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《Essential Macleod中文手册》 lAz2%s{6 I.-v?1>, 目 录 ,&[7u9@ i_NJ -K ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 :,47rN,qa 第1章 介绍 ..........................................................1 ]H>+m
9 第2章 软件安装 ..................................................... 3 ![).zi+m 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 ?|lI Xz 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 M}u1qXa 第5章 软件结构 ............................................................... 21 95[wM6?J 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 VjY<\WqbS 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 >IBTBh_ka 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 F(;jM( 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 l1|~ 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 o(zTNk5d 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 /z#F,NB 第12章 优化和综合 ..................................................................120 ld95[cTP 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 N2[jO+6 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 >K5~:mx#3 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 S*xhX1yUi 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 McP~}"!^ 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 Li]k7w?H 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 0U%Xm[: 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 Co[n--@C 第20章 运行表单 .................................................................... 251 TW2Z=ks= 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 DRp&IP< 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 W_%W%i| 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 8""mp]o9 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 E23w *'] 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 VXwPdMy*L 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 <ZVZ$ZW~D 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 9qre|AA 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 |AC6sfA+ 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 KJdzv!l= GQ[pG{_+ K#wK1 Sv @701S(0'7 =U
c$D* -%H%m`wD 内容简介 8kS~ENe?o Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 {@45?L(' 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ami09JHy 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Z7KXWu+6`m 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 P5Dk63z] Oy%Im8.-A# 目录 c.0]1 Preface 1 _ eiF@G 内容简介 2 n/ AW?' 目录 i ).Gd1pE 1 引言 1 NpR6 2 光学薄膜基础 2 ,Bf(r 2.1 一般规则 2 oq. r\r
