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《Essential Macleod中文手册》 Xwa_3Xm*Le ?,=f\Fz! 目 录 X]y)ZF26 9ktEm|F3 ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 gUR]{dq^' 第1章 介绍 ..........................................................1 jhGlG-^ 第2章 软件安装 ..................................................... 3 Gs*G<P" 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 @[6,6:h| 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 &5%dhc4&!& 第5章 软件结构 ............................................................... 21 &6j<c a 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 H2r8,|XL 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 #n 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 phYDs9-K 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 OI0B:() 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 k{AyD`'Q 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 C*X
G_b ] 第12章 优化和综合 ..................................................................120 u=&Bmn_ 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 B(DrY1ztj 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 s-W[.r| 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 D\~e&0* 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 `aqrSH5^h 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 f&hwi:t 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 gr-x|wK 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 @4!x>q$3 第20章 运行表单 .................................................................... 251 %@R~DBS 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 Bd3~E bFL 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 l+wc'=] 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 .9|uQEL 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 eV6o3u:9 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 1#
t6`N]?V 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 O!Wd5Y 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 X8<2L2: 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 6`$[Ini 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 (shK &s)0z)mR8& \Xt)E[ [B0K G_ Ay ^ie^VY($ 内容简介 cUK\x2 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ecX/K.8l 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 bQaoMZB 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 0ZC,BS`D^ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 3^.8.q(6 }~o
ikN: 目录 #
4|9Fj?? Preface 1 2D([Z -<i 内容简介 2 DI&MC9j( 目录 i kA7(CqUW 1 引言 1 {*/dD` 2 光学薄膜基础 2 _a+ICqR 2.1 一般规则 2 >&H~nGP. 2.2 正交入射规则 3 TK>{qxt:= 2.3 斜入射规则 6 aEx(rLd+ 2.4 精确计算 7 L"rcv:QWZa 2.5 相干性 8 g-yi xU 2.6 参考文献 10 }`9`JmNM 3 Essential Macleod的快速预览 10 wH!#aB>kP 4 Essential Macleod的特点 32 hteOh#0{ 4.1 容量和局限性 33 LxT rG)4 4.2 程序在哪里? 33 (G4'(6 4.3 数据文件 35 /qxJgoa 4.4 设计规则 35 W>L@j( 4.5 材料数据库和资料库 37 0k?Sq#7q 4.5.1材料损失 38 P Tnac 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Lm.`+W5 4.5.2 材料库 41 74zSP/G' 4.5.3导出材料数据 43 \]Z&P,}w 4.6 常用单位 43 u fw cF* 4.7 插值和外推法 46 kb|eQtH 4.8 材料数据的平滑 50 NygI67 4.9 更多光学常数模型 54 (L|}` 4.10 文档的一般编辑规则 55 d.pp3D9/ 4.11 撤销和重做 56 *\LyNL( 4.12 设计文档 57 JfTfAq] 4.10.1 公式 58 =w<VT% 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ;aK.%-s-Z 4.10.3 沉积密度 59 VjTe4$ * 4.10.4 平行和楔形介质 60 abZdGnc 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 O3!d(dY=_ 4.10.4 性能 61 r] t )x* 4.10.5 保存设计和性能 64 U1Yo7nVf 4.10.6 默认设计 64 >QI~`MiI 4.11 图表 64 m1e b8yX 4.11.1 合并曲线图 67 f[qPG& 4.11.2 自适应绘制 68 e~Hr(O+;e6 4.11.3 动态绘图 68 G+yL;G/ 4.11.4 3D绘图 69 /S/aUvN 4.12 导入和导出 73 Igjr~@# 4.12.1 剪贴板 73 ozxYH], 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 +v[O 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 C6)R# 4.13 背景 77 ;i9>}]6 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 O3ZM:,. 4.15 生成Rugate 84 l#6&WWmr 4.16 参考文献 91 Wg(bD, 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 &r:m&?!|VQ 5.1 Jobs 92 Qcgu`]7} 5.2 创建一个新Job(工作) 93 bm}+}CJ@#0 5.3 输入材料 94 XOxB
