz 8.18 陷波滤波器 163 ie<zc+*rW 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ?vA)F)MS 8.20 褶皱 165
x/BtB"e*5 8.21 消偏振分光器1 169 \!O3]k,r 8.22 消偏振分光器2 171 G6W_)YL 8.23 消偏振立体分光器 172 zN3[W`q+m 8.24 消偏振截止滤光片 173 eBlWwUy*6f 8.25 立体偏振分束器1 174 _H{6{!=y 8.26 立方偏振分束器2 177 @;\2 PD 8.27 相位延迟器 178 E6 g]EE 8.28 红外截止器 179 y!z2+q2 8.29 21层长波带通滤波器 180 \[\4= !v 8.30 49层长波带通滤波器 181 Iax-~{B3AY 8.31 55层短波带通滤波器 182 @wvgMu 8.32 47 红外截止器 183 F747K);_ 8.33 宽带通滤波器 184 *lZ;kW(}p 8.34 诱导透射滤波器 186 .[8!
E_ 8.35 诱导透射滤波器2 188 C~e&J&zh 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Uu_g_b:z 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 I |PEC-( 8.35 增益平坦滤波器 193 ni2GZ<1j 8.38 啁啾反射镜 1 196 _\/KI
/ 8.39 啁啾反射镜2 198 7pllzy 8.40 啁啾反射镜3 199 `!Z0;qk 8.41 带保护层的铝膜层 200 P}`|8b1W 8.42 增加铝反射率膜 201 i2+r#Hw#5R 8.43 参考文献 202 D_SXxP[! g 9 多层膜 204 ddTsR 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 _+sb~ 9.2 内部透过率 204 34*73WxK 9.3 内部透射率数据 205 }Z/[ " 9.4 实例 206 N_:H kI6 9.5 实例2 210 MZ2/ks 9.6 圆锥和带宽计算 212 t]3> X 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 v9,<2 10 光学薄膜的颜色 216 YYE{zU 10.1 导言 216
g2LY~ 10.2 色彩 216 T\ *#9a 10.3 主波长和纯度 220 ~mF^t7n] 10.4 色相和纯度 221 F_U9;*f] 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 f: 9bq}vH 10.6 色差 226 Ir\P[A 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 58S qB 10.8 颜色渲染指数 234 opXxtYC@ 10.9 色差计算 235 IdS=lN$ 10.10 参考文献 236 k~0#Iy_{M 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 o5@d1A 11.1 短脉冲 238 Z5j\ M 11.2 群速度 239 7"_m?c8 11.3 群速度色散 241 A`B>fI 11.4 啁啾(chirped) 245 > `1K0?_ 11.5 光学薄膜—相变 245 =ea'G>;[H 11.6 群延迟和延迟色散 246 -Qy@-s $ 11.7 色度色散 246 a
Xn:hn~O 11.8 色散补偿 249 !+k);;.+ 11.9 空间光线偏移 256 QO/nUl0E 11.10 参考文献 258 !V'~<& 12 公差与误差 260 h]Y,gya[yk 12.1 蒙特卡罗模型 260 9xN` 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 <(!~s><. 12.2.1 误差工具 267 <e?1&5 6 12.2.2 灵敏度工具 271 Ia[4P8Z 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ~W2Od2p! 12.2.2.2 灵敏度分布 275 s||c#+j"8 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 u?F^gIw 12.3 参考文献 276 eP|_ 13 Runsheet 与Simulator 277 MpVZL29) 13.1 原理介绍 277 BvLC% 13.2 截止滤光片设计 277 @CtnV| 14 光学常数提取 289 !C& ^%a 14.1 介绍 289 Z,~PW#8<& 14.2 电介质薄膜 289 [$DI!%e| 14.3 n 和k 的提取工具 295 N!//m?} 14.4 基底的参数提取 302 hcqg94R#_ 14.5 金属的参数提取 306 /u&7!>, 14.6 不正确的模型 306 =o)B1(v@. 14.7 参考文献 311 cGSG}m@B` 15 反演工程 313 jK]An;l{Z 15.1 随机性和系统性 313 Hmx
Y{KB 15.2 常见的系统性问题 314 K0{
,*>C 15.3 单层膜 314 NY
GWA4L 15.4 多层膜 314 ]PlLy:( 15.5 含义 319 ei82pLM