2.2 正交入射规则 3 Ye@t_,)x 2.3 斜入射规则 6 A0>x9 XSkJ 2.4 精确计算 7 }[v~& 2.5 相干性 8 `iQqhx 2.6 参考文献 10 SM<d 3 Essential Macleod的快速预览 10 : u-.T.zZl 4 Essential Macleod的特点 32 B2(,~^39 4.1 容量和局限性 33 sf)W~Lx5a 4.2 程序在哪里? 33 "H?QqrKx 4.3 数据文件 35 (u9Zk~)F 4.4 设计规则 35 a_{6Qdl 4.5 材料数据库和资料库 37 :,^>d3k 4.5.1材料损失 38 N~| t!G*9 4.5.1材料数据库和导入材料 39 \8>oJR 6 4.5.2 材料库 41 ;UpJ=?W 4.5.3导出材料数据 43 HY*\ k# 4.6 常用单位 43 <xqba4O 4.7 插值和外推法 46 5(#-)rlGj 4.8 材料数据的平滑 50 VaJfD1zd1 4.9 更多光学常数模型 54 ZF'HM@cfo 4.10 文档的一般编辑规则 55 Q6x% 4.11 撤销和重做 56 $H;+}VQ 4.12 设计文档 57 >)3VbO 4.10.1 公式 58 ]
D6|o5 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 2yxi= XWZ 4.10.3 沉积密度 59 *Ru2:}?MpS 4.10.4 平行和楔形介质 60 c{4R*|^ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 "lrA%~3%[P 4.10.4 性能 61 PUCx]5 4.10.5 保存设计和性能 64 J*K<FFp3< 4.10.6 默认设计 64 z mbZ 4.11 图表 64 u5F}( +4r 4.11.1 合并曲线图 67 mgcN( n1 4.11.2 自适应绘制 68 q% EC 4.11.3 动态绘图 68 TGpSulg7 4.11.4 3D绘图 69 mp:m`sh*i 4.12 导入和导出 73 l#xw.2bo 4.12.1 剪贴板 73 h'!V8'}O? 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 d1bhJK 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 P7r4ePtLk{ 4.13 背景 77 eXG57<t ON 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 U|?,N0%Z1 4.15 生成Rugate 84 C0<YH " 4.16 参考文献 91 t3>$|}O]t 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 L$hc, 5.1 Jobs 92 ERC<Dd0 5.2 创建一个新Job(工作) 93 8Zw]f-5x\ 5.3 输入材料 94 _z]v<,=3M 5.4 设计数据文件夹 95 ZAeQ~ j~ 5.5 默认设计 95
Q;20T 6 细化和合成 97 Bc[6*Y,%T 6.1 优化介绍 97 e1uMR-Q 6.2 细化 (Refinement) 98 c[:Wf<%| 6.3 合成 (Synthesis) 100 wko2M[ 6.4 目标和评价函数 101 2GUupnQkD 6.4.1 目标输入 102 Ux_<d?p 6.4.2 目标 103 j+Zt.KXjT 6.4.3 特殊的评价函数 104 9wMEvX70 6.5 层锁定和连接 104 OZT^\Ky_l 6.6 细化技术 104 Sn ^Aud 6.6.1 单纯形 105 "K
?#,_ 6.6.1.1 单纯形参数 106 rS,j;8D- 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 &CUC{t$VHX 6.6.2.1 Optimac参数 108 r=$gT@ 6.6.3 模拟退火算法 109 BKZ v9 6.6.3.1 模拟退火参数 109 w_3xKnMT\ 6.6.4 共轭梯度 111 <jFSj=cIL 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 "mtp0 6.6.5 拟牛顿法 112 7E\gxQ(vU 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 )S Q('vwg 6.6.6 针合成 113 pYh!]0n 6.6.6.1 针合成参数 114 m}pL`:e! 6.6.7 差分进化 114 Mj'lASI 6.6.8非局部细化 115 Qc3?}os2 6.6.8.1非局部细化参数 115 XHQh4W3 6.7 我应该使用哪种技术? 116 O9*p0%ug 6.7.1 细化 116 i@6wO?Tv 6.7.2 合成 117 9A+M|;O 6.8 参考文献 117 =qX*] 7 导纳图及其他工具 118 p%8v` 7.1 简介 118 !qaDn.9 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 _.=`>%, 7.2.1 四分之一波长规则 119 `j:M)2:*y 7.2.2 导纳图 120 LU(%K{9 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ~d>uXrb 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ;dOs0/UM& 7.5 斜入射导纳图 141 >2Ca5C 7.6 对称周期 141 1LyT7h 7.7 参考文献 142 :d({dF_k;p 8 典型的镀膜实例 143 IfB/O.;Kz 8.1 单层抗反射薄膜 145 eE9|F/-L 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ^W}MM8