(0@ 5.4 设计数据文件夹 95 Ea4
* o 5.5 默认设计 95 n4>cERfa 6 细化和合成 97 A7(M,4`6 6.1 优化介绍 97 XTj73 MWY 6.2 细化 (Refinement) 98 j m>U6 6.3 合成 (Synthesis) 100 (zmNa}- 6.4 目标和评价函数 101 .b _? -Fv 6.4.1 目标输入 102 [` 'd#pR 6.4.2 目标 103 q5?L1 6.4.3 特殊的评价函数 104 s$3`X(Pn 6.5 层锁定和连接 104 U"B.:C2 6.6 细化技术 104 lzoeST 6.6.1 单纯形 105 ss;
5C:*y 6.6.1.1 单纯形参数 106 =z-5 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 (H[ 6.6.2.1 Optimac参数 108 M1(9A>|nF 6.6.3 模拟退火算法 109 &gWiu9WbS 6.6.3.1 模拟退火参数 109 leIy|K>\m 6.6.4 共轭梯度 111 k<, u0 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 2C{/`N 6.6.5 拟牛顿法 112 bx7\QU+ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 wDZ 6.6.6 针合成 113 b=_{/F*b? 6.6.6.1 针合成参数 114 g 9|qbKQ:[ 6.6.7 差分进化 114 QmHwn)Ly 6.6.8非局部细化 115 `+^sW#ki 6.6.8.1非局部细化参数 115 Ivjw<XP6K 6.7 我应该使用哪种技术? 116 CfY7<o1> 6.7.1 细化 116 YnD#p[Wo^ 6.7.2 合成 117 X/wmKi 6.8 参考文献 117 \2Xx%SX 7 导纳图及其他工具 118 I)rGOda{ 7.1 简介 118 \KNdZC?V2 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ;'hi9L 7.2.1 四分之一波长规则 119 shy 7.2.2 导纳图 120 u x#.:C| 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
N)P((>S; 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 J&
)#G@fRX 7.5 斜入射导纳图 141 w`0)x5
TGR 7.6 对称周期 141 &
L3UlL 7.7 参考文献 142 ]xI?,('_m 8 典型的镀膜实例 143 bk0Y 8.1 单层抗反射薄膜 145 T|!D>l' 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 [='p!7z 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 9,w}Xe=C 8.4 W-膜层 148 r/^tzH's 8.5 V-膜层 149 n3*UgNg%fK 8.6 V-膜层高折射基底 150 ) (+)Q'* 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ;*.(. 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 %P(;8sS 8.9 四层抗反射薄膜 153 PlF!cr7:4 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 {:3.27jQ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 q`cEA<~S 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ?LR"hZ> 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 @Mzz2&(dU 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Vj/fAHR`>' 8.15十五层宽带抗反射膜 159 k3C"
8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 _ r~+p 8.17 1/4波长堆栈 162 %
<^[j^j}o 8.18 陷波滤波器 163 z^gi[
mi 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ~~U< 8.20 褶皱 165 yV8- 8.21 消偏振分光器1 169 kAY@^vi 8.22 消偏振分光器2 171 A"0wvk)UcY 8.23 消偏振立体分光器 172 jzMhJ 8.24 消偏振截止滤光片 173 WBy[m ?d 8.25 立体偏振分束器1 174 v;Swo(" 8.26 立方偏振分束器2 177 Lr wINVa 8.27 相位延迟器 178 XynU/Go, 8.28 红外截止器 179 ~Vwk:+): 8.29 21层长波带通滤波器 180 NoJUx['6 8.30 49层长波带通滤波器 181 m**0rpA 8.31 55层短波带通滤波器 182 y-%nJD$ 8.32 47 红外截止器 183 ]c5DOv& 8.33 宽带通滤波器 184 (rAiDRQ[ 8.34 诱导透射滤波器 186 v'h3CaA9j 8.35 诱导透射滤波器2 188 DakLD~H; 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 1 pa*T! 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 1!X1wCT 8.35 增益平坦滤波器 193 k\nH&nb 8.38 啁啾反射镜 1 196 kV_#9z7% 8.39 啁啾反射镜2 198 Z+r%_|kZ 8.40 啁啾反射镜3 199 bd,Uz%o_ 8.41 带保护层的铝膜层 200 +:fqL 8.42 增加铝反射率膜 201 <"hb#Tn 8.43 参考文献 202 YW'{|9KnI 9 多层膜 204 4[2=L9MIo~ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ?]s%(R,B5 9.2 内部透过率 204 eVZa6la" 9.3 内部透射率数据 205 3%_
