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《Essential Macleod中文手册》 [}5mi?v '@1C$0tx 目 录 +y\o^w4sT o+}G/*O8 ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 ^ZFK:|Ju 第1章 介绍 ..........................................................1 (Mw+SM3< 第2章 软件安装 ..................................................... 3 $Qxy@vU 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 bpa'`sf 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 biRkqc; 第5章 软件结构 ............................................................... 21 ?>My&yB 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 UDPn4q 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 (/ -90u 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 #P
{|7}jk
第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 EIF 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 1JV-X G6 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 B[d%?L_ 第12章 优化和综合 ..................................................................120 Xm<|m# 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 rx@2Dmt6
第14章 多层膜 ........................................................................... 167 lkJe7 +s 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 ^OK;swDW 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 9xeg,#1 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 (IIZ vCek 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 LtV,djk 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 L0Ajj= 第20章 运行表单 .................................................................... 251 B?4Iu)bCxI 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 Kd*=- 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 r(rT.D& 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 D58RHgY[ 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 2I7|hZ, 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 H(Y 1%@ 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 ?U
=Mdw 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 tjQ6[` 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 TgKSE1 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 0D0uzUD- szXqJG8| j.c{%UYj @?gRWH;Pq G[n;%c~`+ 3mL(xpT.8z 内容简介 )5u#'5I> Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 2 ]n4)vv, 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 yE;S6 O 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 %AA-G 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 >O0<u qKE +,g' 目录 uUe#+[bD Preface 1 (-VH=,Md 内容简介 2 g'2}Y5m$` 目录 i +o35${ 1 引言 1 V6B[eV$D 2 光学薄膜基础 2 n*caP9B 2.1 一般规则 2 WkV0,_(P 2.2 正交入射规则 3 @X P_~ N 2.3 斜入射规则 6 4}Lui9 2.4 精确计算 7 u/xP$ 2.5 相干性 8 (3=bKcD' 2.6 参考文献 10 ! 6R| 3 Essential Macleod的快速预览 10 /l8wb~vl 4 Essential Macleod的特点 32 Tq?f5swsI