z 15.6 反演工程实例 319 b&*)C#7/T 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 T8BewO=} 15.6.2 反演工程提取折射率 327 "$n ff=] 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 :'4", 16.1 光学性质的热致偏移 329 `J$7X 16.2 应力工具 335 cX#U_U~d 16.3 均匀性误差 339 sd _DG8V 16.3.1 圆锥工具 339 Fr_6pEH]} 16.3.2 波前问题 341 Hva/C{Y 16.4 参考文献 343 #0f6X,3 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 >x1yFwX}-f 17.1 引言 345 (j-_iOQ]i+ 17.2 操作数 345 eUKl( 18 如何在Function中编写脚本 351 6 u 1|pX8 18.1 简介 351 r+usMF<' 18.2 什么是脚本? 351 Yy{(XBJ~%t 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 [ <j4w 18.4 基础 352
fCbd]X 18.4.1 Classes(类别) 352 1'%n?\OK66 18.4.2 对象 352 ,FwJ0V 18.4.3 信息(Messages) 352 L%<DLe^P`l 18.4.4 属性 352 \b}%A&Ij 18.4.5 方法 353 A[`2Mnj 18.4.6 变量声明 353 MJA;P7g 18.5 创建对象 354 RB9ZaL\ 18.5.1 创建对象函数 355 K8W99:v 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 L1kAAR 18.5.3 丢弃对象 356 XG E.*aI 18.5.4 总结 356 y" |gC!V} 18.6 脚本中的表格 357 %us#p|Ya 18.6.1 方法1 357 0 _N.s5~N 18.6.2 方法2 357 i}O.,iH 18.7 2D Plots in Scripts 358 as(Zb*PdH 18.8 3D Plots in Scripts 359 -6xh 18.9 注释 360 c=D~hz N 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 B dP+>Ij 18.11 一个更高级的脚本 362 Y[s}?Xu]w# 18.12 <esc>键 364 HLC I 18.13 包含文件 365 Ab8Ke|fA 18.14 脚本被优化调用 366 P9x':I$ 18.15 脚本中的对话框 368 !j&#R%D 18.15.1 介绍 368 z<_a4ffR 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Svdmg D! 18.15.3 输入框函数 370 |_hIl(6F5N 18.15.4 自定义对话框 371 VNs3. 18.15.5 对话框编辑器 371 V}ls|B$Y 18.15.6 控制对话框 377 ~sdM~9@
' 18.15.7 更高级的对话框 380 J(SGa Hm@ 18.16 Types语句 384 TUARYJ6= 18.17 打开文件 385 BDCyeC,Q3 18.18 Bags 387 iqFC~].) 18.13 进一步研究 388 F<^f6z8 19 vStack 389 Fd<eh(g9P 19.1 vStack基本原理 389 <`u_O!h 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 RN$>!b/ 19.3 五棱镜 393 Yq'D-$@ 19.4 光束距离 396
QQt4pDir> 19.5 误差 399 g""Ep 19.6 二向分色棱镜 399 K'y|_XsBB) 19.7 偏振泄漏 404 CaVVlL 19.8 波前误差—相位 405 6Fc*&7Z+ 19.9 其它计算参数 405 A1*\ \[ 20 报表生成器 406 i v.G 20.1 入门 406 ^v+p@k 20.2 指令(Instructions) 406 i.^:xZ 20.3 页面布局指令 406 <*9(m 20.4 常见的参数图和三维图 407 T:" .{h-i 20.5 表格中的常见参数 408 p(fMM : 20.6 迭代指令 408 OuKRaZ 20.7 报表模版 408 &A=c[pc 20.8 开始设计一个报表模版 409 99"8d^{z 21 一个新的project 413 _T_} k:&X 21.1 创建一个新Job 414 =2YXh,i 21.2 默认设计 415 w&e3#p 21.3 薄膜设计 416 @1 i<=r 21.4 误差的灵敏度计算 420 Cu_-QE 21.5 显色指数计算 422 |7Qe{ 21.6 电场分布 424 nb ?(zDJ8 后记 426 ~[f`oC 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! HA[7)T N1E
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