4+zd 9.4 实例 206 uE"5 cq'B/ 9.5 实例2 210 Po'-z<}wS 9.6 圆锥和带宽计算 212 Sjw2 j#Q 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 tCuN?_UG 10 光学薄膜的颜色 216 *~"zV`*Q 10.1 导言 216 c!tvG*{ 10.2 色彩 216 fL(':W&n- 10.3 主波长和纯度 220 K5 5} Wi 10.4 色相和纯度 221 wEBtre7 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 i:V0fBR[> 10.6 色差 226 yJF 2 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 V xp$#3 ;S 10.8 颜色渲染指数 234 L@>^_p$ 10.9 色差计算 235 f<g>dQlE 10.10 参考文献 236 l. XknF 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 \R6;Fef 11.1 短脉冲 238 _Wm(/ +G_| 11.2 群速度 239 p.@0=) 11.3 群速度色散 241 n33JTqX 11.4 啁啾(chirped) 245 KYnW7|* 11.5 光学薄膜—相变 245 #=`FM:WH 11.6 群延迟和延迟色散 246 nu#aa#ex> 11.7 色度色散 246 eFt\D\XOW 11.8 色散补偿 249 @*CAn(@#N 11.9 空间光线偏移 256 =@Q#dDnFu% 11.10 参考文献 258 }V\P,ck 12 公差与误差 260 gV<0Hj 12.1 蒙特卡罗模型 260 [LJ705t 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 //#xK D 12.2.1 误差工具 267 8|w5QvCU?3 12.2.2 灵敏度工具 271 ^zvA?'s 12.2.2.1 独立灵敏度 271 A Oby*c 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ybD{4&ZE 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 IW5*9)N? 12.3 参考文献 276 `V]egdO 13 Runsheet 与Simulator 277 >&$ $(Bp 13.1 原理介绍 277 Ul'~opf 13.2 截止滤光片设计 277 S1D9AcK 14 光学常数提取 289 di-O*ug 14.1 介绍 289 b}ySZlmy 14.2 电介质薄膜 289 hknwis%y 14.3 n 和k 的提取工具 295 BengRG[ 14.4 基底的参数提取 302 e#l*/G*, 14.5 金属的参数提取 306 )m|X;eEo 14.6 不正确的模型 306 xDPQG`6 14.7 参考文献 311 [ea6dv4p 15 反演工程 313 S% JNxT7' 15.1 随机性和系统性 313 03X<x| 15.2 常见的系统性问题 314 s(1_: 15.3 单层膜 314 LL|_c4$Ky 15.4 多层膜 314 k)H[XpM 15.5 含义 319 P`\m9"7 15.6 反演工程实例 319 qR [}EX&3 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ]I{qp~^#n 15.6.2 反演工程提取折射率 327 1VhoJGH;C 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Ck ~V5 16.1 光学性质的热致偏移 329 }4bB7,j 16.2 应力工具 335 LP5eFl`|T 16.3 均匀性误差 339 >u BV 16.3.1 圆锥工具 339 ?;0nJf 16.3.2 波前问题 341 tx:rj6-z 16.4 参考文献 343 Rz<d%C;R 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 N&0uXrw 17.1 引言 345 JVJ1Ay/be 17.2 操作数 345 |@o]X?^ 18 如何在Function中编写脚本 351 6MLN>)t 18.1 简介 351 >>oASo 18.2 什么是脚本? 351 v$gMLu= 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Bq$e|t)' 18.4 基础 352 HI"!n$p 18.4.1 Classes(类别) 352 "TBQNWZ 18.4.2 对象 352 l}2%?d 18.4.3 信息(Messages) 352 jSeA%Te 18.4.4 属性 352 jMz1s%C 18.4.5 方法 353 s${T*)S@G 18.4.6 变量声明 353 {V]Qwz)1 18.5 创建对象 354 %{N$1ht^ 18.5.1 创建对象函数 355 >gX0Ij#G 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 BNL8hK`D 18.5.3 丢弃对象 356 yNhscAMNn 18.5.4 总结 356 `}k&HRn 18.6 脚本中的表格 357 f>\bUmk( 18.6.1 方法1 357 %!ER @&1f& 18.6.2 方法2 357 5{R#h : 18.7 2D Plots in Scripts 358 b*'=W"%\ 18.8 3D Plots in Scripts 359 _V_8p)% 18.9 注释 360 #lBpln9 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
:f?,]|]+- 18.11 一个更高级的脚本 362 1K?
&
J2 18.12 <esc>键 364 C0t+Q 18.13 包含文件 365 ?BHWzo! 18.14 脚本被优化调用 366 1c<CEq:?e% 18.15 脚本中的对话框 368 bMqu5G_q 18.15.1 介绍 368 h30QCk 18.15.2 消息框-MsgBox 368 4i[v
ew 18.15.3 输入框函数 370 O]Ry3j 18.15.4 自定义对话框 371 jM3Y|}+ 18.15.5 对话框编辑器 371 .q_uJ_qu- 18.15.6 控制对话框 377 dPH!
V6r 18.15.7 更高级的对话框 380 zulf%aaL 18.16 Types语句 384 ;G%wc! 18.17 打开文件 385 9z|>roNe 18.18 Bags 387 {0A[v}X ~ 18.13 进一步研究 388 D_yY0rRM 19 vStack 389 /+<%,c$n 19.1 vStack基本原理 389 :]u}xDv3 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 A1k&`
|k 19.3 五棱镜 393 8zCGMhd 19.4 光束距离 396 }> !"SU:d 19.5 误差 399 zgq_0w~X 19.6 二向分色棱镜 399 @ V7ooo! 19.7 偏振泄漏 404 l$p_])x 19.8 波前误差—相位 405 !ulLGmUn 19.9 其它计算参数 405 (jo(bbpj 20 报表生成器 406 pE(<XD3Q 20.1 入门 406 I7q?V1fu4 20.2 指令(Instructions) 406 ld!6|~0U 20.3 页面布局指令 406 /v
bO/Mr 20.4 常见的参数图和三维图 407 `jUS{ 3^ 20.5 表格中的常见参数 408 EMW4< |