4.1 容量和局限性 33 'C @yJf 4.2 程序在哪里? 33 |nU%H=Rs/ 4.3 数据文件 35 IsjN
xBM 4.4 设计规则 35 Vddod 4.5 材料数据库和资料库 37 g[;&_gL 4.5.1材料损失 38 L@J$kqWY 4.5.1材料数据库和导入材料 39 h!tg+9% 4.5.2 材料库 41 ]#7baZ 4.5.3导出材料数据 43 y,`q6(& 4.6 常用单位 43 >y$*|V}k 4.7 插值和外推法 46 Q8_5g$X\ 4.8 材料数据的平滑 50 _>^Y0C[?5 4.9 更多光学常数模型 54 [Scao $ 4.10 文档的一般编辑规则 55 *2/6fhI[p 4.11 撤销和重做 56 pp2 Jy{\d 4.12 设计文档 57 Iz&d
S?p_ 4.10.1 公式 58 3TN'1D ei 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 5!jt^i]O 4.10.3 沉积密度 59 @P h'! 4.10.4 平行和楔形介质 60 -6^Ee?" 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 SQN{/")T 4.10.4 性能 61 a(uQGyr[k1 4.10.5 保存设计和性能 64 xXJzE|)1h! 4.10.6 默认设计 64 fT<3~Z>m 4.11 图表 64 ?.ofs} 4.11.1 合并曲线图 67 }a%Wu 7D 4.11.2 自适应绘制 68 .tsXQf 4.11.3 动态绘图 68 DLO#_t^v. 4.11.4 3D绘图 69 fT=ZiHJ3Gu 4.12 导入和导出 73 }S%}%1pG7 4.12.1 剪贴板 73 $?9u;+jIR 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 MfA%Xep 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ~se
;L 4.13 背景 77 k8cR`5@PK 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 I]~s{I(EK 4.15 生成Rugate 84 r^Soqom3 4.16 参考文献 91 "o@R}_4]q 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 3Qp6$m 5.1 Jobs 92 C*Qx 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ,S?:lQuK5 5.3 输入材料 94 "AIS6%, 5.4 设计数据文件夹 95 % QaWg2Y= 5.5 默认设计 95 UM'JK#P" 6 细化和合成 97 ,pW^>J 6.1 优化介绍 97
)
urUaE 6.2 细化 (Refinement) 98 1M[|9nWUC 6.3 合成 (Synthesis) 100 lg@q}
]1 6.4 目标和评价函数 101 YT@N$kOg_ 6.4.1 目标输入 102 u@zT~\ h* 6.4.2 目标 103 MN>U jFA 6.4.3 特殊的评价函数 104 Ae<;b Of 6.5 层锁定和连接 104 rNgAzH 6.6 细化技术 104 zj=F4]w 6.6.1 单纯形 105 Xg}~\|n 6.6.1.1 单纯形参数 106 fJi?~[5< 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 PG'I7)Bv 6.6.2.1 Optimac参数 108 =g=Vv"B_ 6.6.3 模拟退火算法 109 L)Da1<O 6.6.3.1 模拟退火参数 109 `$/M\aM% 6.6.4 共轭梯度 111 UQtG<W]< 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 /!y3ZzL 6.6.5 拟牛顿法 112 @!(V0 - 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 :5:_Dr< 6.6.6 针合成 113 ]O~/k~f 6.6.6.1 针合成参数 114 <q|eG\01S 6.6.7 差分进化 114 >~&7D`O 6.6.8非局部细化 115 p\xsW"=8q 6.6.8.1非局部细化参数 115 X<H+Z2d 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ZaFqGcS~ 6.7.1 细化 116 WW~QK2o-@ 6.7.2 合成 117 w_q=mKu 6.8 参考文献 117 HGW;] 8xl 7 导纳图及其他工具 118 mPi{: 7.1 简介 118 %5<t3H" 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 U9R pHh` 7.2.1 四分之一波长规则 119 b*< *,Ds/G 7.2.2 导纳图 120 PmDar<m 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 1{wOjq(4 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 3<6P^p=I 7.5 斜入射导纳图 141 ' @j8tK 7.6 对称周期 141 l,Ixz1S3e 7.7 参考文献 142 N37#Vs 8 典型的镀膜实例 143 oc&yz>%q 8.1 单层抗反射薄膜 145 6EG`0h6 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 J_XbtCmt 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 R=HcSRTkA 8.4 W-膜层 148 GZ"J6/0-| 8.5 V-膜层 149 m*TJ@gI*t 8.6 V-膜层高折射基底 150 )W![TIp 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