' 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 9gR.RwR X 8.4 W-膜层 148 /x/4NeD 8.5 V-膜层 149 B@-"1m~la? 8.6 V-膜层高折射基底 150 K7Gm-=% 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 P}l#VJWp 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 fkG##! 8.9 四层抗反射薄膜 153 ZOn_dYjC 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 97 S? ;T 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 uP Rl[tS0 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 H|K("AVP: 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 +;6) 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
QP V@'.2m 8.15十五层宽带抗反射膜 159 KGQC't 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Gh=<0WaF= 8.17 1/4波长堆栈 162 3G.r- 8.18 陷波滤波器 163 f@x_#ov 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 7t3X`db 8.20 褶皱 165 z^3Q.4Qc6^ 8.21 消偏振分光器1 169 o$\tHzB9!A 8.22 消偏振分光器2 171 UM`nq;> 8.23 消偏振立体分光器 172 ]hKgA~; 8.24 消偏振截止滤光片 173 > [8#hSk 8.25 立体偏振分束器1 174 wibwyzo 8.26 立方偏振分束器2 177 4(8<w cL 8.27 相位延迟器 178 9fMSAB+c% 8.28 红外截止器 179 {NV:|M ! 8.29 21层长波带通滤波器 180 ssT@<Tk^4 8.30 49层长波带通滤波器 181 '+6<U[ L 8.31 55层短波带通滤波器 182 Th/{x
h 8.32 47 红外截止器 183 |=u96G~N 8.33 宽带通滤波器 184 cyHU\!Z*Zq 8.34 诱导透射滤波器 186 5y}BCY2=/ 8.35 诱导透射滤波器2 188 Otxa<M+" 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 5Edo%Hd6 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 3t*# !^$ 8.35 增益平坦滤波器 193 sxk*$jO[] 8.38 啁啾反射镜 1 196 ]<q'U> N 8.39 啁啾反射镜2 198 mZE8.` 8.40 啁啾反射镜3 199 vS#{-X 8.41 带保护层的铝膜层 200 '{CWanTPi 8.42 增加铝反射率膜 201 Uh%6LPg^ 8.43 参考文献 202 D!/0c]" 9 多层膜 204 }biCQ*{' 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 4]IKh,jT 9.2 内部透过率 204 NFV_+{X\ 9.3 内部透射率数据 205 %}ixgs7*c0 9.4 实例 206 Pr2;Kp 9.5 实例2 210 ?y46o2b*) 9.6 圆锥和带宽计算 212 V $>"f( 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 <uC<GDO 10 光学薄膜的颜色 216 s{B_N/^ 10.1 导言 216 QheDF7'z 10.2 色彩 216 ,0h3x$l) 10.3 主波长和纯度 220 3AvcJ1 10.4 色相和纯度 221 z
7@ 'CJ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 4ODX5If 10.6 色差 226 j=\Mx6os 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 oAaf)?8 10.8 颜色渲染指数 234 ^1Yo-T(R 10.9 色差计算 235 (Wn
"3
] 10.10 参考文献 236 ?jFc@t*\: 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 W}?s^ 11.1 短脉冲 238 )lOji7&e 11.2 群速度 239 k0knPDbHv 11.3 群速度色散 241 ^7<[}u;qF 11.4 啁啾(chirped) 245 !YIb 11.5 光学薄膜—相变 245 Stt* 1gT 11.6 群延迟和延迟色散 246 )6g&v'dq 11.7 色度色散 246 ff[C' 11.8 色散补偿 249 YY\Rua/nG 11.9 空间光线偏移 256 9[Y*k^.! 11.10 参考文献 258 cT I,1U 12 公差与误差 260 (]}XLMi,|! 12.1 蒙特卡罗模型 260 =:;YTie 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 T*8_FR < 12.2.1 误差工具 267 &62`Wr 0C 12.2.2 灵敏度工具 271 [C2kK *JZ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 8>m1UO Nr 12.2.2.2 灵敏度分布 275 N:d
D*[QZ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 .1 Vu-@ 12.3 参考文献 276 M{G$Pk8[ 13 Runsheet 与Simulator 277 `k!UjO72 13.1 原理介绍 277 y6bjJ} 13.2 截止滤光片设计 277 YyG~#6aCh 14 光学常数提取 289 48;~bVr} 14.1 介绍 289 4sI3(z)9H 14.2 电介质薄膜 289 Up'."w_zE 14.3 n 和k 的提取工具 295 {;\%!I 14.4 基底的参数提取 302