Pe7%
9 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 fOO[`"'Pq 8.9 四层抗反射薄膜 153 No)@#^ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 79MB_Is]s 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 cU r'mb 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 -Cf<
#'x_ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 o=doL{# 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 LpSd/_^b 8.15十五层宽带抗反射膜 159 e+O0l 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 HoKN<w 8.17 1/4波长堆栈 162 -ID!kZx 8.18 陷波滤波器 163 m2Q#ATLW 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 C$EvcF%1 8.20 褶皱 165 &k {1N. 8.21 消偏振分光器1 169 tPho4,x$ 8.22 消偏振分光器2 171 `]g}M, 8.23 消偏振立体分光器 172 ; +]GyDgVq 8.24 消偏振截止滤光片 173 9Vv&\m!0 8.25 立体偏振分束器1 174 p\7(IhW@ 8.26 立方偏振分束器2 177 dD"o~iEC 8.27 相位延迟器 178 Y<-dd"\ 8.28 红外截止器 179 1:lhZFZ 8.29 21层长波带通滤波器 180 $+ ?A[{JG 8.30 49层长波带通滤波器 181 _zj}i1!E" 8.31 55层短波带通滤波器 182
fj]) 8.32 47 红外截止器 183 D'+kzb@ 8.33 宽带通滤波器 184 lO0 PZnW9 8.34 诱导透射滤波器 186 c1p*}T 8.35 诱导透射滤波器2 188 nA^UF_rD- 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Y vjRJ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 *a4nd_! 8.35 增益平坦滤波器 193 9:l>FoXS 8.38 啁啾反射镜 1 196 h+h`0(z 8.39 啁啾反射镜2 198 ?I.<mdhN#t 8.40 啁啾反射镜3 199 ~ugK&0i[2 8.41 带保护层的铝膜层 200 u!&Vbo? .B 8.42 增加铝反射率膜 201 CEos` 8.43 参考文献 202 X+T
+y>ea 9 多层膜 204 3EKqXXzOB 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 G>0S(M) 9.2 内部透过率 204 E6d0YgfD 9.3 内部透射率数据 205 O)!MWmr 9.4 实例 206 ]`x\Oj& 9.5 实例2 210 '\X<+Sm' 9.6 圆锥和带宽计算 212 G#;$; 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 L7tC?F]}SK 10 光学薄膜的颜色 216 s9Aq-N 10.1 导言 216 +kKfx! 10.2 色彩 216 g^DPbpWxu 10.3 主波长和纯度 220 PO[
AP%; 10.4 色相和纯度 221 %maLo RJ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Ue<Y ~A 10.6 色差 226 @OlV6M;qJ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Dh|8$(Jt 10.8 颜色渲染指数 234 ApYri|^r 10.9 色差计算 235 :n&n"`D~ 10.10 参考文献 236 yA+:\%y$ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 L
59q\_| 11.1 短脉冲 238 ,IW$XD 11.2 群速度 239 5? `*i" 11.3 群速度色散 241 r9@Q="J_) 11.4 啁啾(chirped) 245 T)ra>r<# 11.5 光学薄膜—相变 245 ^ cn)eA 11.6 群延迟和延迟色散 246 `}^_> 11.7 色度色散 246 F? kW{,* 11.8 色散补偿 249 b_]14 v 11.9 空间光线偏移 256 KN;b+`x;M 11.10 参考文献 258 Ncu\;K\N 12 公差与误差 260 W|@/<K$V 12.1 蒙特卡罗模型 260 el*C8TWlw 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 S/|'ggC 12.2.1 误差工具 267 Cu0N/hBT 12.2.2 灵敏度工具 271 $!<J_d* 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ozbu|9+v 12.2.2.2 灵敏度分布 275 +`==US34 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 UNJ]$x0 12.3 参考文献 276 ~/6m|k 13 Runsheet 与Simulator 277 k4+F 13.1 原理介绍 277 4w:_4qyb 13.2 截止滤光片设计 277 eXI ^9uH 14 光学常数提取 289 ~bCn%r2 14.1 介绍 289 MH`H[2<\!, 14.2 电介质薄膜 289 )x-iru
A: 14.3 n 和k 的提取工具 295 9i8D_[ 14.4 基底的参数提取 302 xGq,hCQHV 14.5 金属的参数提取 306 P"%i 4-S 14.6 不正确的模型 306 \5$N>
2kO 14.7 参考文献 311 e}? #vTRI} 15 反演工程 313 :cmfy6h] 15.1 随机性和系统性 313 gg(^:`+ 15.2 常见的系统性问题 314 -<jb>8 15.3 单层膜 314 xr)Rx{)3h 15.4 多层膜 314 _'k?9eN` 15.5 含义 319 z./M^7v? 15.6 反演工程实例 319 [EDw0e 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 xQa[bvW 15.6.2 反演工程提取折射率 327 `J^J_s 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
'._8 16.1 光学性质的热致偏移 329 #e0tT+ 16.2 应力工具 335 @ba5iIt 16.3 均匀性误差 339 N0h"EV[ 16.3.1 圆锥工具 339 C26PQGo#$ 16.3.2 波前问题 341 \eE0Rnaf- 16.4 参考文献 343 ur-&- G^ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 7'_zJI^ 17.1 引言 345 O^I~d{M 5I 17.2 操作数 345 `Y-uNJ'.N 18 如何在Function中编写脚本 351 l
tr=_ 18.1 简介 351 `!HGM> 18.2 什么是脚本? 351 %b2.JGBqJ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 qx<`Kc4 18.4 基础 352 t$8f:*6(* 18.4.1 Classes(类别) 352 1sZwW P 18.4.2 对象 352 2>#Pt^R:C 18.4.3 信息(Messages) 352 4^VY 18.4.4 属性 352 \BaN?u)a 18.4.5 方法 353 @c{=:kg5 18.4.6 变量声明 353 *TA${$K 18.5 创建对象 354 n*%<!\gJ 18.5.1 创建对象函数 355 6TxZ^&= 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Qw.""MLmN8 18.5.3 丢弃对象 356 ?'p`Qv 18.5.4 总结 356 2"C'Au 18.6 脚本中的表格 357 &"fMiK3 18.6.1 方法1 357 K IiV z< 18.6.2 方法2 357 )JTh=w4n|z 18.7 2D Plots in Scripts 358 l}%!&V0 18.8 3D Plots in Scripts 359 HFBGM\R02 18.9 注释 360 zv!%u=49 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Qv,|*bf 18.11 一个更高级的脚本 362 =M)>w4- 18.12 <esc>键 364 UXoaUW L 18.13 包含文件 365 dfGdY"& 18.14 脚本被优化调用 366 f3s0.G#l 18.15 脚本中的对话框 368 [[QrGJr 18.15.1 介绍 368 cu]2`DF 18.15.2 消息框-MsgBox 368 g1L$+xD^ 18.15.3 输入框函数 370 8HdmG{7. 18.15.4 自定义对话框 371 ZebXcT ,41 18.15.5 对话框编辑器 371 )MLOYX 18.15.6 控制对话框 377 1b
E$x^P 18.15.7 更高级的对话框 380 zuWj@YG\. 18.16 Types语句 384 \&]'GsfF 18.17 打开文件 385 n[CESo%[ 18.18 Bags 387 DIH.c7o 18.13 进一步研究 388 I 6a{'c(P 19 vStack 389 LCK 19.1 vStack基本原理 389 =;0#F& 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 x
SF#ys4v 19.3 五棱镜 393 C
7YZ;{t 19.4 光束距离 396 gzvEy^X 19.5 误差 399 Y.3]vno?X 19.6 二向分色棱镜 399 +?[TH?2c+ 19.7 偏振泄漏 404 Xdsd5 UUM 19.8 波前误差—相位 405 3Tg 19.9 其它计算参数 405 7qV_QZ!. 20 报表生成器 406 K7Kd{9-2 20.1 入门 406 "wmQ,= 20.2 指令(Instructions) 406 Z_D8}$! 20.3 页面布局指令 406 /}-]n81m 20.4 常见的参数图和三维图 407 [#kfl 20.5 表格中的常见参数 408 %+ig7a: 20.6 迭代指令 408 F*o{dLJ) 20.7 报表模版 408 bKYLBu: 20.8 开始设计一个报表模版 409 "X g@X5BG 21 一个新的project 413 NQ !t ` 21.1 创建一个新Job 414
FAJ\9 21.2 默认设计 415 5Y#yz>B@ ] 21.3 薄膜设计 416 ;FQAL@"Yj 21.4 误差的灵敏度计算 420 t=NPo+fm 21.5 显色指数计算 422 ooreforr 21.6 电场分布 424 5Az=)q4Q 后记 426 @>B#2t& 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! :h=];^/E
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