-GK 'V 14.5 金属的参数提取 306 B
JU*`Tx 14.6 不正确的模型 306 V!\n3i?i 14.7 参考文献 311 /m;O;2" 15 反演工程 313 2}59 7Hb 15.1 随机性和系统性 313 'H|;%J6d> 15.2 常见的系统性问题 314 3b,= 15.3 单层膜 314 K7+^Yv\YQx 15.4 多层膜 314 8Er[M 15.5 含义 319 6NU8HJp 15.6 反演工程实例 319 <
rv1IJ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 7L1\1E:! 15.6.2 反演工程提取折射率 327 E*h0#m|) 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Y7*'QKz2 16.1 光学性质的热致偏移 329 t]gq+ c Lo 16.2 应力工具 335 OCvml 2
vP 16.3 均匀性误差 339 !'Gb$l! 16.3.1 圆锥工具 339 Feh"!k <6k 16.3.2 波前问题 341 G3oxa/mO 16.4 参考文献 343 LRhP7D+A 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 C:WtCAm( 17.1 引言 345 )`e^F9L 17.2 操作数 345 3x,Aczb 18 如何在Function中编写脚本 351 |dW2dQ 18.1 简介 351 u!m,ilAnd 18.2 什么是脚本? 351 5?D1][ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 t%0r"bTi 18.4 基础 352 >N :|Km\ 18.4.1 Classes(类别) 352 WNCM|VUl 18.4.2 对象 352 u XaL 18.4.3 信息(Messages) 352 fmatc#G 18.4.4 属性 352 ^)(G(=-Rf 18.4.5 方法 353 ~+7a d$ 18.4.6 变量声明 353 YK(XS"Kl 18.5 创建对象 354 |TC3*Y 18.5.1 创建对象函数 355 aE%eJ)+K 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Kc%tnVyGh: 18.5.3 丢弃对象 356 2O}s*C$Xav 18.5.4 总结 356 GZxglU,3T 18.6 脚本中的表格 357 Q>cL?ie 18.6.1 方法1 357 %ZJ),9+ 18.6.2 方法2 357 ~ra#UG\Y8 18.7 2D Plots in Scripts 358 /h{go]&Nb 18.8 3D Plots in Scripts 359 d#X&Fi 18.9 注释 360 ,Zf
:R 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 \VoB=Ac& 18.11 一个更高级的脚本 362 wghFGHgw 18.12 <esc>键 364 9_g>BI;"8 18.13 包含文件 365 MYur3lj%_ 18.14 脚本被优化调用 366 :u[
oc. 18.15 脚本中的对话框 368 Lf$Q
%eM0 18.15.1 介绍 368 KIXwx98 18.15.2 消息框-MsgBox 368 $8<j5%/ $M 18.15.3 输入框函数 370 qk"oFP6 18.15.4 自定义对话框 371 KZ367&>b7 18.15.5 对话框编辑器 371 ]1YYrgi7 18.15.6 控制对话框 377 >$#*`6R 18.15.7 更高级的对话框 380 P wt ?9I 18.16 Types语句 384 V{7lltu 18.17 打开文件 385 k)<~nc- 18.18 Bags 387 +ZD[[+ 18.13 进一步研究 388 *DPTkMQN 19 vStack 389 1t~S3Q||>] 19.1 vStack基本原理 389 !#cKF6% 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Res"0Q 19.3 五棱镜 393 F&nMI:h7 19.4 光束距离 396 '91u q 19.5 误差 399 Yc.
~qmG/z 19.6 二向分色棱镜 399 u&l>cJ' 19.7 偏振泄漏 404 H|UV+Q0, 19.8 波前误差—相位 405 s>9z+;~! 19.9 其它计算参数 405 Ivd[U`=Q 20 报表生成器 406 U|y;b+n` 20.1 入门 406 Ba\wq: 20.2 指令(Instructions) 406 p``;!3~~ 20.3 页面布局指令 406 Vsm%h^]d 20.4 常见的参数图和三维图 407 5 b#"
G" 20.5 表格中的常见参数 408 sqMNon`5 20.6 迭代指令 408 Gdc~Lh 20.7 报表模版 408 SevfxR 20.8 开始设计一个报表模版 409 7DC0 W|Fe 21 一个新的project 413 K~fDv i 21.1 创建一个新Job 414 p;c_<>ws-Y 21.2 默认设计 415 + !E{L 21.3 薄膜设计 416 ~#N.!e4 21.4 误差的灵敏度计算 420 0k]ju 21.5 显色指数计算 422 )ZQ9a4% 21.6 电场分布 424 5~kW-x 后记 426 / ut~jf` 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! {Vt^Xc
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